特表2021-530076リモートプラズマ源用のラジカル出力モニタ及びその使用方法

発明の名称　リモートプラズマ源用のラジカル出力モニタ及びその使用方法

出願人　エムケーエス　インストゥルメンツ，インコーポレイテッド　（識別番号 508240030）

　　　　特許公開件数ランキング 866 位（9件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 4093 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2021-530076

公報発行日　2021年11月4

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2021-530076

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