特表2021-530876改良されたイオンブロッカを備えた遠隔容量結合プラズマ源

発明の名称　改良されたイオンブロッカを備えた遠隔容量結合プラズマ源

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（558件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 34 位（556件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2021-530876

公報発行日　2021年11月11

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2021-530876

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