特表2021-536121移動するプロセスキットの浸食測定及び位置較正のための方法及び装置

発明の名称　移動するプロセスキットの浸食測定及び位置較正のための方法及び装置

出願人　アプライド　マテリアルズ　インコーポレイテッド　（識別番号 390040660）

　　　　特許公開件数ランキング 43 位（548件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 34 位（547件）（共同出願を含む）

公報番号　特表-2021-536121

公報発行日　2021年12月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-T-2021-536121

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特表-2021-536121「移動するプロセスキットの浸食測定及び位置較正のための方法及び装置」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録