特表2021-536140(P2021-536140A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特表2021-536140パッド−パッド変動のために調整を行う半導体基板の研磨方法 （関連出願の相互参照） 本願は、２０１８年９月１０日に出願された米国仮特許出願第６２／７２９，１３４号の優先権の利益を主張する。当該米国仮特許出願の開示内容は、全ての関連性および一貫性のため（ｆｏｒ ａｌｌ ｒｅｌｅｖａｎｔ ａｎｄ ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔ ｐｕｒｐｏｓｅｓ）参照により本明細書中に組み込まれる。
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  • 特表2021536140-パッド−パッド変動のために調整を行う半導体基板の研磨方法 （関連出願の相互参照） 本願は、２０１８年９月１０日に出願された米国仮特許出願第６２／７２９，１３４号の優先権の利益を主張する。当該米国仮特許出願の開示内容は、全ての関連性および一貫性のため（ｆｏｒ ａｌｌ ｒｅｌｅｖａｎｔ ａｎｄ ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔ ｐｕｒｐｏｓｅｓ）参照により本明細書中に組み込まれる。 図000004
  • 特表2021536140-パッド−パッド変動のために調整を行う半導体基板の研磨方法 （関連出願の相互参照） 本願は、２０１８年９月１０日に出願された米国仮特許出願第６２／７２９，１３４号の優先権の利益を主張する。当該米国仮特許出願の開示内容は、全ての関連性および一貫性のため（ｆｏｒ ａｌｌ ｒｅｌｅｖａｎｔ ａｎｄ ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔ ｐｕｒｐｏｓｅｓ）参照により本明細書中に組み込まれる。 図000005
  • 特表2021536140-パッド−パッド変動のために調整を行う半導体基板の研磨方法 （関連出願の相互参照） 本願は、２０１８年９月１０日に出願された米国仮特許出願第６２／７２９，１３４号の優先権の利益を主張する。当該米国仮特許出願の開示内容は、全ての関連性および一貫性のため（ｆｏｒ ａｌｌ ｒｅｌｅｖａｎｔ ａｎｄ ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔ ｐｕｒｐｏｓｅｓ）参照により本明細書中に組み込まれる。 図000006
  • 特表2021536140-パッド−パッド変動のために調整を行う半導体基板の研磨方法 （関連出願の相互参照） 本願は、２０１８年９月１０日に出願された米国仮特許出願第６２／７２９，１３４号の優先権の利益を主張する。当該米国仮特許出願の開示内容は、全ての関連性および一貫性のため（ｆｏｒ ａｌｌ ｒｅｌｅｖａｎｔ ａｎｄ ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔ ｐｕｒｐｏｓｅｓ）参照により本明細書中に組み込まれる。 図000007
  • 特表2021536140-パッド−パッド変動のために調整を行う半導体基板の研磨方法 （関連出願の相互参照） 本願は、２０１８年９月１０日に出願された米国仮特許出願第６２／７２９，１３４号の優先権の利益を主張する。当該米国仮特許出願の開示内容は、全ての関連性および一貫性のため（ｆｏｒ ａｌｌ ｒｅｌｅｖａｎｔ ａｎｄ ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔ ｐｕｒｐｏｓｅｓ）参照により本明細書中に組み込まれる。 図000008
  • 特表2021536140-パッド−パッド変動のために調整を行う半導体基板の研磨方法 （関連出願の相互参照） 本願は、２０１８年９月１０日に出願された米国仮特許出願第６２／７２９，１３４号の優先権の利益を主張する。当該米国仮特許出願の開示内容は、全ての関連性および一貫性のため（ｆｏｒ ａｌｌ ｒｅｌｅｖａｎｔ ａｎｄ ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔ ｐｕｒｐｏｓｅｓ）参照により本明細書中に組み込まれる。 図000009
  • 特表2021536140-パッド−パッド変動のために調整を行う半導体基板の研磨方法 （関連出願の相互参照） 本願は、２０１８年９月１０日に出願された米国仮特許出願第６２／７２９，１３４号の優先権の利益を主張する。当該米国仮特許出願の開示内容は、全ての関連性および一貫性のため（ｆｏｒ ａｌｌ ｒｅｌｅｖａｎｔ ａｎｄ ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔ ｐｕｒｐｏｓｅｓ）参照により本明細書中に組み込まれる。 図000010
  • 特表2021536140-パッド−パッド変動のために調整を行う半導体基板の研磨方法 （関連出願の相互参照） 本願は、２０１８年９月１０日に出願された米国仮特許出願第６２／７２９，１３４号の優先権の利益を主張する。当該米国仮特許出願の開示内容は、全ての関連性および一貫性のため（ｆｏｒ ａｌｌ ｒｅｌｅｖａｎｔ ａｎｄ ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔ ｐｕｒｐｏｓｅｓ）参照により本明細書中に組み込まれる。 図000011
  • 特表2021536140-パッド−パッド変動のために調整を行う半導体基板の研磨方法 （関連出願の相互参照） 本願は、２０１８年９月１０日に出願された米国仮特許出願第６２／７２９，１３４号の優先権の利益を主張する。当該米国仮特許出願の開示内容は、全ての関連性および一貫性のため（ｆｏｒ ａｌｌ ｒｅｌｅｖａｎｔ ａｎｄ ｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔ ｐｕｒｐｏｓｅｓ）参照により本明細書中に組み込まれる。 図000012
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