特開2015-211047炭化ケイ素基板の研磨方法

発明の名称　炭化ケイ素基板の研磨方法

出願人　独立行政法人産業技術総合研究所　（識別番号 301021533）

　　　　特許公開件数ランキング 192 位（262件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 138 位（280件）（共同出願を含む）

出願人　株式会社フジミインコーポレーテッド　（識別番号 236702）

　　　　特許公開件数ランキング 527 位（50件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 378 位（67件）（共同出願を含む）

出願人　株式会社デンソー　（識別番号 4260）

　　　　特許公開件数ランキング 15 位（1314件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 10 位（1391件）（共同出願を含む）

出願人　昭和電工株式会社　（識別番号 2004）

　　　　特許公開件数ランキング 12174 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2015-211047

公報発行日　2015年11月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2015-211047

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