特開2016-212363リソグラフィ装置のレチクル冷却システム

発明の名称　リソグラフィ装置のレチクル冷却システム

出願人　エーエスエムエル　ホールディング　エヌ．ブイ．　（識別番号 503195263）

　　　　特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3848 位（2件）（共同出願を含む）

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 168 位（60件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 263 位（33件）（共同出願を含む）

公報番号　特開-2016-212363

公報発行日　2016年12月15

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-A-2016-212363

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