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エーエスエムエル ホールディング エヌ.ブイ.

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  2025年 特許取得件数ランキング    第891位 5件 上昇2024年:第2210位 8件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7624471 ペリクル及びペリクルアセンブリ 2025年 1月30日
特許 7621977 分割両面ウェーハ及びレチクルクランプ 2025年 1月27日
特許 7620004 リソグラフィ装置および紫外放射制御システム 2025年 1月22日
特許 7615150 両面静電クランプを製造するためのシステムおよび方法 2025年 1月16日
特許 7614211 粒子状デブリの軌道を変更するための偏向装置を備えるリソグラフィシステム 2025年 1月15日
特許 7609877 ウェハクランプの硬いバールの製造および改修 2025年 1月 7日

6 件中 1-6 件を表示

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7624471 7621977 7620004 7615150 7614211 7609877

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