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■ 2025年 出願公開件数ランキング 第3684位 1件
(2024年:第2711位 7件)
■ 2025年 特許取得件数ランキング 第891位 5件
(2024年:第2210位 8件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 7624471 | ペリクル及びペリクルアセンブリ | 2025年 1月30日 | |
特許 7621977 | 分割両面ウェーハ及びレチクルクランプ | 2025年 1月27日 | |
特許 7620004 | リソグラフィ装置および紫外放射制御システム | 2025年 1月22日 | |
特許 7615150 | 両面静電クランプを製造するためのシステムおよび方法 | 2025年 1月16日 | |
特許 7614211 | 粒子状デブリの軌道を変更するための偏向装置を備えるリソグラフィシステム | 2025年 1月15日 | |
特許 7609877 | ウェハクランプの硬いバールの製造および改修 | 2025年 1月 7日 |
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7624471 7621977 7620004 7615150 7614211 7609877
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3月25日(火) -
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