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エーエスエムエル　ホールディング　エヌ．ブイ．

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エーエスエムエル　ホールディング　エヌ．ブイ．の商標一覧

公報番号	発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)	公報発行日
特許 7731915	物体ホルダ、静電シートおよび静電シートを製造する方法	2025年 9月 1日
特許 7717792	リソグラフィ装置、計測システム及び誤差補正のための強度不均衡測定	2025年 8月 4日
特許 7712269	リソグラフィ装置および静電クランプの設計	2025年 7月23日
特許 7707280	粒子検査システムのスループットを改善するためのダブルスキャン・オプトメカニカル構成	2025年 7月14日
特許 7689497	リソグラフィ装置、基板テーブル、及び方法	2025年 6月 6日
特許 7689539	内蔵同軸照明を備えたリソグラフィプリアライメント結像センサ	2025年 6月 6日
特許 7664459	アライメントマークを感知するための装置	2025年 4月17日
特許 7654141	アライメントマークの局所的な歪みに基づくアライメント信号の生成	2025年 3月31日
特許 7624471	ペリクル及びペリクルアセンブリ	2025年 1月30日
特許 7621977	分割両面ウェーハ及びレチクルクランプ	2025年 1月27日
特許 7620004	リソグラフィ装置および紫外放射制御システム	2025年 1月22日
特許 7615150	両面静電クランプを製造するためのシステムおよび方法	2025年 1月16日
特許 7614211	粒子状デブリの軌道を変更するための偏向装置を備えるリソグラフィシステム	2025年 1月15日
特許 7609877	ウェハクランプの硬いバールの製造および改修	2025年 1月 7日

14 件中 1-14 件を表示

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7731915 7717792 7712269 7707280 7689497 7689539 7664459 7654141 7624471 7621977 7620004 7615150 7614211 7609877

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