特開2019-194132(P2019-194132A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2019-194132ＩＩＩ族窒化物微結晶凝集体の製造方法、窒化ガリウム微結晶凝集体の製造方法、ＩＩＩ族窒化物微結晶凝集体およびスパッタリングターゲット
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