特開2020-164356(P2020-164356A)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特開2020-164356GaN結晶、GaN自立基板、GaN結晶成長用種基板、GaN結晶の製造方法およびGaN自立基板の製造方法
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