特許5736291成膜装置および成膜方法

発明の名称　成膜装置および成膜方法

出願人　株式会社ニューフレアテクノロジー　（識別番号 504162958）

　　　　特許公開件数ランキング 556 位（50件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 570 位（40件）（共同出願を含む）

出願人　一般財団法人電力中央研究所　（識別番号 173809）

　　　　特許公開件数ランキング 860 位（30件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 655 位（33件）（共同出願を含む）

出願人　株式会社デンソー　（識別番号 4260）

　　　　特許公開件数ランキング 15 位（1314件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 10 位（1391件）（共同出願を含む）

出願人　トヨタ自動車株式会社　（識別番号 3207）

　　　　特許公開件数ランキング 2 位（6007件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1 位（4728件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-5736291

公報発行日　2015年6月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-5736291

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