特許6025055研磨パッドの表面性状測定方法

発明の名称　研磨パッドの表面性状測定方法

出願人　株式会社荏原製作所　（識別番号 239）

　　　　特許公開件数ランキング 181 位（178件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 205 位（142件）（共同出願を含む）

出願人　国立大学法人九州工業大学　（識別番号 504174135）

　　　　特許公開件数ランキング 807 位（35件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1103 位（22件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6025055

公報発行日　2016年11月16

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6025055

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