特許6086343重合体の分子量の測定方法、重合体の製造方法、レジスト組成物の製造方法、ならびにパターンが形成された基板の製造方法

発明の名称　重合体の分子量の測定方法、重合体の製造方法、レジスト組成物の製造方法、ならびにパターンが形成された基板の製造方法

出願人　三菱レイヨン株式会社　（識別番号 6035）

　　　　特許公開件数ランキング 42 位（543件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 51 位（419件）（共同出願を含む）

出願人　独立行政法人産業技術総合研究所　（識別番号 301021533）

　　　　特許公開件数ランキング 187 位（258件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 141 位（269件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6086343

公報発行日　2017年3月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6086343

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