特許6382856ＥＵＶリソグラフィー用の光学素子及び光学系、及びこの光学系を処理する方法

発明の名称　ＥＵＶリソグラフィー用の光学素子及び光学系、及びこの光学系を処理する方法

出願人　カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー　（識別番号 503263355）

　　　　特許公開件数ランキング 428 位（67件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 492 位（46件）（共同出願を含む）

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 219 位（152件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 346 位（79件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6382856

公報発行日　2018年8月29

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6382856

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