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特許第6384851号(P6384851)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6384851ＩＩＩ族窒化物結晶の製造方法、ＩＩＩ族窒化物結晶、半導体装置およびＩＩＩ族窒化物結晶製造装置

書誌要約請求の範囲詳細な説明課題実施例実施するための形態図面の説明

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