特許 6889534 移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、およびデバイス製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6889534

(24)【登録日】2021年5月25日

(45)【発行日】2021年6月18日

(54)【発明の名称】移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、およびデバイス製造方法

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/20 20060101AFI20210607BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20210607BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20210607BHJP

   H02J 50/12 20160101ALI20210607BHJP

   H02J 50/80 20160101ALI20210607BHJP

   H02J 50/50 20160101ALI20210607BHJP

   H01F 38/14 20060101ALI20210607BHJP

【ＦＩ】

   G03F7/20 501

   H01L21/68 A

   H01L21/68 N

   H02J50/12

   H02J50/80

   H02J50/50

   H01F38/14

【請求項の数】20

【全頁数】28

(21)【出願番号】特願2016-190382(P2016-190382)

(22)【出願日】2016年9月28日

(65)【公開番号】特開2018-54847(P2018-54847A)

(43)【公開日】2018年4月5日

【審査請求日】2019年8月7日

(73)【特許権者】

【識別番号】504137912

【氏名又は名称】国立大学法人 東京大学

(73)【特許権者】

【識別番号】000004112

【氏名又は名称】株式会社ニコン

(74)【代理人】

【識別番号】100087480

【弁理士】

【氏名又は名称】片山 修平

(74)【代理人】

【識別番号】100136261

【弁理士】

【氏名又は名称】大竹 俊成

(72)【発明者】

【氏名】藤本 博志

(72)【発明者】

【氏名】居村 岳広

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 基

(72)【発明者】

【氏名】矢崎 雄馬

(72)【発明者】

【氏名】大西 亘

(72)【発明者】

【氏名】西村 拓朗

(72)【発明者】

【氏名】坂田 晃一

(72)【発明者】

【氏名】原 篤史

(72)【発明者】

【氏名】長沢 昌弥

(72)【発明者】

【氏名】陳 照祥

(72)【発明者】

【氏名】横山 和弘

【審査官】 冨士 健太

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１３−１４９９９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０９８７３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００７−１２３３３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２５９５３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−２３０５２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１５／１３３３０１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２００５／００９３３７８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２００６／０２１４５１８（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０３Ｆ ７／２０ − ７／２４

９／００ − ９／０２

Ｈ０１Ｌ ２１／０２７、２１／３０

２１／６７ −２１／６８３

Ｈ０２Ｊ ５０／１２、５０／５０、５０／８０

Ｈ０１Ｆ ３８／１４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

固定部に対して、移動可能な移動体と、
前記固定部に設けられ、電磁誘導現象又は磁界共振現象を利用して電力を送電する第１送電部と、
前記移動体に設けられ、前記第１送電部が送電した電力を受電する受電部と、
を備え、
前記第１送電部は、前記移動体の移動軌道に基づいて算出された電力を送電する移動体装置。

【請求項2】

前記第１送電部は、前記移動体の消費電力に基づいて算出された電力を送電する請求項１記載の移動体装置。

【請求項3】

固定部に対して、移動可能な移動体と、
前記固定部に設けられ、電磁誘導現象又は磁界共振現象を利用して電力を送電する第１送電部と、
前記移動体に設けられ、前記第１送電部が送電した電力を受電する受電部と、
を備え、
前記第１送電部は、前記移動体の消費電力に基づいて算出された電力を送電する移動体装置。

【請求項4】

前記移動体は、前記固定部に対して移動可能な第１移動体と、前記第１移動体に設けられ、前記第１移動体に対して移動可能な第２移動体と、を含み、
前記受電部は、前記第１移動体に設けられた第１受電部と、前記第２移動体に設けられた第２受電部と、を含む請求項１〜３のいずれか一項に記載の移動体装置。

【請求項5】

前記第１送電部は、前記第１移動体の移動軌跡、前記第１移動体の消費電力、前記第２移動体の移動軌跡、および前記第２移動体の消費電力に基づいて算出された電力を送電する請求項４に記載の移動体装置。

【請求項6】

前記第１移動体に設けられ、電磁誘導現象又は磁界共振現象を利用して電力を送電する第２送電部を備え、
前記第１送電部は、電力を送電する第１送電コイルを含み、
前記第１受電部は、前記第１送電コイルと対向し、前記第１送電コイルから電力を受電する第１受電コイルを含み、
前記第２送電部は、前記第１受電コイルが受電した電力の一部を送電する第２送電コイルを含み、前記第２移動体の移動軌跡、および前記第２移動体の消費電力に基づいて算出された電力を送電し、
前記第２受電部は、前記第２送電コイルと対向し、前記第２送電コイルから電力を受電する第２受電コイルを含む請求項４に記載の移動体装置。

【請求項7】

前記第２送電部は、前記第２送電コイルに供給する電圧の振幅を変更することにより、前記第２送電部が送電する電力を制御する請求項６に記載の移動体装置。

【請求項8】

前記第２送電部は、前記第２送電コイルに電圧を印加する時間を変更することにより、前記第２送電部が送電する電力を制御する請求項６又は７に記載の移動体装置。

【請求項9】

前記第１送電部は、電力を送電する第１送電コイルを含み、
前記第１受電部は、前記第１送電コイルと対向し、前記第１送電コイルから電力を受電する第１受電コイルを含み、
前記第２受電部は、前記第１送電コイルと対向し、前記第１送電コイルから電力を受電する第２受電コイルを含む請求項４又は５に記載の移動体装置。

【請求項10】

前記第１送電部は、電力を送電する第１送電コイルを含み、
前記第１受電部は、前記第１送電コイルと対向し、前記第１送電コイルから電力を受電する第１受電コイルを含み、
前記第２受電部は、前記第１受電コイルと対向し、前記第１送電コイルから前記第１受電コイルを介して電力を受電する第２受電コイルを含む請求項４又は５に記載の移動体装置。

【請求項11】

前記第１受電部は、前記第１受電コイルと対向し、前記第１受電コイルから電力を受電する第１ピックアップコイルを含む請求項６〜１０のいずれか一項に記載の移動体装置。

【請求項12】

前記第２受電部は、前記第２受電コイルと対向し、前記第２受電コイルから電力を受電する第２ピックアップコイルを含む請求項６〜１１のいずれか一項に記載の移動体装置。

【請求項13】

前記第１送電コイルは、前記第１受電コイルとの対向を維持するように移動する請求項６〜１２のいずれか一項に記載の移動体装置。

【請求項14】

前記第１送電部は、前記第１送電コイルに供給する電圧の振幅を変更することにより、前記第１送電部が送電する電力を制御する請求項６〜１３のいずれか一項に記載の移動体装置。

【請求項15】

前記第１送電部は、前記第１送電コイルに電圧を印加する時間を変更することにより、前記第１送電部が送電する電力を制御する請求項６〜１４のいずれか一項に記載の移動体装置。

【請求項16】

物体を露光して、前記物体にパターンを形成する露光装置であって、
前記物体を保持する請求項１〜１５のいずれか一項に記載の移動体装置を備える露光装置。

【請求項17】

前記物体は、フラットパネルディスプレイに用いられる基板である請求項１６に記載の露光装置。

【請求項18】

前記基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が５００ｍｍ以上である請求項１７に記載の露光装置。

【請求項19】

請求項１６〜１８のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。

【請求項20】

請求項１６〜１８のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、移動体装置、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、およびデバイス製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体素子、液晶表示素子、撮像装置（ＣＣＤ（Charge-Coupled Device）等）、薄膜磁気ヘッド等のデバイスの製造工程の一つであるリソグラフィ工程においては、マスクとしてのレチクルのパターンを、投影光学系を介してフォトレジストが塗布されたウエハ又はガラスプレート等（以下、基板と称する）上に転写露光するために、露光装置が使用されている。このフォトリソグラフィ工程で使用される露光装置は、基板を支持して２次元移動する基板ステージとパターンを有するマスクを支持して２次元移動するマスクステージとを有し、マスクステージ及び基板ステージを逐次移動しながら投影光学系を介してマスク上に形成されたパターンを基板に転写する（例えば、特許文献１）。基板ステージ及びマスクステージには、露光装置本体から電力供給を行うケーブルが接続されている。これらのケーブルは、基板ステージ及びマスクステージの位置制御の際に、ケーブルの引張力が外乱力となり、位置決め精度に悪影響を与えてしまう。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】米国特許出願公開第２０１０／０２６６９６１号

【発明の概要】

【課題を解決するための手段】

【0004】

本発明は、上述の事情の下でなされたもので、第１の観点からすると、移動体装置は、固定部に対して、移動可能な移動体と、前記固定部に設けられ、電磁誘導現象又は磁界共振現象を利用して電力を送電する第１送電部と、前記移動体に設けられ、前記第１送電部が送電した電力を受電する受電部と、を備え、前記第１送電部は、前記移動体の消費電力に基づいて算出された電力を送電する。

【0005】

本発明は、上述の事情の下でなされたもので、第２の観点からすると、露光装置は、物体を露光して、前記物体にパターンを形成する露光装置であって、前記物体を保持する上記移動体装置を備える。

【0006】

なお、本発明は、後述の実施形態の構成を適宜改良しても良く、また、少なくとも一部を他の構成物に代替させても良い。更に、その配置について特に限定のない構成要件は、実施形態で開示した配置に限らず、その機能を達成できる位置に配置することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】第１実施形態に係る露光装置の構成を概略的に示す図である。

【図2】図２は第１実施形態に係る電力供給システムのブロック図である。

【図3】図３（ａ）及び図３（ｂ）は、第１実施形態における第１送電コイル、第１受電コイル、第２送電コイル、及び第２受電コイルの配置の一例を示す図である。

【図4】第１実施形態の変形例１に係る電力供給システムのブロック図である。

【図5】第１実施形態の変形例２に係る電力供給システムのブロック図である。

【図6】第１実施形態の変形例３に係る電力供給システムのブロック図である。

【図7】第１実施形態の変形例４に係る電力供給システムのブロック図である。

【図8】第１実施形態の変形例５に係る電力供給システムのブロック図である。

【図9】第１実施形態の変形例６に係る電力供給システムのブロック図である。

【図10】第１実施形態の変形例７に係る電力供給システムのブロック図である。

【図11】第２実施形態に係る電力供給システムのブロック図である。

【図12】図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、第２実施形態における第１送電コイル、第１受電コイル、及び第２受電コイルの配置の一例を示す図である。

【図13】第３実施形態に係る電力供給システムのブロック図である。

【図14】図１４（ａ）及び図１４（ｂ）は、第３実施形態における第１送電コイル、第１受電コイル、及び第２受電コイルの配置の一例を示す図である。

【図15】ピックアップコイルを備える電力供給システムのブロック図である。

【図16】図１６（ａ）及び図１６（ｂ）は、第１送電コイルの構成について説明するための図である。

【図17】図１７（ａ）及び図１７（ｂ）は、第１送電コイルの配置について説明するための図である。

【図18】図１８（ａ）及び図１８（ｂ）は、第１〜第５実施形態に係る電力供給システムの効果を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

≪第１実施形態≫
まず、第１実施形態について、図１〜図３に基づいて説明する。

【0009】

（露光装置の構成）
まず、図１を用いて第１実施形態に係る露光装置１０の構成について説明する。図１は、第１実施形態に係る露光装置１０の構成を概略的に示す図である。露光装置１０は、液晶表示装置（フラットパネルディスプレイ）に用いられる矩形のガラス基板Ｐ（以下、単に基板Ｐと称する）を露光対象物とするステップ・アンド・スキャン方式の投影露光装置である。

【0010】

露光装置１０は、マスクＭとガラス基板（以下、「基板」と呼ぶ）Ｐとを投影光学系ＰＬに対して同一方向に同一速度で駆動することで、マスクＭに形成されたパターンを基板Ｐ上に転写するスキャニング・ステッパ（スキャナ）である。以下においては、走査露光の際にマスクＭ及び基板Ｐが駆動される方向（走査方向）をＸ軸方向とし、これに直交する水平面内での方向をＹ軸方向、Ｘ軸及びＹ軸に直交する方向をＺ軸方向、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸回りの回転（傾斜）方向をそれぞれθｘ、θｙ、及びθｚ方向とする。

【0011】

露光装置１０は、照明系ＩＯＰ、マスクＭを保持するマスクステージＭＳＴ、投影光学系ＰＬ、これらを支持するボディ７０、基板Ｐを保持する基板ステージＰＳＴ、及びこれらの制御系等を備える。制御系は、露光装置１０の構成各部を統括制御する。

【0012】

ボディ７０は、ベース（防振台）７１、コラム７２Ａ，７２Ｂ、光学定盤７３、支持体７４、及びスライドガイド７５から構成される。ベース（防振台）７１は、床Ｆ上に配置され、床Ｆからの振動を除振してコラム７２Ａ，７２Ｂ等を支持する。コラム７２Ａ，７２Ｂはそれぞれ枠体形状を有し、コラム７２Ｂの内側にコラム７２Ａが配置されている。光学定盤７３は、平板形状を有し、コラム７２Ａの天井部に固定されている。支持体７４は、コラム７２Ｂの天井部にスライドガイド７５を介して支持されている。スライドガイド７５は、エアボールリフタと位置決め機構とを備え、支持体７４（すなわち後述するマスクステージＭＳＴ）を光学定盤７３に対してＸ軸方向の適当な位置に位置決めする。

【0013】

照明系ＩＯＰは、ボディ７０の上方に配置されている。照明系ＩＯＰは、例えば米国特許第５，７２９，３３１号明細書などに開示される照明系と同様に構成され、例えば水銀ランプ等の光源（不図示）から射出された光（照明光）ＩＬを反射鏡、ダイクロイックミラー、シャッター、波長選択フィルタ、各種レンズ（いずれも不図示）等を介してマスクＭに照射する。照明光ＩＬとして、例えばｉ線（波長３６５ｎｍ）、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｈ線（波長４０５ｎｍ）等の光（或いは上記ｉ線、ｇ線、ｈ線の合成光）が用いられる。また、照明光ＩＬの波長は、波長選択フィルタにより、例えば要求される解像度に応じて適宜切り替えることができる。

【0014】

マスクステージＭＳＴは、ボディ７０を構成する支持体７４に支持されている。マスクステージＭＳＴには、回路パターンが形成されたパターン面（図１における下面）を有するマスクＭが、例えば真空吸着（あるいは静電吸着）により固定されている。マスクステージＭＳＴは、例えばリニアモーターを含む駆動系により走査方向（Ｘ軸方向）に所定のストロークで駆動されるとともに、非走査方向（Ｙ軸方向及びθｚ方向）に微少駆動される。

【0015】

マスクステージＭＳＴのＸＹ平面内の位置情報（θｚ方向の回転情報を含む）は、干渉計システムにより計測される。干渉計システムは、マスクステージＭＳＴの端部に設けられた移動鏡（又は鏡面加工された反射面（不図示））に測長ビームを照射し、移動鏡からの反射光を受光することにより、マスクステージＭＳＴの位置を計測する。その計測結果は制御装置（不図示）に供給され、制御装置は、干渉計システムの計測結果に従って、駆動系を介してマスクステージＭＳＴを駆動する。

【0016】

投影光学系ＰＬは、マスクステージＭＳＴの下方（−Ｚ側）に、ボディ７０を構成する光学定盤７３に支持されている。投影光学系ＰＬは、例えば米国特許第５，７２９，３３１号明細書に開示された投影光学系と同様に構成され、マスクＭのパターン像の投影領域が例えば千鳥状に配置された複数（例えば７）の投影光学系（マルチレンズ投影光学系）を含み、Ｙ軸方向を長手方向とする矩形形状のイメージフィールドを形成する。ここでは、４つの投影光学系がＹ軸方向に所定間隔で配置され、残りの３つの投影光学系が、４つの投影光学系から＋Ｘ側に離間して、Ｙ軸方向に所定間隔で配置されている。複数の投影光学系のそれぞれとして、例えば両側テレセントリックな等倍系で正立正像を形成するものが用いられる。なお、千鳥状に配置された投影光学系ＰＬの複数の投影領域をまとめて露光領域と呼ぶ。

【0017】

照明系ＩＯＰからの照明光ＩＬによってマスクＭ上の照明領域が照明されると、マスクＭを透過した照明光ＩＬにより、投影光学系ＰＬを介して、その照明領域内のマスクＭの回路パターンの投影像（部分正立像）が、投影光学系ＰＬの像面側に配置される基板Ｐ上の照射領域（露光領域（照明領域に共役））に形成される。ここで、基板Ｐの表面にはレジスト（感応剤）が塗布されている。マスクステージＭＳＴと基板ステージＰＳＴとを同期駆動する、すなわちマスクＭを照明領域（照明光ＩＬ）に対して走査方向（Ｘ軸方向）に駆動するとともに、基板Ｐを露光領域（照明光ＩＬ）に対して同じ走査方向に駆動することで、基板Ｐが露光されて基板Ｐ上にマスクＭのパターンが転写される。

【0018】

基板ステージＰＳＴは、投影光学系ＰＬの下方（−Ｚ側）のベース（防振台）７１上に配置されている。基板ステージＰＳＴ上に、基板Ｐが、基板ホルダ（不図示）を介して保持されている。

【0019】

基板ステージＰＳＴは、粗動ステージと、微動ステージを備えている。

【0020】

粗動ステージは、図３（ａ）、図３（ｂ）からわかるように、Ｙ粗動ステージ２３Ｙと、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ上に搭載されたＸ粗動ステージ２３Ｘとを含む。Ｙ粗動ステージ２３Ｙは、たとえばＹリニアモーターによりＹ軸方向に駆動される。Ｘ粗動ステージ２３Ｘは、たとえばＸリニアモーターによりＸ軸方向に駆動される。各粗動ステージ２３Ｘ、２３Ｙの駆動量（移動量）は、不図示のエンコーダによって計測される。

【0021】

微動ステージは、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに固定された固定子と、微動ステージに固定された可動子とをそれぞれ含んで構成される複数のボイスコイルモーターを含む駆動系により、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ上でＸＹ平面内の３自由度方向（Ｘ軸、Ｙ軸、及びθｚの各方向）に微少駆動される。複数のボイスコイルモーターとしては、微動ステージをＸ軸方向に微少駆動するＸボイスコイルモーターがＹ軸方向に離間して一対設けられ、微動ステージをＹ軸方向に微少駆動するＹボイスコイルモーターがＸ軸方向に離間して一対設けられている。

【0022】

また、微動ステージ駆動系は、微動ステージをθｘ、θｙ、及びＺ軸方向の３自由度方向に微少駆動するための複数のＺボイスコイルモーターを有している。複数のＺボイスコイルモーターは、微動ステージの底面の四隅部に対応する箇所に配置されている。複数のボイスコイルモーターを含み、微動ステージ駆動系の構成については、例えば米国特許出願公開第２０１０／００１８９５０号明細書に開示されている。なお、ボイスコイルモーターは、ムービングマグネット方式及びムービングコイル方式のいずれを採用してもよい。なお、Ｘボイスコイルモーター、Ｙボイスコイルモーター、Ｚボイスコイルモーターについては、図２等において、符号１８Ｘ，１８Ｙ，１８Ｚで示している。

【0023】

基板ステージＰＳＴのＸＹ平面内の位置情報（回転情報（ヨーイング量（θｚ方向の回転量θｚ）、ピッチング量（θｘ方向の回転量θｘ）、ローリング量（θｙ方向の回転量θｙ））を含む）は、干渉計システムによって計測される。干渉計システムは、光学定盤７３から基板ステージＰＳＴの端部に設けられた移動鏡（又は鏡面加工された反射面（不図示））に測長ビームを照射し、移動鏡からの反射光を受光することにより、基板ステージＰＳＴの位置を計測する。その計測結果は制御装置（不図示）に供給され、制御装置は、干渉計システムの計測結果に従って基板ステージＰＳＴを駆動する。

【0024】

露光装置１０では、露光に先立ってアライメント計測（例えば、ＥＧＡ等）を行い、その結果を用いて、以下の手順で、基板Ｐを露光する。まず、制御装置の指示に従い、マスクステージＭＳＴ及び基板ステージＰＳＴをＸ軸方向に同期駆動する。これにより、基板Ｐ上の１つめのショット領域への走査露光を行う。１つめのショット領域に対する走査露光が終了すると、制御装置は、基板ステージＰＳＴを２つめのショット領域に対応する位置へ移動（ステッピング）する。そして、２つめのショット領域に対する走査露光を行う。制御装置は、同様に、基板Ｐのショット領域間のステッピングとショット領域に対する走査露光とを繰り返して、基板Ｐ上の全てのショット領域にマスクＭのパターンを転写する。

【0025】

（電力供給構成）
次に、上述した露光装置１０の基板ステージＰＳＴにおいて、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ、Ｘ粗動ステージ２３Ｘ、微動ステージ、およびその他各種センサ等の駆動に使用される電力を供給する電力供給システムについて説明する。

【0026】

図２は、第１実施形態に係る電力供給システム１００Ａを示すブロック図である。図２に示すように、電力供給システム１００Ａは、１次回路２００Ａ、２次回路３００Ａ、および３次回路４００Ａを備える。

【0027】

（１次回路２００Ａ）
１次回路２００Ａは、電源２０１と、バックブーストコンバータ２０２と、第１インバータ２０３と、第１送電コイル２０４Ａと、第１制御装置２０５Ａと、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０７と、を備える。

【0028】

バックブーストコンバータ２０２は、電源２０１と第１インバータ２０３との間に設けられる。バックブーストコンバータ２０２は、第１制御装置２０５Ａが備える供給電圧最適化部２１１（詳細は後述する）が出力する供給電圧振幅指令値に基づいて、電源２０１から第１インバータ２０３に供給する電圧の振幅を変更（昇圧又は降圧）する。これにより、第１送電コイル２０４Ａから送電される電力が変更できる。バックブーストコンバータ２０２は、例えば国際公開第２０１５／１３３３０１号に開示されたものと同様の構成を有している。なお、電力伝送の周波数は、たとえば、８０ｋＨｚから９０ｋＨｚとするが、この値に限定されるものではない。

【0029】

第１インバータ２０３は、バックブーストコンバータ２０２と第１送電コイル２０４Ａとの間に設けられる。第１インバータ２０３は、第１制御装置２０５Ａが備える固定信号供給部２１０から受信したスイッチング信号に基づいて、第１送電コイル２０４Ａに電圧を印加（供給）する時間を変更する。

【0030】

第１送電コイル２０４Ａは、たとえば電磁誘導方式、磁界共鳴方式等を用いて無線により２次回路３００Ａが備える第１受電コイル３０１Ａに電力を送電する。電磁誘導方式には、１次回路および２次回路に非共振回路を用いるＮ−Ｎ方式、１次回路に非共振回路を用い２次回路に共振回路を用いるＮ−Ｓ方式、および１次回路に共振回路を用い２次回路に非共振回路を用いるＳ−Ｎ方式等が存在する。磁界共鳴方式には、１次回路および２次回路に共振回路を用いるＳ−Ｓ方式、およびＳ−Ｐ方式が存在するが、いずれの方式を用いてもよい。本実施形態では、磁界共鳴方式のＳ−Ｓ方式を採用する。磁界共鳴方式のＳ−Ｓ方式は、高効率でかつ大きな電力を伝送することができる。さらに、最適負荷値が小さく、大電流が必要な装置への応用に適しており、１次回路（送電側回路）と２次回路（受電側回路）が対称回路であるため回生が行える。

【0031】

図２に戻り、ＤＣ／ＤＣコンバータ２０７は、電源２０１の電圧を第１制御装置２０５Ａで使用する電圧に変換し第１制御装置２０５Ａに供給する。

【0032】

第１制御装置２０５Ａは、１次回路２００Ａ全体を統括的に制御する。第１制御装置２０５Ａは、Central Processing Unit（ＣＰＵ）、Read Only Memory（ＲＯＭ）、Random Access Memory（ＲＡＭ）等を備える。第１制御装置２０５Ａは、ＲＯＭ等に記憶されたプログラムをＣＰＵが実行することによって、固定信号供給部２１０及び供給電圧最適化部２１１として機能する。

【0033】

固定信号供給部２１０は、第１インバータ２０３にスイッチング信号を出力する。本実施形態では、固定信号供給部２１０は、パルス幅を固定したスイッチング信号（例えば、デューティ比５０％のスイッチング信号）を第１インバータ２０３に出力する。

【0034】

供給電圧最適化部２１１は、２次回路３００Ａ及び３次回路４００Ａで消費される電力に対して必要十分な電力を第１送電コイル２０４Ａから送電するよう、第１送電コイル２０４Ａに供給する電圧を最適化する。より具体的には、供給電圧最適化部２１１は、第１送電コイル２０４Ａが送電する電力をフィードフォワード制御およびフィードバック制御により決定する。

【0035】

（フィードフォワード制御）
露光装置１０は、露光動作を行う際に予め決められた軌道で基板ステージＰＳＴが駆動される。そのため、供給電圧最適化部２１１は、基板ステージＰＳＴの軌道に基づくフィードフォワード制御を行うことができる。

【0036】

本実施形態では、供給電圧最適化部２１１は、２次回路３００Ａおよび３次回路４００Ａで消費される電力を予め推定し、推定された消費電力に対し必要十分な電力が第１送電コイル２０４Ａから送電されるよう、バックブーストコンバータ２０２に出力する供給電圧振幅指令値を変更する。具体的には、供給電圧最適化部２１１は、Ｙ粗動ステージ２３ＹおよびＸ粗動ステージ２３Ｘを含む基板ステージＰＳＴが移動する予定の軌跡（移動予定軌跡）を主制御装置Ｓから取得し、ＹリニアモーターおよびＸリニアモーターに必要な推力（トルク）を算出する。そして、供給電圧最適化部２１１は、算出した必要推力から、ＹリニアモーターおよびＸリニアモーターが消費する電力を推定（算出）し、当該推定された消費電力（以後、推定消費電力と記載する）から第１送電コイル２０４Ａに供給が必要な電圧を算出する。

【0037】

供給電圧最適化部２１１は、算出した必要電圧が第１送電コイル２０４Ａに供給されるように、バックブーストコンバータ２０２に出力する供給電圧振幅指令値を変更する。これにより、第１送電コイル２０４Ａに印加される電圧の振幅が変更され、第１送電コイル２０４Ａから送電される電力が変更される。

【0038】

（フィードバック制御）
フィードバック制御では、供給電圧最適化部２１１は、２次回路３００Ａで実際に消費された電力に基づいて、バックブーストコンバータ２０２に出力する供給電圧振幅指令値を変更する。具体的には、供給電圧最適化部２１１は、後述する２次回路３００Ａの第２制御装置３０７Ａが備える負荷電力算出部３１１から、２次回路３００Ａで実際に消費された電力（以後、実消費電力と記載する）の情報を無線通信により受信する。なお、露光装置１０内はたとえばBluetooth（登録商標）等の無線通信によって、通信が可能となっている。供給電圧最適化部２１１は、２次回路３００Ａにおける実消費電力に基づいて、第１送電コイル２０４Ａに供給が必要な電圧を算出する。

【0039】

供給電圧最適化部２１１は、算出した必要電圧が第１送電コイル２０４Ａに供給されるように供給電圧振幅指令値を変更し、バックブーストコンバータ２０２に供給電圧振幅指令値を出力する。これにより、第１送電コイル２０４Ａに印加される電圧の振幅が変更され、２次回路３００Ａで消費される電力に対して必要十分な電力を第１送電コイル２０４Ａから送電される。

【0040】

このように、第１実施形態に係る電力供給システム１００Ａでは、供給電圧最適化部２１１がフィードフォワード制御及びフィードバック制御を実行することにより、２次回路３００Ａで消費される電力に対して必要十分な電力を第１送電コイル２０４Ａから第１受電コイル３０１Ａに送電している。

【0041】

（２次回路３００Ａ）
２次回路３００Ａは、たとえばＹ粗動ステージ２３Ｙに配置され、第１受電コイル３０１Ａ、コンバータ３０２、第１モータードライバ３０３、エンコーダ等を含む各種センサ３３０、モーター３３１、第２インバータ３０４、第２送電コイル３０５Ａ、ＤＣ／ＤＣコンバータ３０６、電圧計３０９、および第２制御装置３０７Ａを備える。

【0042】

第１受電コイル３０１Ａは、第１送電コイル２０４Ａから送電された電力を受電する。

【0043】

コンバータ３０２は、第１受電コイル３０１Ａと接続され、第２制御装置３０７Ａが備える負荷電圧制御部３１０からのスイッチング信号に基づいて、第１受電コイル３０１Ａから入力される交流電圧を所定の直流電圧に変換し出力する。

【0044】

第１モータードライバ３０３は、センサ３３０およびモーター３３１に接続され、移動予定軌跡に基づいて、センサ３３０およびモーター３３１を駆動する。なお、本実施形態において、モーター３３１は、Ｙリニアモーターに対応する。

【0045】

第２インバータ３０４は、第２制御装置３０７Ａが備えるパルス幅制御部３１２からのスイッチング信号に基づいて駆動し、第２送電コイル３０５Ａに電圧を供給する。

【0046】

第２送電コイル３０５Ａは、第１受電コイル３０１Ａが受電した電力の一部を３次回路４００Ａが備える第２受電コイル４０１Ａに送電する。

【0047】

電圧計３０９は、コンバータ３０２が出力する電圧を検出し、検出結果を第２制御装置３０７Ａに出力する。

【0048】

ＤＣ／ＤＣコンバータ３０６は、コンバータ３０２から出力される電圧を第２制御装置３０７Ａで使用する電圧に変換し第２制御装置３０７Ａに供給する。

【0049】

第２制御装置３０７Ａは、２次回路３００Ａ全体を統括的に制御する。第２制御装置３０７Ａは、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を備える。第２制御装置３０７Ａは、ＲＯＭ等に記憶されたプログラムをＣＰＵが実行することによって、負荷電圧制御部３１０、負荷電力算出部３１１、供給電圧最適化部３１３、及びパルス幅制御部３１２として機能する。

【0050】

負荷電圧制御部３１０は、コンバータ３０２にスイッチング信号を出力し、２次回路３００Ａに供給される電圧を制御する。負荷電圧制御部３１０は、電圧計３０９の電圧を制御する。負荷電圧制御部３１０による電圧計３０９の制御方法は、例えば、論文「郡司大輔、居村岳広、藤本博志：磁界共振結合によるワイヤレスインホイールモータの電力変換回路の制御に関する基礎研究、電気学会論文誌Ｄ，Vol．135，No.3，pp.182-191(2014)」や、「郡司大輔、居村岳広、藤本博志、定電力負荷への磁界共振結合ワイヤレス電力伝送における二次側負荷電圧の安定性解析、平成２６年電気学会産業応用部門大会、No.2-15、pp.139-142(2014)」に開示された方法と同様の制御方法を採用することができる。

【0051】

負荷電力算出部３１１は、２次回路３００Ａにおいて実際に消費された電力（実消費電力）を算出する。例えば、負荷電力算出部３１１は、電圧計３０９で検出した電圧値と、不図示の電流計で検出した電流値とに基づいて、２次回路３００Ａにおいて実際に消費された電力を算出する。または、負荷電力算出部３１１は、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの動きを制御する不図示のモーション制御部から取得したＹリニアモーターの推力（トルク）の指令値と、センサ（エンコーダ）３３０の検出値から算出したＹリニアモーターの実速度と、に基づいて実消費電力を算出してもよい。負荷電力算出部３１１は、算出した実消費電力の情報を無線通信によって１次回路２００Ａの供給電圧最適化部２１１に送信する。これにより、供給電圧最適化部２１１は、前述したフィードバック制御を行うことができる。

【0052】

供給電圧最適化部３１３は、３次回路４００Ａで消費される電力に対して必要十分な電力を第２送電コイル３０５Ａから送電するよう、第２送電コイル３０５Ａに供給する電圧を最適化する。この場合、供給電圧最適化部３１３は、第２送電コイル３０５Ａが送電する電力をフィードフォワード制御およびフィードバック制御する。

【0053】

より詳細には、供給電圧最適化部３１３は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが移動する予定の軌跡（移動予定軌跡）を主制御装置Ｓから取得し、Ｘリニアモーターに必要な推力（トルク）を算出する。そして、供給電圧最適化部２１１は、算出した必要推力から、Ｘリニアモーター等が消費する電力を推定（算出）し、当該推定消費電力から第２送電コイル３０５Ａに供給が必要な電圧を算出する（フィードフォワード制御）。

【0054】

また、供給電圧最適化部３１３は、後述する３次回路４００Ａの第３制御装置４０７Ａが備える負荷電力算出部４１１から、３次回路４００Ａで実際に消費された電力の情報を無線通信により受信する。供給電圧最適化部３１３は、３次回路４００Ａで実際に消費された電力に基づいて、第２送電コイル３０５Ａに供給が必要な電圧を算出する（フィードバック制御）。

【0055】

供給電圧最適化部３１３は、第２送電コイル３０５Ａに供給が必要な電圧の情報を、パルス幅制御部３１２に出力する。

【0056】

パルス幅制御部３１２は、第２インバータ３０４にスイッチング信号を出力する。本実施形態では、パルス幅制御部３１２は、供給電圧最適化部３１３から受信した第２送電コイル３０５Ａに供給が必要な電圧の情報に基づいて、スイッチング信号のパルス幅を変更する制御（以下、ＰＷＣ（Pulse Width Control）制御と称する。）を行う。これにより、第２送電コイル３０５Ａに電圧を印加する時間が変更され、第２送電コイル３０５Ａから送電される電力が変更される。

【0057】

（３次回路４００Ａ）
３次回路４００Ａは、たとえばＸ粗動ステージ２３Ｘに設けられ、第２受電コイル４０１Ａ、コンバータ４０２、電圧計４０３、第２モータードライバ４０４、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの位置を検出するためのエンコーダ等を含む各種センサ４３０、モーター４３１、第３モータードライバ４０５、微動ステージ２１の位置を検出するためのエンコーダ等を含む各種センサ４４０、ボイスコイルモーター１８Ｘ、１８Ｙ、１８Ｚ、ＤＣ／ＤＣコンバータ４０６、および第３制御装置４０７Ａを備える。

【0058】

第２受電コイル４０１Ａは、第２送電コイル３０５Ａから送電された電力を受電する。

【0059】

コンバータ４０２は、第２受電コイル４０１Ａと接続され、第３制御装置４０７Ａが備える負荷電圧制御部４１０からのスイッチング信号に基づいて第２受電コイル４０１Ａから入力される交流電圧を所定の直流電圧に変換し出力する。

【0060】

第２モータードライバ４０４は、センサ４３０およびモーター４３１に接続され、移動予定軌跡に基づいてモーター４３１を駆動する。なお、本実施形態において、モーター４３１は、Ｘリニアモーターに対応する。

【0061】

第３モータードライバ４０５は、センサ４４０およびボイスコイルモーター１８Ｘ、１８Ｙ、１８Ｚに接続される。第３モータードライバ４０５は、移動予定軌跡に基づいてボイスコイルモーター１８Ｘ、１８Ｙ、１８Ｚを駆動する。

【0062】

電圧計４０３は、コンバータ４０２が出力した電圧を検出し、検出結果を第３制御装置４０７Ａに出力する。

【0063】

ＤＣ／ＤＣコンバータ４０６は、コンバータ４０２が出力した電圧を第３制御装置４０７Ａで使用する電圧に変換し、第３制御装置４０７Ａに供給する。

【0064】

第３制御装置４０７Ａは、３次回路４００Ａ全体を統括的に制御する。第３制御装置４０７Ａは、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等を備える。第３制御装置４０７Ａは、ＲＯＭ等に記憶されたプログラムをＣＰＵが実行することにより、負荷電圧制御部４１０および負荷電力算出部４１１として機能する。

【0065】

負荷電圧制御部４１０は、コンバータ４０２にスイッチング信号を出力し３次回路４００Ａに供給する電圧を制御する。

【0066】

負荷電力算出部４１１は、３次回路４００Ａにおいて実際に消費された電力を算出する。例えば、負荷電力算出部４１１は、電圧計３０９で検出した電圧値と、不図示の電流計で検出した電流値とに基づいて、３次回路４００Ａにおいて実際に消費された電力を算出する。または、負荷電力算出部４１１は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの動きを制御する不図示のモーション制御部から取得したＸリニアモーターの推力（トルク）の指令値と、センサ４３０の検出値から算出したＸリニアモーターの実速度と、に基づいて、３次回路４００Ａにおいて実際に消費された電力を算出する。負荷電力算出部４１１は、算出した実消費電力の情報を無線通信によって２次回路３００Ａの供給電圧最適化部３１３に送信する。これにより、供給電圧最適化部３１３は、前述したフィードバック制御を行うことができる。

【0067】

（コイル配置）
次に、本実施形態における第１送電コイル２０４Ａ、第１受電コイル３０１Ａ、第２送電コイル３０５Ａ、及び第２受電コイル４０１Ａの配置について説明する。図３（ａ）及び図３（ｂ）は、第１実施形態における第１送電コイル２０４Ａ、第１受電コイル３０１Ａ、第２送電コイル３０５Ａ、及び第２受電コイル４０１Ａの配置の一例を示す図である。

【0068】

第１送電コイル２０４Ａは、例えば、図１に示すベース７１の＋Ｘ側の側面に設けられ、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すようにＹ軸方向に延伸している。第１送電コイル２０４ＡのＹ軸方向長さは、Ｙ粗動ステージ２３Ｙが可動域の端にある場合にも、第１送電コイル２０４Ａと第１受電コイル３０１Ａとが対向するように設定される。

【0069】

第１受電コイル３０１Ａは、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの＋Ｘ側の側面に第１送電コイル２０４Ａと対向するように設けられている。これにより、第１受電コイル３０１Ａは、第１送電コイル２０４Ａから電力を受電できる。

【0070】

第２送電コイル３０５Ａは、例えば、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの＋Ｙ側の側面に設けられている。第２送電コイル３０５ＡのＸ軸方向長さは、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが可動域の端にある場合にも、第２送電コイル３０５Ａと第２受電コイル４０１Ａとが対向するように設定される。

【0071】

第２受電コイル４０１Ａは、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの＋Ｙ側の側面に第２送電コイル３０５Ａと対向するように設けられている。これにより、第２受電コイル４０１Ａは、第２送電コイル３０５Ａから電力を受電できる。

【0072】

なお、各コイルの配置方法は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に限られるものではない。例えば、第１受電コイル３０１Ａを、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの＋Ｙ側の側面に設けてもよい。この場合、第１送電コイル２０４Ａと第１受電コイル３０１Ａとの間の磁場の影響を受けないようにするため、第２送電コイル３０５Ａの下方（−Ｚ側）にフェライト板を設けるのがよい。

【0073】

上述した図２に示す回路を採用することにより、１次回路２００Ａから２次回路３００Ａ及び３次回路４００Ａに対し、２次回路３００Ａ及び３次回路４００Ａのそれぞれにおいて必要とされる消費電力に対して必要十分な電力を無線で供給することができる。

【0074】

以上、詳細に説明したように、本第１実施形態によれば、基板ステージＰＳＴは、床Ｆに対して、Ｙ粗動ステージ２３Ｙと、電磁誘導現象又は磁界共振現象を利用して電力を送電する１次回路２００Ａと、Ｙ粗動ステージ２３Ｙに設けられ、１次回路２００Ａが送電した電力を受電する２次回路３００Ａと、を備える。これにより、Ｙ粗動ステージ２３Ｙに電力供給を行うケーブルを設ける必要がないため、ケーブルに起因する外乱を低減することができ、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの位置決め精度を向上することができる。また、ケーブルと他の部材との摺動による発塵を防止することができる。また、粗動ステージ２３Ｘ，２３Ｙの動きによってケーブルの断線や破損が生じ、当該ケーブルの断線や破損による露光装置１０の停止によって生産性が低下することを抑制することができる。

【0075】

また、本第１実施形態によれば、１次回路２００Ａは、Ｙ粗動ステージ２３Ｙが移動する予定の軌跡に基づき算出された電力を送電する。これにより、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの駆動に必要十分な電力を１次回路２００Ａから２次回路３００Ａに送電することができる。Ｙ粗動ステージ２３Ｙの駆動に必要十分な電力以上の電力を送電すると、余剰電力が熱として放出され、当該熱が露光装置１０の露光精度に悪影響を与えるおそれがある。本実施形態によれば、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの駆動に必要十分な電力を送電できるため、露光装置１０の露光精度が放熱により低下するのを防止することができる。

【0076】

また、本第１実施形態によれば、１次回路２００Ａは、Ｙ粗動ステージ２３Ｙに設けられた２次回路３００Ａにおいて実際に消費された電力に基づき算出された電力を送電する。これにより、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの駆動に必要十分な電力を１次回路２００Ａから２次回路３００Ａに送電することができる。

【0077】

また、本第１実施形態によれば、基板ステージＰＳＴは、床Ｆに対してＹ粗動ステージ２３Ｙと、Ｙ粗動ステージ２３Ｙに設けられ、Ｙ粗動ステージ２３Ｙに対してＸ粗動ステージ２３Ｘと、を含み、Ｙ粗動ステージ２３Ｙには２次回路３００Ａが設けられ、Ｘ粗動ステージ２３Ｘには１次回路２００Ａが送電した電力の一部を受電する３次回路４００Ａが設けられている。これにより、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ及びＸ粗動ステージ２３Ｘに電力供給用のケーブルを接続しなくとも、１次回路２００Ａから、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ及びＸ粗動ステージ２３Ｘに無線により電力を供給することができる。すなわち、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ及びＸ粗動ステージ２３Ｘに電力供給を行うケーブルを接続する必要がないため、ケーブルに起因する外乱を低減することができ、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ及びＸ粗動ステージ２３Ｘの位置決め精度を向上することができる。また、ケーブルと他の部材との摺動による発塵を防止することができる。また、粗動ステージ２３Ｘ，２３Ｙの動きによってケーブルの断線や破損が生じ、当該ケーブルの断線や破損による露光装置１０の停止によって生産性が低下することを抑制することができる。

【0078】

また、本第１実施形態によれば、１次回路２００Ａは、電力を送電する第１送電コイル２０４Ａを含み、２次回路３００Ａは、第１送電コイル２０４Ａと対向し、第１送電コイル２０４Ａから電力を受電する第１受電コイル３０１Ａと、第１受電コイル３０１Ａが受電した電力の一部を送電する第２送電コイル３０５Ａと、を含み、３次回路４００Ａは、第２送電コイル３０５Ａと対向し、第２送電コイル３０５Ａから電力を受電する第２受電コイル４０１Ａを含む。ここで、第２送電コイル３０５Ａがない場合、第２受電コイル４０１Ａは第１送電コイル２０４Ａから電力を受電することになるが、このとき、第１送電コイル２０４Ａと第２受電コイル４０１Ａとの間のギャップ（距離）が大きくなり、第１送電コイル２０４Ａから第２受電コイル４０１Ａに効率的に電力を伝送できない可能性がある。本構成によれば、第２送電コイル３０５Ａから第２受電コイル４０１Ａに電力を伝送するので、第１送電コイル２０４Ａと第２受電コイル４０１Ａとの間のギャップ（距離）が大きい場合にも、高効率で３次回路４００Ａに電力を供給することができる。

【0079】

また、本第１実施形態によれば、２次回路３００Ａは、第２インバータ３０４のスイッチング信号のパルス幅を変更して第２送電コイル３０５Ａに電圧を印加する時間を変更することにより、２次回路３００Ａが送電する電力を制御する。これにより、２次回路３００Ａは、第２送電コイル３０５Ａに印加される電圧の振幅を変更するためのバックブーストコンバータを必要としないため、コストを低減することができる。また、バックブーストコンバータは、一般的にサイズが大きい。したがって、バックブーストコンバータをＹ粗動ステージ２３Ｙに搭載すると、位置決め精度等に悪影響を与えるおそれがある。しかしながら、本第１実施形態ではバックブーストコンバータを必要としないため、２次回路３００ＡをＹ粗動ステージ２３Ｙに設置することによりＹ粗動ステージ２３Ｙの位置決め精度が低下する等を防止することができる。

【0080】

また、本第１実施形態によれば、１次回路２００Ａは、バックブーストコンバータ２０２の供給電圧振幅指令値を変更して第１送電コイル２０４Ａに供給する電圧の振幅を変更することにより、１次回路２００Ａが送電する電力を制御（以下、ＰＡＭ：Pulse Amplitude Modulation制御と称する）を行う。一般的には、インバータのスイッチング損失は、バックブーストコンバータのスイッチング損失よりも大きいが、デューティ比が５０％のとき、１次側電圧と電流が同相であるため、ゼロ電流スイッチングに近くなり、インバータのスイッチング損失は小さくなる。したがって、一般的には、ＰＡＭ制御のほうがＰＷＣ制御よりも高効率となる。したがって、第１送電コイル２０４Ａから第１受電コイル３０１Ａに高効率で電力を伝送できる。

【0081】

なお、上記第１実施形態において、第１送電コイル２０４Ａをベース７１に設けていたが、これに限られるものではない。第１送電コイル２０４Ａを、例えば、床Ｆに設けてもよい。

【0082】

また、上記実施形態において、微動ステージ２１に対しても無線で電力を送信する場合には、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに設けられる３次回路４００Ａの構成を２次回路３００Ａと同様にし、３次回路４００Ａから送電される電力を受電する受電コイルを含む４次回路を微動ステージ２１に設ければよい。

【0083】

（変形例１）
第１実施形態では、２次回路３００Ａの第２インバータ３０４のスイッチング信号のパルス幅を変更して、第２送電コイル３０５Ａから送電する電力を変更していたが、第２送電コイル３０５Ａに供給する電圧の振幅を変更して、第２送電コイル３０５Ａから送電する電力を変更してもよい。

【0084】

図４は、第１実施形態の変形例１に係る電力供給システム１００Ａ１のブロック図である。電力供給システム１００Ａ１は、１次回路２００Ａ１、２次回路３００Ａ１、および３次回路４００Ａ１を備える。１次回路２００Ａ１および３次回路４００Ａ１の構成は、図２の１次回路２００Ａおよび３次回路４００Ａとそれぞれ同様であるため、詳細な説明を省略する。

【0085】

電力供給システム１００Ａ１の２次回路３００Ａ１は、２次回路３００Ａの構成に加えて、バックブーストコンバータ３２０を備える。また、２次回路３００Ａ１は、パルス幅制御部３１２に代えて、固定信号供給部３１２’を備える。

【0086】

バックブーストコンバータ３２０は、コンバータ３０２と第２インバータ３０４との間に設けられ、第２制御装置３０７Ａの供給電圧最適化部３１３が出力する供給電圧振幅指令値に基づいて、第２送電コイル３０５Ａに供給される電圧の振幅を変更（昇圧又は降圧）する。これにより、第２送電コイル３０５Ａから送電される電力が変更される。

【0087】

電力供給システム１００Ａ１では、第２制御装置３０７Ａが備える固定信号供給部３１２’は、パルス幅を固定したスイッチング信号（例えば、デューティ比５０％のスイッチング信号）を第２インバータ３０４に出力する。

【0088】

供給電圧最適化部３１３は、第１実施形態で説明したように、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの移動予定軌跡に基づいて、３次回路４００Ａで消費される電力を推定する。供給電圧最適化部３１３は、推定消費電力に対して必要十分な電力が第２送電コイル３０５Ａから送電されるように、供給電圧振幅指令値を変更し、バックブーストコンバータ３２０へ供給電圧振幅指令値を出力する。これにより、第２送電コイル３０５Ａに印加される電圧の振幅が変更され、推定消費電力に対して必要十分な電力が第２送電コイル３０５Ａから送電される。

【0089】

以上のように、変形例１によれば、２次回路３００Ａ１は、第２送電コイル３０５Ａに供給する電圧の振幅を変更することにより、第２送電コイル３０５Ａが送電する電力を制御する（ＰＡＭ制御）。前述したように、一般的にＰＡＭ制御のほうが高効率である。したがって、変形例１によれば、第２送電コイル３０５Ａから第２受電コイル４０１Ａに高効率で電力を伝送できる。

【0090】

また、変形例１に係る電力供給システム１００Ａ１においても、２次回路３００Ａ１で消費される電力に対して必要十分な電力を第１送電コイル２０４Ａから第１受電コイル３０１Ａに送電するとともに、３次回路４００Ａ１で消費される電力に対して必要十分な電力を第２送電コイル３０５Ａから第２受電コイル４０１Ａに送電することができる。

【0091】

（変形例２および３）
第１実施形態およびその変形例１では、１次回路が備えるバックブーストコンバータ２０２により、第１送電コイル２０４Ａに印加される電圧の振幅を変更し、第１送電コイル２０４Ａが送電する電力を変更していた。変形例２および３では、第１インバータ２０３に出力するスイッチング信号のパルス幅を変更して、第１送電コイル２０４Ａに電圧を印加する時間を変更することで、第１送電コイル２０４Ａが送電する電力を変更する。

【0092】

図５は、変形例２に係る電力供給システム１００Ａ２のブロック図であり、図６は、変形例３に係る電力供給システム１００Ａ３のブロック図である。電力供給システム１００Ａ２が備える２次回路３００Ａ２および３次回路４００Ａ２の構成は、図２の２次回路３００Ａおよび３次回路４００Ａとそれぞれ同様であるため詳細な説明を省略する。また、電力供給システム１００Ａ３が備える２次回路３００Ａ３および３次回路４００Ａ３の構成は、図４の２次回路３００Ａ１および３次回路４００Ａ１と同様であるため詳細な説明を省略する。

【0093】

図５および図６において、１次回路２００Ａ２および２００Ａ３は、バックブーストコンバータ２０２を備えていない。また、１次回路２００Ａ２および２００Ａ３は、固定信号供給部２１０に代えて、パルス幅制御部２１０’を備えている。

【0094】

第１制御装置２０５Ａの供給電圧最適化部２１１は、第１送電コイル２０４Ａに供給が必要な電圧の情報をパルス幅制御部２１０’に出力する。

【0095】

パルス幅制御部２１０’は、第１送電コイル２０４Ａに必要な電圧が供給されるようにパルス幅を変更したスイッチング信号を第１インバータ２０３に出力する。これにより、第１送電コイル２０４Ａに電圧を印加する時間が変更され、第１送電コイル２０４Ａが送電する電力が変更される。

【0096】

以上説明したように、変形例２及び３によれば、１次回路２００Ａ２および２００Ａ３は、第１インバータ２０３のスイッチング信号のパルス幅を変更して第１送電コイル２０４Ａに電圧を印加する時間を変更することにより、１次回路２００Ａが送電する電力を制御する（ＰＷＣ制御）。前述したように、一般的にはＰＡＭ制御のほうがＰＷＣ制御よりも効率が高いが、ＰＷＣ制御において可変デューティ比が５０％付近となる特殊条件の場合に限り、バックブーストコンバータのスイッチング損失がない分だけ、ＰＷＣ制御のほうがＰＡＭ制御よりも効率が高くなる。したがって、ＰＷＣ制御により、第１送電コイル２０４Ａが送電する電力を変更してもよい。なお、ＰＷＣ制御の場合、バックブーストコンバータが不要となるため、コストを低減することができる。

【0097】

（変形例４および５）
第１実施形態およびその変形例１〜３に係る２次回路において、第２制御装置３０７Ａは供給電圧最適化部３１３を備えていなくてもよい。図７は、変形例４に係る電力供給システム１００Ａ４のブロック図であり、図８は、変形例５に係る電力供給システム１００Ａ５のブロック図である。

【0098】

電力供給システム１００Ａ４および１００Ａ５では、２次回路３００Ａ４及び３００Ａ５の第２制御装置３０７Ａは、供給電圧最適化部３１３を備えておらず、１次回路２００Ａ４及び２００Ａ５の第１制御装置２０５Ａが備える供給電圧最適化部２１１が、供給電圧最適化部３１３が行っていた処理を実行する。

【0099】

すなわち、第１制御装置２０５Ａが備える供給電圧最適化部２１１は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘが移動する予定の軌跡（移動予定軌跡）を主制御装置Ｓから取得し、Ｘリニアモーターに必要な推力（トルク）を算出する。そして、供給電圧最適化部２１１は、算出した必要推力から、Ｘリニアモーターが消費する電力を算出し、当該消費電力から第２送電コイル３０５Ａに供給が必要な電圧を算出する（フィードフォワード制御）。

【0100】

また、供給電圧最適化部２１１は、３次回路４００Ａ４及び４００Ａ５の負荷電力算出部４１１から無線通信により３次回路４００Ａ４及び４００Ａ５で実際に消費された電力の情報を受信する。供給電圧最適化部２１１は、３次回路４００Ａ４及び４００Ａ５での実消費電力に基づいて、第２送電コイル３０５Ａに供給が必要な電圧を算出する（フィードバック制御）。

【0101】

変形例４に係る電力供給システム１００Ａ４では、供給電圧最適化部２１１は、第２送電コイル３０５Ａに供給が必要な電圧の情報を、無線通信によりパルス幅制御部３１２に送信する。

【0102】

パルス幅制御部３１２は、供給電圧最適化部２１１から受信した第２送電コイル３０５Ａに供給が必要な電圧の情報に基づいて、スイッチング信号のパルス幅を変更する。これにより、３次回路４００Ａ４で消費される電力に対して必要十分な電力を第２送電コイル３０５Ａから送電することができる。

【0103】

一方、変形例５に係る電力供給システム１００Ａ５では、供給電圧最適化部２１１は、必要な電圧が第２送電コイル３０５Ａに供給されるように供給電圧振幅指令値を変更し供給電圧振幅指令値をバックブーストコンバータ３２０に無線通信により送信し、第２インバータ３０４に印加される電圧を変更する。これにより、３次回路４００Ａ５で消費される電力に対して必要十分な電力を第２送電コイル３０５Ａから送電することができる。

【0104】

なお、変形例４および変形例５を、変形例２および３にそれぞれ適用してもよい。

【0105】

（変形例６および７）
変形例４および５において、第３制御装置４０７Ａの負荷電力算出部４１１は、無線通信により第１制御装置２０５Ａが備える供給電圧最適化部２１１に実消費電力を送信していたが、図９および図１０に示すように、第２制御装置３０７Ａが備える負荷電力算出部３１１に無線通信により送信してもよい。

【0106】

この場合、第２制御装置３０７Ａが備える負荷電力算出部３１１は、２次回路および３次回路で実際に消費された電力の情報を、第１制御装置２０５Ａが備える供給電圧最適化部２１１に無線通信により送信する。

【0107】

供給電圧最適化部２１１は、第２制御装置３０７Ａが備える負荷電力算出部３１１から受信した実消費電力に基づいて、フィードバック制御を行う。

【0108】

なお、上記第１実施形態及びその変形例１〜７において、供給電圧最適化部２１１及び供給電圧最適化部３１３はフィードフォワード制御及びフィードバック制御を行っていたが、いずれか一方を行ってもよい。

【0109】

≪第２実施形態≫
第２実施形態は、露光装置１０の構成は第１実施形態と同様であるが、電力供給システムの構成が第１実施形態と異なる。図１１は、第２実施形態に係る電力供給システム１００Ｂのブロック図である。なお、図の簡略化のため、電力供給システム１００Ｂでは、フィードバック制御を行っていないが、フィードフォワード制御とともにフィードバック制御を行ってもよい。また、電力供給システム１００Ｂにおいて、フィードフォワード制御を行わず、フィードバック制御を行ってもよい。

【0110】

図１１に示すように、第２実施形態に係る電力供給システム１００Ｂは、１次回路２００Ｂ、２次回路３００Ｂ、及び３次回路４００Ｂを備える。２次回路３００Ｂは、Ｙ粗動ステージ２３Ｙに設けられ、３次回路４００Ｂは、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに設けられている。

【0111】

（１次回路２００Ｂ）
１次回路２００Ｂは、複数の第１インバータ２０３と、各第１インバータ２０３と接続される複数の第１送電コイル２０４Ｂと、を備える。その他の構成は、図２の１次回路２００Ａと同様であるため、詳細な説明を省略する。

【0112】

（２次回路３００Ｂ）
２次回路３００Ｂは、図２の２次回路３００Ａと比較して、第２インバータ３０４および第２送電コイル３０５Ａを有していない。その他の構成は、図２の２次回路３００Ａと同様であるため、詳細な説明を省略する。

【0113】

（３次回路４００Ｂ）
３次回路４００Ｂは、第２受電コイル４０１Ｂが、第１送電コイル２０４Ｂが送電した電力を受電する点が、図２の３次回路４００Ａと異なる。その他の構成は、図２の３次回路４００Ａと同様であるため、詳細な説明を省略する。

【0114】

（コイル配置）
次に、本実施形態に係る第１送電コイル２０４Ｂ、第１受電コイル３０１Ｂ、及び第２受電コイル４０１Ｂの配置について説明する。図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、第２実施形態に係る第１送電コイル２０４Ｂ、第１受電コイル３０１Ｂ、及び第２受電コイル４０１Ｂの配置を示す図である。

【0115】

第１送電コイル２０４Ｂは、図１２（ａ）に示すように、Ｙ軸方向に延伸し、Ｘ軸方向に複数配置されている。各第１送電コイル２０４ＢのＹ軸方向長さは、矢印Ａ２で示す方向に移動するＹ粗動ステージ２３Ｙがその可動域の端にある場合にも、Ｙ粗動ステージ２３Ｙに設けられた第１受電コイル３０１Ｂ及びＸ粗動ステージ２３Ｘに設けられた第２受電コイル４０１Ｂと対向するように設定されている。また、複数の第１送電コイル２０４Ｂは、矢印Ａ１で示す方向に移動するＸ粗動ステージ２３Ｘがその可動域の端にある場合にも、Ｘ粗動ステージ２３Ｘに設けられた第２受電コイル４０１Ｂと少なくとも１つが対向するように設けられている。

【0116】

第１受電コイル３０１Ｂは、図１２（ａ）および図１２（ｂ）に示すように、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの＋Ｙ側側面に設けられ、第１送電コイル２０４Ｂと対向する。これにより、第１受電コイル３０１Ｂは、第１送電コイル２０４Ｂから電力を受電できる。

【0117】

第２受電コイル４０１Ｂは、図１２（ａ）および図１２（ｂ）に示すように、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの−Ｙ側側面に設けられ、第１送電コイル２０４Ｂと対向する。これにより、第２受電コイル４０１Ｂは、第１送電コイル２０４Ｂから電力を受電できる。

【0118】

なお、各コイルの配置方法は、図１２（ａ）及び図１２（ｂ）に限られるものではない。例えば、第１受電コイル３０１Ｂを、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの−Ｙ側の側面に設けてもよいし、第２受電コイル４０１ＢをＸ粗動ステージ２３Ｘの＋Ｙ側の側面に設けてもよい。

【0119】

以上、詳細に説明したように、本第２実施形態によれば、１次回路２００Ｂは、電力を送電する第１送電コイル２０４Ｂを含み、２次回路３００Ｂは、第１送電コイル２０４Ｂと対向し、第１送電コイル２０４Ｂから電力を受電する第１受電コイル３０１Ｂを含み、３次回路４００Ｂは、第１送電コイル２０４Ｂと対向し、第１送電コイル２０４Ｂから電力を受電する第２受電コイル４０１Ｂを含む。これにより、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ及びＸ粗動ステージ２３Ｘに無線により電力を供給できるため、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ及びＸ粗動ステージ２３Ｘに電力供給を行うケーブルを設ける必要がなく、ケーブルによる外乱を低減することができる。また、ケーブルと他の部材との摺動による発塵を防止することができる。また、粗動ステージ２３Ｘ，２３Ｙの動きによってケーブルの断線や破損が生じ、当該ケーブルの断線や破損による露光装置１０の停止によって生産性が低下することを抑制することができる。

【0120】

≪第３実施形態≫
第３実施形態は、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの駆動方法が第１及び第２実施形態と異なる。より具体的には、Ｙ粗動ステージ２３Ｙをボールネジにより駆動し、Ｘ粗動ステージ２３ＸをＸリニアモーターにより駆動する。

【0121】

図１３は、第３実施形態に係る電力供給システム１００Ｃのブロック図である。図１３に示すように、電力供給システム１００Ｃは、１次回路２００Ｃ、２次回路３００Ｃ、および３次回路４００Ｃを備える。２次回路３００ＣはＹ粗動ステージ２３Ｙに設けられ、３次回路４００ＣはＸ粗動ステージ２３Ｘに設けられている。なお、図の簡略化のため、電力供給システム１００Ｃでは、フィードバック制御を行っていないが、フィードフォワード制御とともにフィードバック制御を行ってもよい。また、電力供給システム１００Ｃにおいて、フィードフォワード制御を行わず、フィードバック制御を行ってもよい。

【0122】

（１次回路２００Ｃ）
１次回路２００Ｃは、図２の１次回路２００Ａの構成に加えて、第４モータードライバ２０６と、モーター２２１と、センサ２２０と、を備える。

【0123】

第４モータードライバ２０６は、移動予定軌跡に基づいてモーター２２１を駆動する。本実施形態において、モーター２２１は、Ｙ粗動ステージ２３Ｙを駆動するボールネジを駆動するためのモーターに対応する。その他の構成は、図２の１次回路２００Ａと同様であるため説明を省略する。

【0124】

（２次回路３００Ｃ）
２次回路３００Ｃでは、図２の２次回路３００Ａと比較して、第１モータードライバ３０３と、モーター３３１と、が省略されている。モーター３３１は、ＤＣ／ＤＣコンバータ３０６に接続されている。Ｙ粗動ステージ２３Ｙは、ボールネジにより駆動されるためである。２次回路３００Ｃのその他の主な構成は、図２の２次回路３００Ａと同様であるため詳細な説明を省略する。

【0125】

（３次回路４００Ｃ）
３次回路４００Ｃは、第２受電コイル４０１Ｃが、第１受電コイル３０１Ｃを介して第１送電コイル２０４Ｃが送電した電力を受電する点が、図２の３次回路４００Ａと異なる。その他の構成は、図２の３次回路４００Ａと同様であるため、詳細な説明を省略する。

【0126】

（コイル配置）
次に、本実施形態における第１送電コイル２０４Ｃ、第１受電コイル３０１Ｃ、及び第２受電コイル４０１Ｃの配置について説明する。図１４（ａ）及び図１４（ｂ）は、第３実施形態における第１送電コイル２０４Ｃ、第１受電コイル３０１Ｃ、及び第２受電コイル４０１Ｃの配置を示す図である。

【0127】

１次回路２００Ｃが備える第１送電コイル２０４Ｃは、図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向に延び、Ｙ粗動ステージ２３Ｙに設けられた第１受電コイル３０１Ｃと対向するように設けられている。第１送電コイル２０４ＣのＹ軸方向長さは、矢印Ａ１の方向に移動するＹ粗動ステージ２３Ｙが可動域の端にある場合にも、第１送電コイル２０４Ｃと第１受電コイル３０１Ｃとが対向するように設定される。

【0128】

２次回路３００Ｃが備える第１受電コイル３０１Ｃは、図１４（ａ）および図１４（ｂ）に示すように、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの＋Ｙ側の側面に設けられ、第１送電コイル２０４Ｃと対向する。これにより、第１受電コイル３０１Ｃは、第１送電コイル２０４Ｃから電力を受電できる。

【0129】

３次回路４００Ｃが備える第２受電コイル４０１Ｃは、図１４（ａ）および図１４（ｂ）に示すように、Ｘ粗動ステージ２３Ｘの＋Ｙ側の側面に設けられ、第１受電コイル３０１Ｃと対向する。なお、第１受電コイル３０１Ｃは、矢印Ａ２の方向に移動するＸ粗動ステージ２３Ｘが可動域の端にある場合にも、第２受電コイル４０１Ｃと対向するように設けられている。これにより、第２受電コイル４０１Ｃは、第１受電コイル３０１Ｃを介して第１送電コイル２０４Ｃから電力を受電できる。

【0130】

なお、各コイルの配置方法は、図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に限られるものではない。例えば、第１受電コイル３０１Ｃを、Ｙ粗動ステージ２３Ｙの−Ｙ側の側面に設け、かつ、第２受電コイル４０１ＣをＸ粗動ステージ２３Ｘの−Ｙ側の側面に設けてもよい

【0131】

以上詳細に説明したように、第３実施形態によれば、１次回路２００Ｃは、電力を送電する第１送電コイル２０４Ｃを含み、２次回路３００Ｃは、第１送電コイル２０４Ｃと対向し、第１送電コイル２０４Ｃから電力を受電する第１受電コイル３０１Ｃを含み、３次回路４００Ｃは、第１受電コイル３０１Ｃと対向し、第１送電コイル２０４Ｃから第１受電コイル３０１Ｃを介して電力を受電する第２受電コイル４０１Ｃを含む。これにより、Ｙ粗動ステージ２３Ｙをボールネジにより駆動し、Ｘ粗動ステージ２３ＸをＸリニアモーターにより駆動する場合でも、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ及びＸ粗動ステージ２３Ｘに無線により電力を供給できるため、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ及びＸ粗動ステージ２３Ｘに電力供給を行うケーブルを設ける必要がなく、ケーブルによる外乱を低減することができる。また、ケーブルと他の部材との摺動による発塵を防止することができる。また、粗動ステージ２３Ｘ，２３Ｙの動きによってケーブルの断線や破損が生じ、当該ケーブルの断線や破損による露光装置１０の停止によって生産性が低下することを抑制することができる。

【0132】

なお、Ｙ粗動ステージ２３Ｙをボールネジにより駆動し、Ｘ粗動ステージ２３ＸをＸリニアモーターにより駆動する場合、第２実施形態に係る電力供給システム１００Ｂの構成を採用してもよい。この場合、図１１に示す電力供給システム１００Ｂにおいて、１次回路２００Ｂに、ボールネジを駆動するための構成であるインバータとモーターとを付加し、２次回路３００Ｂからモーター３３１を削除すればよい。

【0133】

≪第４実施形態≫
第４実施形態は、Ｙ粗動ステージ２３ＹをＹリニアモーターで駆動し、Ｘ粗動ステージ２３Ｘをボールネジによって駆動する。この場合、第１実施形態に係る電力供給システム１００Ａの構成を採用することができる。

【0134】

Ｙ粗動ステージ２３ＹをＹリニアモーターで駆動し、Ｘ粗動ステージ２３Ｘをボールネジによって駆動する場合、図２に示す電力供給システム１００Ａにおいて、２次回路３００Ａが備えるモーター３３１が、Ｙリニアモーターと、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを駆動するボールネジを駆動するためのモーターと、を含む。この場合、３次回路４００Ａが備えるモーター４３１を省略できる。

【0135】

また、Ｙ粗動ステージ２３ＹをＹリニアモーターで駆動し、Ｘ粗動ステージ２３Ｘをボールネジによって駆動する場合、第２実施形態に係る電力供給システム１００Ｂを採用してもよい。この場合、図１１に示す電力供給システム１００Ｂにおいて、２次回路３００Ａが備えるモーター３３１が、Ｙリニアモーターと、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを駆動するボールネジを駆動するためのモーターと、を含む。この場合、３次回路４００Ａが備えるモーター４３１を省略できる。

【0136】

以上詳細に説明したように、第４実施形態によれば、Ｙ粗動ステージ２３ＹをＹリニアモーターにより駆動し、Ｘ粗動ステージ２３Ｘをボールネジにより駆動する場合でも、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ及びＸ粗動ステージ２３Ｘに無線により電力を供給できるため、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ及びＸ粗動ステージ２３Ｘに電力供給を行うケーブルを設ける必要がなく、ケーブルによる外乱を低減することができる。また、ケーブルと他の部材との摺動による発塵を防止することができる。また、粗動ステージ２３Ｘ，２３Ｙの動きによってケーブルの断線や破損が生じ、当該ケーブルの断線や破損による露光装置１０の停止によって生産性が低下することを抑制することができる。

【0137】

≪第５実施形態≫
第５実施形態は、Ｙ粗動ステージ２３ＹおよびＸ粗動ステージ２３Ｘをそれぞれボールネジによって駆動する。この場合、第１実施形態に係る電力供給システム１００Ａの構成を採用することができる。

【0138】

Ｙ粗動ステージ２３ＹおよびＸ粗動ステージ２３Ｘをそれぞれボールネジによって駆動する場合、図２に示す電力供給システム１００Ａにおいて、１次回路２００Ａに、Ｙ粗動ステージ２３Ｙを駆動するためのボールネジを駆動するインバータとモーターとを付加する。２次回路３００Ａが備えるモーター３３１は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを駆動するためのボールネジを駆動するモーターに対応する。第５実施形態では、３次回路４００Ａが備えるモーター４３１を省略できる。

【0139】

また、Ｙ粗動ステージ２３ＹおよびＸ粗動ステージ２３Ｘをそれぞれボールネジによって駆動する場合、第２実施形態に係る電力供給システム１００Ｂを採用してもよい。この場合、図１１に示す電力供給システム１００Ｂにおいて、１次回路２００Ｂに、Ｙ粗動ステージ２３Ｙを駆動するためのボールネジを駆動するインバータとモーターとを付加する。２次回路３００Ｂが備えるモーター３３１は、Ｘ粗動ステージ２３Ｘを駆動するためのボールネジを駆動するモーターに対応する。この場合、３次回路４００Ｂが備えるモーター４３１を省略できる。

【0140】

以上詳細に説明したように、第５実施形態によれば、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ及びＸ粗動ステージ２３Ｘをそれぞれボールネジにより駆動する場合でも、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ及びＸ粗動ステージ２３Ｘに無線により電力を供給できるため、Ｙ粗動ステージ２３Ｙ及びＸ粗動ステージ２３Ｘに電力供給を行うケーブルを設ける必要がなく、ケーブルによる外乱を低減することができる。また、ケーブルと他の部材との摺動による発塵を防止することができる。また、粗動ステージ２３Ｘ，２３Ｙの動きによってケーブルの断線や破損が生じ、当該ケーブルの断線や破損による露光装置１０の停止によって生産性が低下することを抑制することができる。

【0141】

なお、第１実施形態に係る変形例１〜変形例７は、第２〜第５実施形態にも適宜適用できる。

【0142】

なお、上記第１〜第５実施形態に係る電力供給システムにおいて、２次回路および３次回路は、第２制御装置３０７および第３制御装置４０７を駆動するための電力を受電するピックアップコイルを備えていてもよい。

【0143】

図１５は、電力供給システム１００Ａにピックアップコイルを適用した例である。図１５に示す電力供給システム１００Ａ’において、２次回路３００Ａ’は、ＤＣ／ＤＣコンバータ３０６の代わりに、ピックアップコイル３４０と、コンバータ３４１を備える。ピックアップコイル３４０は、第１受電コイル３０１Ａと対向するように設けられ、第１受電コイル３０１Ａが受電した電力の一部を受電する。

【0144】

コンバータ３４１は、ピックアップコイル３４０から入力された交流電圧を、第２制御装置３０７Ａが使用する直流電圧に変換して、第２制御装置３０７Ａに供給する。

【0145】

また、図１５に示す電力供給システム１００Ａ’において、３次回路４００Ａ’は、ＤＣ／ＤＣコンバータ４０６の代わりに、ピックアップコイル４５０と、コンバータ４５１を備える。ピックアップコイル４５０は、第２受電コイル４０１Ａと対向するように設けられ、第２受電コイル４０１Ａが受電した電力の一部を受電する。

【0146】

コンバータ４５１は、ピックアップコイル４５０から入力された交流電圧を第３制御装置４０７Ａが使用する直流電圧に変換して、第３制御装置４０７Ａに供給する。

【0147】

２次回路３００Ａおよび３次回路４００Ａのいずれか一方が、ピックアップコイルを備えていてもよい。

【0148】

また、電力供給システム１００Ａ１〜１００Ａ４、１００Ｂ、１００Ｃの２次回路および３次回路は、それぞれ、ピックアップコイルを備えていてもよい。

【0149】

また、上記第１〜第５実施形態に係る電力供給システムにおいて、第１送電コイル２０４は図１６（ａ）に示すようにＹ軸方向に延伸し固定して設けられていたが、図１６（ｂ）に示すように、コイルの移動方向を規定するコイルガイド２６１に沿って、第１受電コイル３０１と対向を維持するように移動させてもよい。本構成では、第１インバータ２０３と第１送電コイル２０４を接続するためのケーブルを保持するケーブルキャリア２６０が必要となるが、第１送電コイル２０４の銅損を小さくすることができる。

【0150】

また、上記第１〜第５実施形態に係る電力供給システムにおいて、１次回路が備える第１送電コイル２０４は、例えば、図１７（ａ）に示すように、Ｙ軸方向に１つ設けられてもよいし、図１７（ｂ）〜図１７（ｄ）に示すように、Ｙ軸方向に複数設けられていてもよい。第１送電コイル２０４をＹ軸方向に複数設ける場合には、図１７（ｂ）に示すように、第１送電コイル２０４をそれぞれ第１インバータ２０３に接続してもよいし、図１７（ｃ）に示すように所定の数（例えば、３）の第１送電コイル２０４をスイッチにより１つの第１インバータ２０３に接続するようにしてもよい。または、図示しないが、全ての第１送電コイル２０４をスイッチにより１つの第１インバータ２０３に接続するようにしてもよい。また、図１７（ｄ）に示すように、端に位置する第１送電コイル２０４を第１インバータ２０３に接続してもよい。この場合、磁界に不感帯（Ｄｅａｄ Ｚｏｎｅ）が生じるが、図１７（ｄ）に示すように、最も−Ｙ側に位置する第１送電コイル２０４から数えて、偶数番目のコイルを小さくすることで、不感帯を小さくすることができる。

【0151】

上記第１〜第５実施形態に係る電力供給システムを採用することにより、露光装置の大型化に伴う問題に対処することができる。すなわち、近年のガラス基板の大型化によって露光装置も大型化しているため、露光装置をユニットごとに分けて輸送し、設置先にて組み立てることが通常行われている。そのため、設置先においてユニット間を接続するケーブルの配線作業が行われるが、当該作業は煩雑であるため配線を誤ってしまうおそれがある。第１〜第５実施形態によれば、例えば、図１８（ｂ）に示すように、制御装置ラックとフレームとの間、フレームとボディＡとの間、ボディＡとボディＢとの間をケーブルＣで接続する配線作業（図１８（ａ）参照）が不要となる。このため、設置先において各ユニットを規定された場所に設置すれば配線が完了するため誤配線の可能性を低減できる。

【0152】

なお、上記第１〜第５実施形態では基板ステージを例に説明したが、本発明をマスクステージＭＳＴに適用してもよい。

【0153】

なお、上記第１〜第５実施形態では基板ステージを、粗動ステージと、微動ステージとを備える構成として説明したが、これに限定されない。基板ステージは、例えば特表２０１３−５３８４３４号や特開２００６−２０３１１３号に開示されたステージ構成としてもよい。

【0154】

また、照明光は、ＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）、ＫｒＦエキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）などの紫外光や、Ｆ₂レーザ光（波長１５７ｎｍ）などの真空紫外光であっても良い。また、照明光としては、例えばＤＦＢ半導体レーザ又はファイバーレーザから発振される赤外域、又は可視域の単一波長レーザ光を、例えばエルビウム（又はエルビウムとイッテルビウムの両方）がドープされたファイバーアンプで増幅し、非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換した高調波を用いても良い。また、固体レーザ（波長：３５５ｎｍ、２６６ｎｍ）などを使用しても良い。

【0155】

また、投影光学系ＰＬが複数本の光学系を備えたマルチレンズ方式の投影光学系である場合について説明したが、投影光学系の本数はこれに限らず、１本以上あれば良い。また、マルチレンズ方式の投影光学系に限らず、オフナー型の大型ミラーを用いた投影光学系などであっても良い。また、投影光学系ＰＬとしては、拡大系、又は縮小系であっても良い。

【0156】

また、露光装置の用途としては角型のガラス基板に液晶表示素子パターンを転写する液晶用の露光装置に限定されることなく、例えば有機ＥＬ（Electro-Luminescence）パネル製造用の露光装置、半導体製造用の露光装置、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン及びＤＮＡチップなどを製造するための露光装置にも広く適用できる。また、半導体素子などのマイクロデバイスだけでなく、光露光装置、ＥＵＶ露光装置、Ｘ線露光装置、及び電子線露光装置などで使用されるマスク又はレチクルを製造するために、ガラス基板又はシリコンウエハなどに回路パターンを転写する露光装置にも適用できる。

【0157】

また、露光対象となる物体はガラス基板に限られず、例えばウエハ、セラミック基板、フィルム部材、あるいはマスクブランクスなど、他の物体でも良い。また、露光対象物がフラットパネルディスプレイ用の基板である場合、その基板の厚さは特に限定されず、例えばフィルム状（可撓性を有するシート状の部材）のものも含まれる。なお、本実施形態の露光装置は、一辺の長さ、又は対角長が５００ｍｍ以上の基板が露光対象物である場合に特に有効である。

【0158】

液晶表示素子（あるいは半導体素子）などの電子デバイスは、デバイスの機能・性能設計を行うステップ、この設計ステップに基づいたマスク（あるいはレチクル）を製作するステップ、ガラス基板（あるいはウエハ）を製作するステップ、上述した各実施形態の露光装置、及びその露光方法によりマスク（レチクル）のパターンをガラス基板に転写するリソグラフィステップ、露光されたガラス基板を現像する現像ステップ、レジストが残存している部分以外の部分の露出部材をエッチングにより取り去るエッチングステップ、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除くレジスト除去ステップ、デバイス組み立てステップ、検査ステップ等を経て製造される。この場合、リソグラフィステップで、上記実施形態の露光装置を用いて前述の露光方法が実行され、ガラス基板上にデバイスパターンが形成されるので、高集積度のデバイスを生産性良く製造することができる。

【0159】

上述した実施形態は本発明の好適な実施の例である。但し、これに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変形実施可能である。

【符号の説明】

【0160】

１０ 露光装置
２３Ｘ Ｘ粗動ステージ
２３Ｙ Ｙ粗動ステージ
２００Ａ〜２００Ｃ １次回路
２０４Ａ〜２０４Ｃ 第１送電コイル
３００Ａ〜３００Ｃ ２次回路
３０１Ａ〜３０１Ｃ 第１受電コイル
３０５Ａ 第２送電コイル
４００Ａ〜４００Ｃ ３次回路
４０１Ａ〜４０１Ｃ 第２受電コイル
ＰＳＴ 基板ステージ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】