特開 2022-122698 表面形状測定装置、表面形状測定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2022122698

(43)【公開日】2022-08-23

(54)【発明の名称】表面形状測定装置、表面形状測定方法

(51)【国際特許分類】

   G01B 11/24 20060101AFI20220816BHJP

   G01N 21/88 20060101ALI20220816BHJP

   G01B 11/30 20060101ALI20220816BHJP

【ＦＩ】

G01B11/24 K

G01N21/88 Z

G01B11/30 A

【審査請求】未請求

【請求項の数】4

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2021020104

(22)【出願日】2021-02-10

(71)【出願人】

【識別番号】000183303

【氏名又は名称】住友金属鉱山株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】504174135

【氏名又は名称】国立大学法人九州工業大学

(74)【代理人】

【識別番号】100107766

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠重

(74)【代理人】

【識別番号】100070150

【弁理士】

【氏名又は名称】伊東 忠彦

(72)【発明者】

【氏名】槙 孝一郎

(72)【発明者】

【氏名】渕脇 正樹

【テーマコード（参考）】

2F065

2G051

【Ｆターム（参考）】

2F065AA04

2F065AA24

2F065AA49

2F065AA53

2F065CC01

2F065DD06

2F065FF04

2F065JJ03

2F065JJ26

2F065MM03

2F065MM07

2F065PP02

2F065PP12

2F065QQ31

2F065TT03

2G051AB01

2G051AB07

2G051CA04

2G051CD03

2G051DA06

2G051EA16

2G051EA17

2G051FA04

(57)【要約】      （修正有）

【課題】非接触で被測定物の表面形状を測定可能な表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物の表面を撮像する撮像手段１２と、被測定物１１および撮像手段の少なくとも一方を搬送する搬送手段１３と、撮像手段で撮像した画像を処理する画像処理手段１４と、を有しており、撮像手段は、搬送手段により、撮像手段と、被測定物との位置関係を変化させながら、被測定物の表面の画像を複数枚撮像し、画像処理手段は、撮像手段が撮像した複数枚の画像をそれぞれ拡大した拡大画像を作成し、拡大画像を用いて被測定物の表面形状を算出する表面形状測定装置１０を提供する。
【選択図】図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

被測定物の表面を撮像する撮像手段と、
前記被測定物および前記撮像手段の少なくとも一方を搬送する搬送手段と、
前記撮像手段で撮像した画像を処理する画像処理手段と、を有しており、
前記撮像手段は、前記搬送手段により、前記撮像手段と、前記被測定物との位置関係を変化させながら、前記被測定物の表面の画像を複数枚撮像し、
前記画像処理手段は、前記撮像手段が撮像した複数枚の画像をそれぞれ拡大した拡大画像を作成し、前記拡大画像を用いて前記被測定物の表面形状を算出する表面形状測定装置。

【請求項2】

前記被測定物が基板である請求項１に記載の表面形状測定装置。

【請求項3】

被測定物の表面を撮像手段により撮像する撮像工程と、
前記被測定物および前記撮像手段から選択された１以上を搬送する搬送工程、および前記撮像工程を繰り返し実施する繰り返し工程と、
前記撮像工程で得られた画像を処理する画像処理工程と、を有しており、
前記画像処理工程では、前記撮像工程で撮像した複数枚の画像をそれぞれ拡大した拡大画像を作成し、前記拡大画像を複数枚用いて、前記被測定物の表面形状を算出する表面形状測定方法。

【請求項4】

前記被測定物が基板である請求項３に記載の表面形状測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、表面形状測定装置、表面形状測定方法に関する。

【背景技術】

【0002】

各種工業製品の表面状態を検査するため、表面形状を測定することが求められる場合があり、表面形状を測定する表面形状測定装置について、従来から検討がなされてきた。

【0003】

例えば特許文献１には、触針子を被検物に接触させ、相対的に水平走査させて前記被検物の表面形状を測定する表面形状測定装置であって、所定時間内の前記触針子の変位量の変動に相当する周波数を求める演算部と、前記周波数の相対的時間変化量に基づいて、前記触針子と前記被検物の接触状態を判定する判定部と、を備えることを特徴とする表面形状測定装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００８－１６４５５８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、測定時に、被測定物の表面にキズ等が生じることを防止するため、非接触で被測定物の表面形状を測定できる表面形状測定装置が求められていた。

【0006】

そこで上記従来技術が有する問題に鑑み、本発明の一側面では、非接触で被測定物の表面形状を測定可能な表面形状測定装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するため本発明の一態様によれば、
被測定物の表面を撮像する撮像手段と、
前記被測定物および前記撮像手段の少なくとも一方を搬送する搬送手段と、
前記撮像手段で撮像した画像を処理する画像処理手段と、を有しており、
前記撮像手段は、前記搬送手段により、前記撮像手段と、前記被測定物との位置関係を変化させながら、前記被測定物の表面の画像を複数枚撮像し、
前記画像処理手段は、前記撮像手段が撮像した複数枚の画像をそれぞれ拡大した拡大画像を作成し、前記拡大画像を用いて前記被測定物の表面形状を算出する表面形状測定装置を提供する。

【発明の効果】

【0008】

本発明の一態様によれば、非接触で被測定物の表面形状を測定可能な基板の検査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の表面形状測定装置の構成説明図。

【図2】被測定物を撮像した場合の画像の例と、該画像から水平掃引信号の取得方法の説明図。

【図3】水平掃引信号の強度変化の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明を実施するための形態について図面を用いながら説明するが、本発明は、下記の実施形態に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、下記の実施形態に種々の変形および置換を加えることができる。
［表面形状測定装置］
図１に示すように、本実施形態の表面形状測定装置１０は、被測定物１１の表面１１Ａを撮像する撮像手段１２と、被測定物１１および撮像手段１２の少なくとも一方を搬送する搬送手段１３と、画像処理手段１４とを有することができる。

【0011】

撮像手段１２は、搬送手段１３により、撮像手段１２と、被測定物１１との位置関係を変化させながら、被測定物１１の表面の画像を複数枚撮像できる。

【0012】

画像処理手段１４は、撮像手段１２で撮像した画像を処理することができる。画像処理手段１４は、具体的には撮像手段１２が撮像した複数枚の画像をそれぞれ拡大した拡大画像を作成し、該拡大画像を用いて被測定物１１の表面形状を算出できる。
（１）被測定物について
本実施形態の表面形状測定装置１０により、表面形状を測定する被測定物１１は、特に限定されず、その表面形状の測定が求められる各種被測定物を適用できる。

【0013】

例えば、基板については、表面の凹凸や、異物の付着を避けることが特に求められる。また、基板は、表面の凹凸や、異物等のサイズが小さいところ、本実施形態の表面測定装置によれば、係る微細な表面の凹凸等も測定できる。このため、被測定物としては例えば基板を好適に用いることができる。
（２）表面形状測定装置が有する各部材について
以下、本実施形態の表面形状測定装置が有する各部材について説明する。
（撮像手段）
撮像手段１２は、被測定物１１の表面を撮像できる手段であればよく、その構成は特に限定されない。撮像手段１２としては、各種撮像素子を備えるカメラモジュールを用いることができる。撮像素子としては、例えばＣＭＯＳ（ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ ｍｅｔａｌ ｏｘｉｄｅ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）センサや、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）センサなどの半導体撮像素子や光電管、撮像管等から選択された１種類以上を用いることができる。

【0014】

撮像手段１２が撮像する画像は、動画であっても静止画であっても良い。動画の場合、例えば後述する画像処理手段１４により、撮影した画像のうち任意のタイミングでの撮像領域の静止画を複数枚抽出できる。

【0015】

撮像手段１２は、搬送手段１３により、撮像手段１２と、被測定物１１との位置関係を変化させながら、被測定物１１の表面１１Ａの画像を複数枚撮像できる。すなわち、撮像手段１２は、撮像手段１２と、被測定物１１との位置関係が異なる、被測定物１１の表面１１Ａの画像を複数枚撮像できる。

【0016】

具体的には例えば図１に示すように、初期位置Ａに撮像手段１２が位置する状態で被測定物１１の表面１１Ａを撮像した後、搬送手段１３により搬送後位置Ｂまで撮像手段１２を搬送し、該位置で被測定物１１の表面１１Ａを撮像できる。ここでは２つの位置で被測定物１１の表面１１Ａの画像を撮像した例を示したが、例えば搬送手段１３により撮像手段１２をさらに搬送し、３つ以上の位置で被測定物１１の表面１１Ａの画像を撮像することもできる。また、例えば撮像手段１２の位置を連続的に変化させながら、被測定物１１の表面１１Ａを撮像することもできる。
（搬送手段）
搬送手段１３は、被測定物１１および撮像手段１２の少なくとも一方を搬送できるように構成されていればよい。

【0017】

本実施形態の表面形状測定装置１０は、後述するように任意の部材として被測定物１１を設置するステージ１５を有することもできる。このため、搬送手段１３が被測定物１１を搬送する場合、該ステージ１５を搬送することで被測定物１１を搬送するように構成することもできる。

【0018】

例えば図１に示すように、被測定物１１と、撮像手段１２との配列方向をＺ軸方向とした場合、搬送手段１３は、ＸＹ平面内で被測定物１１および撮像手段１２の少なくとも一方を搬送することが好ましい。具体的には例えば撮像手段１２を、被測定物１１の表面１１Ａに沿って搬送することが好ましい。

【0019】

なお、図１中では、撮像手段１２を搬送した例を示しているが、係る形態に限定されない。上述のように撮像手段１２に変えて被測定物１１を搬送することもでき、撮像手段１２と被測定物１１との両方を搬送することもできる。

【0020】

搬送手段１３の構成は特に限定されないが、例えば被測定物１１や、撮像手段１２を直線的に搬送できる手段であることが好ましい。このため、搬送手段１３は、例えばリニアレール、リニアシャフト等から選択された１種類以上のスライダーと、駆動手段である各種モーター等とを組み合わせた構成とすることができる。
（画像処理手段）
画像処理手段１４は、撮像手段１２で撮像した画像を処理することができる。具体的には、画像処理手段１４は、撮像手段１２が撮像した複数枚の画像をそれぞれ拡大した拡大画像を作成し、該拡大画像を用いて被測定物１１の表面形状を算出できる。

【0021】

画像処理手段１４は、ＡＳＩＣ（ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｓｐｅｃｉｆｉｃ ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ：特定用途向け集積回路）などであって、撮像手段１２で撮像した画像の処理を担当する。

【0022】

ここで、本実施形態の表面形状測定装置１０による、被測定物１１の表面１１Ａの形状の測定メカニズム、および画像処理の詳細について説明する。

【0023】

図１に示すように、被測定物１１の表面１１Ａに、直方体の異物等の凸部１１１が存在していたとする。そして、係る初期位置Ａにある撮像手段１２により、係る被測定物１１の表面１１Ａを撮像した場合、図２に示すように、被測定物１１の表面１１Ａに凸部１１１が配置された画像２０が得られる。通常、被測定物１１の表面１１Ａの平坦部と、凸部１１１の表面とでは色度や輝度等が異なるため、例えば図２中の点線２１に沿った色度の水平掃引信号は、図３に示すように、被測定物１１の表面１１Ａと、凸部１１１とでは異なり、凸部１１１に対応する部分が台形状に表れる。なお、図３に示した、強度が立ち上がる位置をＰ１とする。

【0024】

次いで、図１に示すように、既述の搬送手段１３により撮像手段１２を、搬送後位置Ｂまで搬送距離ΔＤだけ搬送したとする。そして、搬送後位置Ｂにある撮像手段１２により、凸部１１１を含む被測定物１１の表面１１Ａを再度撮像し、得られた画像から、同様にして凸部１１１を含むように色度の水平掃引信号を取得する。この場合、同様の台形状の信号が得られるものの、図３中に点線で示したように、立ち上がり位置がＰ２となり、撮像手段１２を搬送する前の場合から信号変位量ΔＰだけ変位する。

【0025】

これは、撮像手段１２を搬送し、撮像手段１２と凸部１１１との位置関係が変わったことにより、凸部１１１から撮像手段１２の撮像素子１２１までの光路が、光路Ｏ１から光路Ｏ２に変化し、撮像素子１２１上の凸部１１１が撮像される位置がΔＰだけずれたためである。

【0026】

このように、例えば撮像手段１２を搬送して、撮像手段１２と、被測定物１１との位置関係を変化させることで、被測定物１１の表面１１Ａを異なる角度から撮像している状態となる。

【0027】

そして、係る信号変位量ΔＰは、撮像手段１２から、凸部１１１の表面までの距離Ｌ、および撮像手段１２の搬送距離ΔＤと、以下の式（１）の関係にある。

【0028】

ΔＰ＝α・（１／Ｌ）ΔＤ・・・（１）
上記式（１）は、図２に示す三角形の比より（Ｌ：ΔＤ＝α：ΔＰ）の関係から求まる関係式である。

【0029】

式（１）の係数αは撮像手段１２のレンズ系や受像機構等の受像システムによって決定される撮影に特徴される定数で、同時に撮像される物体に対しては一定である。例えば撮像手段１２が単純にレンズを通して結像したフィルムや撮像管等、単純な受像システムの場合には、上記αは、図１に示すようにレンズから撮像素子までの距離に等しい。

【0030】

上記αは、撮像対象である異物等の大きさや、距離Ｌには依存しない、撮像手段１２で決まる係数である。この係数は、予め標準の被写体を用いて校正することにより、使用前に決定しておくことができる。

【0031】

以上のように、信号位置Ｐの撮像手段１２の搬送量に対する変化係数ΔＰ／ΔＤ＝α（１／Ｌ）は凸部１１１と撮像手段１２との間の距離に関係付けられる。

【0032】

撮像手段１２を搬送した場合に、搬送の前後で凸部１１１の部分の信号のみが集団的に信号変位量ΔＰだけ変位するため、その境界信号、すなわち図３の台形状の立ち上がり信号を追跡することで、信号変位量ΔＰを計測できる。そして、計測した信号変位量ΔＰと、撮像手段１２の搬送距離ΔＤと、上記式（１）により、撮像手段１２と凸部１１１との間の距離（Ｌ／α）を算出できる。ここでの距離（Ｌ／α）は、αを単位長さとした距離になる。

【0033】

なお、撮像した画像面内での撮像手段１２の搬送方向に対応する水平方向をＸとすれば、上記水平信号はあるＹ値についてのものであり、信号位置Ｐ１、Ｐ２は画像面内でのＸ値を示す。これより、画像面内のポイント（Ｘ、Ｙ）に対して距離（Ｌ／α）をＺ値として（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の３次元における成分セットを算出することができる。

【0034】

ここでは、図２に示した点線２１に沿った水平掃引信号の場合を例に説明したが、点線２１と平行に複数の水平掃引信号を取り、同様に凸部１１１の表面等と、撮像手段１２との間の距離を算出し、マッピングすることで、被測定物１１の表面１１Ａの形状を測定できる。

【0035】

また、撮像手段１２を１つの搬送距離ΔＤだけ搬送した例を示したが、既述の搬送距離ΔＤを変えて複数の異なる位置に撮像手段１２を配置し、それぞれ上記演算を行うことで、より精度よくΔＰを求められる。ΔＤを連続的に変化させ、それぞれ上記演算を行うこともできる。

【0036】

被測定物としては、既述のように基板等を用いることができるが、基板等はその表面に極小な異物が付着する等で、微細な凹凸が形成されている場合がある。そして、係る微細な凹凸等を検出することが求められる場合もある。

【0037】

このため、画像処理手段１４は、微細な凹凸等も検出できるように、撮像した複数枚の画像をそれぞれ拡大した拡大画像を作成し、該拡大画像を複数枚用いて上述の手順により被測定物１１の表面形状を算出することが好ましい。

【0038】

必要に応じて、拡大画像を複数に分割し、分割した画像ごとに、既述の処理を行うこともできる。ただし、分割した被測定物内の同じ領域の画像同士を比較し凹凸部を検知できるように、複数枚の拡大画像について、同じ条件で分割することが好ましい。例えば被測定物の表面について、同じ幅で短冊状に画像を分割できる。

【0039】

ここまで凸部１１１の場合について説明したが、凸部だけではなく凹部についても同様にして測定できる。そして、凹部や、凸部以外の部分については、平坦面としてマッピングできる。

【0040】

以上に説明したように、画像処理手段１４では、以下の手順により画像処理を行うことができる。

【0041】

予め設定された初期位置Ａにある撮像手段１２により撮像した、被測定物１１の表面の画像の色情報について、水平掃引信号を取る。ここでの色情報としては特に限定されないが、例えば色度、および輝度から選択された１種類以上を用いることができる。また、被測定物１１の表面の画像は、拡大した拡大画像としておき、係る拡大画像の色情報について水平掃引信号を取ることが好ましい。

【0042】

次いで、搬送手段１３により、撮像手段１２を搬送距離ΔＤだけ搬送し、搬送後位置Ｂに配置した撮像手段１２により撮像した、被測定物１１の表面の画像の色情報について、水平掃引信号を取る。この場合も、被測定物１１の表面の画像は、拡大した拡大画像としておき、係る拡大画像の色情報について水平掃引信号を取ることが好ましい。

【0043】

そして、上記水平掃引信号を比較することで、被測定物１１の表面１１Ａにある凹凸部を検知し、既述の式（１）を用いて、撮像手段１２との間の距離を求め、凹凸部の形状や高さを算出する。

【0044】

具体的には、複数の画像間での色情報の信号変位位置の変位量ΔＰ、撮像手段１２の搬送距離ΔＤを用いて、撮像手段１２と、被測定物１１の表面１１Ａとの間の距離を求め、凹凸部の形状や高さを算出できる。上記色情報等の信号変位位置とは、図３に示したように、色情報の数値が大きく変位する位置Ｐを意味する。

【0045】

そして、得られた結果をもとに、被測定物１１の表面の３次元画像を作成する。

【0046】

なお、撮像手段１２を１回搬送した場合を例に説明したが、既述のように複数回、もしくは連続的に搬送し、上記画像処理を行うこともできる。

【0047】

本実施形態の表面形状測定装置は、さらに必要に応じて任意の部材を有することもできる。

【0048】

例えば、被測定物を設置するステージ１５を有することもできる。搬送手段１３が被測定物１１を搬送する場合、例えばステージ１５に搬送手段１３を設け、ステージ１５を搬送することで被測定物１１を搬送するように構成することもできる。

【0049】

また、本実施形態の表面形状測定装置は、測定を行っている間、例えば凹凸部と、平坦部との色情報の違いを明確にするため、被測定物１１の表面１１Ａに光を照射する光照射手段を有することもできる。

【0050】

以上に説明した本実施形態の表面形状測定装置によれば、撮像手段を、搬送手段により搬送し、被測定物の表面を撮像することで、非接触で該被測定物の表面形状を測定できる。

【0051】

本実施形態の表面形状測定装置は、例えば工場等の生産ライン上に配置し、生産物の表面形状を連続的に測定することもできる。このため、本実施形態の表面形状測定装置は、表面形状検査装置等に適用することもできる。

【0052】

本実施形態の表面形状測定装置を表面形状検査装置に適用する場合、該表面形状検査装置は、例えば本実施形態の表面形状測定装置と、判定手段とを有することができる。判定手段は、例えば本実施形態の表面形状測定装置により測定した、被測定物の表面形状について、予め定めた基準の範囲内に入っている場合に合格と判定し、範囲に入っていない場合に不合格と判定できる。
［表面形状測定方法］
本実施形態の表面形状測定方法について説明する。なお、本実施形態の表面形状測定方法は、既述の表面形状測定装置を用いて好適に実施することができる。このため、既に説明した事項については一部説明を省略する。

【0053】

本実施形態の表面形状測定方法は、以下の工程を有することができる。

【0054】

被測定物の表面を撮像手段により撮像する撮像工程。

【0055】

被測定物および撮像手段の少なくとも一方を搬送する搬送工程、および撮像工程を繰り返し実施する繰り返し工程。

【0056】

撮像工程で得られた画像を処理する画像処理工程。

【0057】

そして、画像処理工程では、撮像工程で撮像した複数枚の画像をそれぞれ拡大した拡大画像を作成し、拡大画像を複数枚用いて、被測定物の表面形状を算出できる。

【0058】

以下、各工程について説明する。
（撮像工程）
撮像工程では、撮像手段により、被測定物の表面を撮像できる。

【0059】

撮像手段、被測定物については既に説明したため、ここでは説明を省略する。

【0060】

なお、被測定物としては特に限定されないが、例えば基板を好ましく用いることができる。
（繰り返し工程）
繰り返し工程では、まず被測定物および撮像手段１２の少なくとも一方を搬送する搬送工程を実施できる。搬送工程での搬送方法については、表面形状測定装置の搬送手段の説明の中で、既述のため、ここでは説明を省略する。

【0061】

繰り返し工程ではさらに、搬送手段１３により、撮像手段１２を所定の位置に搬送した後、再度、被測定物１１の表面１１Ａを撮像する撮像工程を実施できる。

【0062】

繰り返し工程では、上記搬送工程と、撮像工程とを１回のみ実施することもできるが、２回以上繰り返し実施することもできる。すなわち、搬送工程と、撮像工程とを、交互に繰り返し、それぞれ２回以上実施することもできる。
（画像処理工程）
画像処理工程では、既述の撮像工程、および繰り返し工程の撮像工程で撮像した画像を用いて、基板の表面形状を算出できる。

【0063】

画像処理工程での画像処理は、表面形状測定装置の画像処理手段の中で説明した画像処理を実施できる。

【0064】

具体的にはまず、最初の撮像工程で撮像した、予め設定された初期位置Ａにある撮像手段１２により撮像した、被測定物１１の表面１１Ａの画像の色情報について、水平掃引信号を取る。ここでの色情報としては特に限定されないが、例えば色度、および輝度から選択された１種類以上を用いることができる。また、被測定物１１の表面の画像は、拡大した拡大画像としておき、係る拡大画像の色情報について水平掃引信号を取ることが好ましい。

【0065】

次いで、繰り返し工程で、搬送手段により、撮像手段を搬送距離ΔＤだけ搬送した搬送後位置Ｂにある撮像手段１２により撮像した、被測定物１１の表面の画像の色情報について、水平掃引信号を取る。この場合も、被測定物１１の表面の画像は、拡大した拡大画像としておき、係る拡大画像の色情報について水平掃引信号を取ることが好ましい。

【0066】

そして、上記水平掃引信号を比較することで、被測定物１１の表面１１Ａにある凹凸部を検知し、既述の式（１）を用いて、撮像手段１２との間の距離を求め、凹凸部の形状や高さを算出する。得られた結果をもとに、被測定物１１の表面の３次元画像を作成する。

【0067】

なお、ここでは、撮像手段１２を１回搬送した場合を例に説明したが、複数回、もしくは連続的に搬送し、上記撮像、画像処理を行うこともできる。

【0068】

また、被測定物としては、既述のように基板等を用いることができるが、基板等はその表面に極小な異物が付着していたり、微細な凹凸が形成されている場合がある。そして、係る微細な凹凸等を検出することが求められる場合もある。

【0069】

このため、既述のように画像処理工程では、微細な凹凸等も検出できるように、撮像した被測定物１１の表面１１Ａの複数枚の画像をそれぞれ拡大した拡大画像を作成し、該拡大画像を複数枚用いて被測定物１１の表面形状を算出することが好ましい。なお、必要に応じて、拡大画像を複数に分割し、分割した画像ごとに、既述の処理を行うこともできる。

【0070】

以上に説明した本実施形態の表面形状測定方法によれば、非接触で該被測定物の表面形状を測定できる。

【0071】

本実施形態の表面形状測定方法は、例えば工場等の生産ライン上で実施し、生産物の表面形状を連続的に測定することもできる。このため、本実施形態の表面形状測定方法は、表面形状検査方法等に適用することもできる。表面形状検査方法に適用する場合、該表面形状検査方法は、例えば本実施形態の表面形状測定方法により被測定物の表面形状を測定する測定工程に加えて、判定工程を有することができる。この場合、判定工程では、例えば測定工程により測定した、被測定物の表面形状について、予め定めた基準の範囲内に入っている場合に合格と判定し、範囲に入っていない場合に不合格と判定できる。

【符号の説明】

【0072】

１０ 表面形状測定装置
１１ 被測定物
１２ 撮像手段
１３ 搬送手段
１４ 画像処理手段

【図1】

【図2】

【図3】