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特開 2022-122698出願番号 特願 2021-20104
表面形状測定装置、表面形状測定方法
出願人 住友金属鉱山株式会社（識別番号 183303）
2026年 特許公開件数ランキング 260位 94件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 165位 133件（※）
出願人 国立大学法人九州工業大学（識別番号 504174135）
2026年 特許公開件数ランキング 881位 24件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 849位 22件（※）
公報発行日 2022年8月23
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_A1-2022-122698 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
要約特許出願時に添付された[要約書]
【課題】非接触で被測定物の表面形状を測定可能な表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物の表面を撮像する撮像手段１２と、被測定物１１および撮像手段の少なくとも一方を搬送する搬送手段１３と、撮像手段で撮像した画像を処理する画像処理手段１４と、を有しており、撮像手段は、搬送手段により、撮像手段と、被測定物との位置関係を変化させながら、被測定物の表面の画像を複数枚撮像し、画像処理手段は、撮像手段が撮像した複数枚の画像をそれぞれ拡大した拡大画像を作成し、拡大画像を用いて被測定物の表面形状を算出する表面形状測定装置１０を提供する。
【選択図】図１
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一態様によれば、非接触で被測定物の表面形状を測定可能な基板の検査装置を提供することができる。
この発明についての権利主張の範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
選択図 図1出願人が指定した本件の代表的な図
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