特開 2025-2190 測定装置、測定方法、及びプログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】公開特許公報(A)

(11)【公開番号】P2025002190

(43)【公開日】2025-01-09

(54)【発明の名称】測定装置、測定方法、及びプログラム

(51)【国際特許分類】

   G01T 3/08 20060101AFI20241226BHJP

   G21K 1/00 20060101ALI20241226BHJP

   G21K 5/02 20060101ALI20241226BHJP

【ＦＩ】

G01T3/08

G21K1/00 N

G21K5/02 N

【審査請求】未請求

【請求項の数】7

【出願形態】ＯＬ

(21)【出願番号】P 2023102184

(22)【出願日】2023-06-22

(71)【出願人】

【識別番号】000004226

【氏名又は名称】日本電信電話株式会社

(71)【出願人】

【識別番号】504173471

【氏名又は名称】国立大学法人北海道大学

(74)【代理人】

【識別番号】100083806

【弁理士】

【氏名又は名称】三好 秀和

(74)【代理人】

【識別番号】100129230

【弁理士】

【氏名又は名称】工藤 理恵

(72)【発明者】

【氏名】岩下 秀徳

(72)【発明者】

【氏名】木内 笠

(72)【発明者】

【氏名】加美山 隆

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 博隆

(72)【発明者】

【氏名】鬼柳 善明

(72)【発明者】

【氏名】古坂 道弘

【テーマコード（参考）】

2G188

【Ｆターム（参考）】

2G188BB09

2G188CC28

2G188DD31

2G188EE12

(57)【要約】

【課題】粒子由来のＳＥＵクロスセクションを高精度に測定することが可能な測定装置、測定方法、及びプログラムを提供する。
【解決手段】陽子を照射する加速器１１と、加速器１１から照射された陽子を減速する減速板と、加速器１１から照射される陽子エネルギー、及び減速板の厚さに基づいて、減速板にて発生する中性子数を算出する第１算出部２２と、陽子エネルギーに基づいて、デバイス３にて発生する中性子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する第２算出部２３と、中性子数、及び中性子由来のＳＥＵクロスセクションに基づいて、デバイス３にて発生する中性子由来のＳＥＵを算出する第３算出部２４と、デバイス３にて発生するＳＥＵと中性子由来のＳＥＵに基づいて、陽子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する第４算出部２６を備える。
【選択図】 図１

【特許請求の範囲】

【請求項1】

ＳＥＵクロスセクションを測定する測定装置であって、
デバイスに粒子を照射する加速器と、
前記加速器と前記デバイスとの間に設置され、前記加速器から照射された粒子を減速する減速板と、
前記加速器から照射される粒子エネルギー、及び前記減速板の厚さに基づいて、前記減速板にて発生する中性子数を算出する第１算出部と、
前記粒子エネルギーに基づいて、前記デバイスにて発生する中性子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する第２算出部と、
前記中性子数、及び前記中性子由来のＳＥＵクロスセクションに基づいて、前記デバイスにて発生する中性子由来のＳＥＵを算出する第３算出部と、
前記デバイスにて発生するＳＥＵと前記中性子由来のＳＥＵに基づいて、粒子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する第４算出部と、
を備えた測定装置。

【請求項2】

前記デバイスにて発生するＳＥＵをカウントするカウント部、を更に備えた
請求項１に記載の測定装置。

【請求項3】

厚さが異なる複数の減速板から１つの減速板を選択する切替機構、を更に備え、
前記第１算出部は、前記切替機構で選択された減速板の厚さに基づいて、前記減速板にて発生する中性子数を算出する
請求項１または２に記載の測定装置。

【請求項4】

前記第１算出部は、中性子エネルギーと中性子数との関係を示す第１対応データを備えており、前記粒子エネルギーから前記中性子エネルギーを算出し、前記第１対応データを参照して前記中性子数を算出する
請求項１または２に記載の測定装置。

【請求項5】

前記第２算出部は、
中性子エネルギーと前記中性子由来のＳＥＵクロスセクションとの関係を示す第２対応データを備えており、前記粒子エネルギーから前記中性子エネルギーを算出し、前記中性子エネルギーに基づき、前記第２対応データを参照して前記中性子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する
請求項１または２に記載の測定装置。

【請求項6】

ＳＥＵクロスセクションを測定する測定方法であって、
加速器から照射され減速板で減速した粒子をデバイスに照射し、
前記加速器から照射される粒子の粒子エネルギー、及び前記減速板の厚さに基づいて、前記減速板にて発生する中性子数を算出し、
前記粒子エネルギーに基づいて、前記デバイスにて発生する中性子由来のＳＥＵクロスセクションを算出し、
前記中性子数、及び前記中性子由来のＳＥＵクロスセクションに基づいて、前記デバイスにて発生する中性子由来のＳＥＵを算出し、
前記デバイスにて発生したＳＥＵ、及び前記中性子由来のＳＥＵに基づいて、粒子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する
測定方法。

【請求項7】

請求項１または２に記載の測定装置の、第１算出部、第２算出部、第３算出部、及び第４算出部としてコンピュータを機能させるプログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ＳＥＵ（Single EventUpset）クロスセクションを測定する測定装置、測定方法、及びプログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

ＬＳＩ、メモリなどのデバイスに単一の粒子（中性子、陽子、重粒子など）が衝突すると、ビットが反転する事象であるＳＥＵが発生する。粒子を照射した際に発生するＳＥＵの数を、照射したフルエンス（単位面積当たりに通過した粒子の総数）で除した数値をＳＥＵクロスセクションという。即ち、ＳＥＵクロスセクションは、「（ＳＥＵ発生数）／（照射粒子フルエンス）」で算出することができる。

【0003】

エネルギー依存の粒子（例えば、陽子）のＳＥＵクロスセクションを測定する場合には、粒子のエネルギーを変更してＳＥＵ発生数を測定することが必要になる。

【0004】

粒子のエネルギーを変更する方法として非特許文献１には、加速器により粒子の速度を変化させ、デバイスに照射する粒子のエネルギーを変更する方法が開示されている。非特許文献２には、加速器で発生させた特定のエネルギーを有する粒子を減速板に衝突させることより、粒子エネルギーを減衰させる方法が開示されている。

【先行技術文献】

【非特許文献】

【0005】

【非特許文献1】https://ieeexplore.ieee.org/document/4077290

【非特許文献2】https://ieeexplore.ieee.org/document/7482480

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、非特許文献１に記載された加速器から照射する粒子の速度を変化させる方法では、粒子のエネルギーを柔軟に変更することが難しく、加速器の設定及び調整に長時間を要するという問題がある。

【0007】

一方、非特許文献２に記載された減速板を用いる方法では、減速板に粒子（例えば、陽子）が衝突する際に中性子が発生してしまい、その中性子に由来するＳＥＵが発生するため、粒子由来のＳＥＵクロスセクションを高精度に測定することが難しいという問題がある。

【0008】

本開示は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、粒子由来のＳＥＵクロスセクションを高精度に測定することが可能な測定装置、測定方法、及びプログラムを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本開示の一態様の測定装置は、ＳＥＵクロスセクションを測定する測定装置であって、デバイスに粒子を照射する加速器と、前記加速器と前記デバイスとの間に設置され、前記加速器から照射された粒子を減速する減速板と、前記加速器から照射される粒子エネルギー、及び前記減速板の厚さに基づいて、前記減速板にて発生する中性子数を算出する第１算出部と、前記粒子エネルギーに基づいて、前記デバイスにて発生する中性子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する第２算出部と、前記中性子数、及び前記中性子由来のＳＥＵクロスセクションに基づいて、前記デバイスにて発生する中性子由来のＳＥＵを算出する第３算出部と、前記デバイスにて発生するＳＥＵと前記中性子由来のＳＥＵに基づいて、粒子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する第４算出部を備える。

【0010】

本開示の一態様の測定方法は、ＳＥＵクロスセクションを測定する測定方法であって、加速器から照射され減速板で減速した粒子をデバイスに照射し、前記加速器から照射される粒子の粒子エネルギー、及び前記減速板の厚さに基づいて、前記減速板にて発生する中性子数を算出し、前記粒子エネルギーに基づいて、前記デバイスにて発生する中性子由来のＳＥＵクロスセクションを算出し、前記中性子数、及び前記中性子由来のＳＥＵクロスセクションに基づいて、前記デバイスにて発生する中性子由来のＳＥＵを算出し、前記デバイスにて発生したＳＥＵ、及び前記中性子由来のＳＥＵに基づいて、粒子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する。

【0011】

本開示の一態様は、上記測定装置としてコンピュータを機能させるためのプログラムである。

【発明の効果】

【0012】

本開示によれば、粒子由来のＳＥＵクロスセクションを高精度に測定することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1】図１は、実施形態に係る測定装置及び周辺機器の構成を示すブロック図である。

【図2】図２は、実施形態に係る測定装置及び周辺機器の構成を示す説明図である。

【図3】図３は、減速板の厚さを変化させたときの、陽子スペクトルを示すグラフである。

【図4】図４は、中性子エネルギーと中性子フラックスとの対応データ（第１対応データ）を示すグラフである。

【図5】図５は、中性子エネルギーと中性子由来のＳＥＵクロスセクションとの対応データ（第２対応データ）を示すグラフである。

【図6】図６は、実施形態に係る測定装置の処理手順を示すフローチャートである。

【図7】図７は、本実施形態のハードウェア構成を示すブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、図面を参照して実施形態に係る測定装置について説明する。図１は、実施形態に係る測定装置１００の詳細な構成を示すブロック図、図２は、測定装置１００及び観測対象となるデバイス３の構成を示す説明図である。図１、図２に示すように測定装置１００は、照射装置１と、演算装置２を備えている。測定装置１００は、デバイス３に粒子（例えば、陽子）を照射し、デバイス３における粒子由来のＳＥＵクロスセクションを測定する。

【0015】

照射装置１は、加速器１１と、切替機構１２を備えている。

【0016】

加速器１１は、粒子を加速した加速粒子を切替機構１２に設けられる減速板Ｄ（Ｄ１～Ｄｎ）に照射する。本実施形態では、加速器１１から照射する粒子として陽子を照射する例について説明する。加速器１１は、例えば陽子のエネルギーが２０［MeV］となるように加速する。

【0017】

切替機構１２は、厚さが異なる複数の減速板Ｄ（Ｄ１～Ｄｎ）を備えている。切替機構１２は、厚さが異なる複数の減速板から１つの減速板Ｄを選択する。減速板Ｄは、加速器１１とデバイス３との間に設置され、加速器１１から照射された陽子（粒子）を減速させる。切替機構１２は、ユーザの操作により、使用する減速板Ｄを選択することができる。以下、減速板Ｄ１の厚さをｔ１、減速板Ｄ２の厚さをｔ２とする。従って、減速板Ｄｎの厚さはｔｎである。減速板Ｄとして、例えばアルミニウム板を使用してもよい。

【0018】

ユーザは、減速板Ｄ１～Ｄｎのうちのいずれかを選択することができる。図３は、減速板Ｄの厚さｔを変化させたときの、陽子スペクトルを示すグラフである。図３において、曲線ｓ１は厚さ１．０［ｍｍ］、曲線ｓ２は厚さ１．５［ｍｍ］、曲線ｓ３は厚さ１．８［ｍｍ］、曲線ｓ４は厚さ２．０［ｍｍ］のアルミ板を用いたときのデータを示している。図３のグラフから、減速板Ｄの厚さｔを変化させることにより、陽子エネルギーを変更可能であることが理解される。即ち、切替機構１２を操作して減速板Ｄを変更することにより、デバイス３に照射する陽子エネルギーを変化させることができる。

【0019】

加速器１１から加速した陽子（粒子）を減速板Ｄに向けて照射することにより、減速板Ｄにおいて陽子が減速される。減速された陽子がデバイス３に照射されると、該デバイス３においてＳＥＵが発生する。ＳＥＵを測定することにより、デバイス３における陽子由来のＳＥＵクロスセクションを算出することができる。

【0020】

演算装置２は、測定部２１と、第１算出部２２と、第２算出部２３と、第３算出部２４と、カウント部２５と、第４算出部２６を備えている。

【0021】

測定部２１は、加速器１１にて加速された陽子数をカウントする。陽子数のカウント値は、加速器１１から照射される陽子エネルギーに対応する数値である。測定部２１は、カウントした陽子数を第１算出部２２及び第２算出部２３に出力する。

【0022】

第１算出部２２は、測定部２１でカウントされた陽子数、及び切替機構１２にて設定されている減速板Ｄの厚さｔの情報を取得する。第１算出部２２は、各減速板Ｄ１～Ｄｎの厚さｔ１～ｔｎごとに、中性子エネルギーと中性子フラックス（中性子数）との関係を示す第１対応データを備えている。

【0023】

図４は、減速板Ｄとして、厚さ１．０［ｍｍ］、１．５［ｍｍ］、１．８［ｍｍ］、２．０［ｍｍ］のアルミ板を用いたときの、中性子エネルギーと中性子フラックスとの関係を示すグラフである。図４に示すグラフは、中性子エネルギーと中性子数との関係を示す第１対応データの一例である。図４に示すグラフは、予めシミュレーションすることにより取得することが可能である。なお、シミュレーションデータを使用せず、複数の減速板Ｄを用いて実際に測定したデータを使用してもよい。

【0024】

第１算出部２２は、切替機構１２から減速板Ｄの厚さｔの情報を取得し、更に測定部２１から取得した陽子数に基づいて、中性子エネルギーを算出する。即ち、加速器１１にて加速された陽子数と中性子エネルギーは一意に対応するので、陽子数から中性子エネルギーを算出することができる。

【0025】

第１算出部２２は、減速板Ｄの厚さｔ及び中性子エネルギーに基づいて、中性子フラックス（中性子数）を算出する。更に中性子フラックスに照射時間を乗じて中性子フルエンスを算出する。第１算出部２２は、算出した中性子フルエンスのデータ（これを、φ（Ｅ）とする）を第３算出部２４に出力する。第１算出部２２は、加速器１１から照射される陽子エネルギー（粒子エネルギー）、及び減速板Ｄの厚さｔに基づいて、減速板Ｄにて発生する中性子数を算出する。

【0026】

即ち、第１算出部２２は、中性子エネルギーと中性子数との関係を示す第１対応データを備えており、粒子エネルギーから中性子エネルギーを算出し、第１対応データを参照して中性子数を算出する。

【0027】

第２算出部２３は、例えば図５に示すように、デバイス３に応じた中性子エネルギーと中性子由来のＳＥＵクロスセクションとの関係を示すグラフ（第２対応データ）を備えている。図５に示すグラフは、中性子エネルギーと中性子由来のＳＥＵクロスセクションとの関係を示す第２対応データの一例である。図５に示すグラフは、シミュレーションにより予め取得することが可能である。また、シミュレーション結果を使用せず、複数の減速板Ｄを用いて実際に測定したデータを使用してもよい。

【0028】

第２算出部２３は、測定部２１でカウントされた陽子数により得られる中性子エネルギーに基づき、図５に示すグラフを参照して中性子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する。即ち、第２算出部２３は、陽子エネルギー（粒子エネルギー）に基づいて、中性子エネルギーを算出し、更に、算出した中性子エネルギーに基づき、第２対応データを参照してデバイス３にて発生する中性子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する。

【0029】

第２算出部２３は、算出した中性子由来のＳＥＵクロスセクションのデータ（これを、σ（Ｅ）とする）を第３算出部２４に出力する。

【0030】

第３算出部２４は、上述した中性子フルエンスφ（Ｅ）及び中性子由来のＳＥＵクロスセクションσ（Ｅ）に基づいて、デバイス３において発生する中性子由来のＳＥＵ発生数Ｎ１を算出する。即ち第３算出部２４は、第１算出部２２で算出された中性子数（フラックス）、及び中性子由来のＳＥＵクロスセクションに基づいて、デバイス３において発生する中性子由来のＳＥＵを算出する。

【0031】

具体的に第３算出部２４は、下記（１）式により、中性子由来のＳＥＵ発生数Ｎ１を算出する。

【0032】

【数1】

【0033】

（１）式に示す「Ｅ」はエネルギーである。第３算出部２４は、中性子由来のＳＥＵ発生数Ｎ１を第４算出部２６に出力する。

【0034】

カウント部２５は、デバイス３において発生したＳＥＵ発生数Ｎ２をカウントする。カウント部２５はカウントしたＳＥＵ発生数Ｎ２を第４算出部２６に出力する。ＳＥＵ発生数Ｎ２には、デバイス３に陽子が照射されて発生する陽子由来のＳＥＵ、及び中性子が照射されて発生する中性子由来のＳＥＵが含まれる。

【0035】

第４算出部２６は、カウント部２５から出力されるＳＥＵ発生数Ｎ２、及び、第３算出部２４から出力される中性子由来のＳＥＵ発生数Ｎ１を取得する。第４算出部２６は、Ｎ２からＮ１を減算する。この減算値（Ｎ２－Ｎ１）は、陽子由来のＳＥＵ発生数であり、ＳＥＵ発生数Ｎ２から減速板Ｄにて発生した中性子由来のＳＥＵ発生数Ｎ１を減算した数値である。

【0036】

第４算出部２６は、算出した陽子由来のＳＥＵ発生数をデバイス３に照射した陽子数で除算することにより、陽子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する。即ち第４算出部２６は、ＳＥＵのカウント値と、中性子由来のＳＥＵに基づいて、陽子（粒子）由来のＳＥＵクロスセクションを算出する。

【0037】

次に、上述した測定装置１００によりデバイス３に陽子を照射し、陽子由来のＳＥＵクロスセクションを測定する手順を、図６に示すフローチャートを参照して説明する。本実施形態では粒子の一例として陽子を照射する例について説明するが、その他の粒子を用いることも可能である。

【0038】

初めにステップＳ１１においてユーザは、切替機構１２を操作して複数の減速板Ｄ１～Ｄｎから、任意の厚さｔの減速板Ｄを設定する。

【0039】

ステップＳ１２においてユーザは、加速器１１を操作して、例えば加速した２０［Mev］の陽子を減速板Ｄに向けて照射する。図２に示すように減速板Ｄに陽子が照射されることにより陽子は減速され、且つ減速板Ｄにおいて中性子が発生する。減速された陽子、及び減速板Ｄで発生した中性子はデバイス３に照射される。デバイス３では、減速された陽子及び中性子が照射されることによりＳＥＵが発生する。

【0040】

ステップＳ１３においてカウント部２５は、デバイス３で発生したＳＥＵをカウントし、カウント値Ｎ２を第４算出部２６に出力する。前述したように、カウント値Ｎ２は、陽子由来のＳＥＵ発生数、及び中性子由来のＳＥＵ発生数Ｎ１を合計した数値である。

【0041】

ステップＳ１４において第１算出部２２は、切替機構１２から現在設定されている減速板Ｄの厚さｔのデータを取得し、且つ、測定部２１でカウントされた陽子数を取得する。第１算出部２２は、取得した陽子数に基づいて、減速板Ｄに照射される中性子エネルギーを算出する。第１算出部２２は、減速板Ｄの厚さｔ及び中性子エネルギーに基づき、図４に示したグラフ（第１対応データ）を参照して、中性子フルエンスを算出する。中性子フルエンスは、中性子フラックス（中性子数）に基づいて算出することができる。

【0042】

ステップＳ１５において第２算出部２３は、測定部２１でカウントされた陽子数により得られる中性子エネルギーに基づき、図５に示したグラフ（第２対応データ）を参照して中性子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する。

【0043】

ステップＳ１６において第３算出部２４は、第１算出部２２で算出された中性子フラックスと、第２算出部２３で算出された中性子由来のＳＥＵクロスセクションに基づき、前述した（１）式により中性子由来のＳＥＵ発生数Ｎ１を算出する。

【0044】

ステップＳ１７において第４算出部２６は、デバイス３におけるＳＥＵ発生数Ｎ２から中性子由来のＳＥＵ発生数Ｎ１を減算して、陽子由来のＳＥＵ発生数（Ｎ２－Ｎ１）を算出する。

【0045】

ステップＳ１８において第４算出部２６は、陽子によるＳＥＵ発生数（Ｎ２－Ｎ１）に基づいて、陽子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する。こうして、デバイス３に中性子が照射されることにより発生するＳＥＵの影響を除外して、陽子由来のＳＥＵクロスセクションを算出することができる。

【0046】

このように、本実施形態に係る測定装置１００は、ＳＥＵクロスセクションを測定する測定装置１００であって、デバイス３に粒子（例えば、陽子）を照射する加速器１１と、加速器１１とデバイス３との間に設置され、加速器１１から照射された粒子を減速する減速板Ｄと、加速器１１から照射される粒子エネルギー、及び減速板Ｄの厚さｔに基づいて、減速板Ｄにて発生する中性子数を算出する第１算出部２２と、粒子エネルギーに基づいて、デバイス３にて発生する中性子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する第２算出部２３と、中性子数、及び中性子由来のＳＥＵクロスセクションに基づいて、デバイス３において発生する中性子由来のＳＥＵを算出する第３算出部２４と、デバイス３にて発生するＳＥＵと中性子由来のＳＥＵに基づいて、粒子由来のＳＥＵクロスセクションを算出する第４算出部２６を備える。

【0047】

本実施形態では、加速器１１から照射する陽子エネルギーを変更することなく、減速板Ｄの厚さｔを変更するという簡単な操作により、デバイス３に照射する陽子エネルギーを変化させることができる。このため、加速器１１から照射する陽子エネルギーを変更する操作が不要となり、ユーザによる労力を軽減できる。

【0048】

また、減速板Ｄで発生する中性子由来のＳＥＵによる影響を除外して、陽子由来のＳＥＵクロスセクションを算出することができる。このため、陽子由来のＳＥＵクロスセクションを高精度に測定することが可能になる。

【0049】

本実施形態では、厚さが異なる複数の減速板Ｄ（Ｄ１～Ｄｎ）から１つの減速板Ｄを選択する切替機構１２を備えているので、所望の厚さｔを有する減速板Ｄを容易に選択して陽子由来のＳＥＵクロスセクションを測定することが可能になる。

【0050】

本実施形態では、第１算出部２２は、図４に示したように中性子エネルギーと中性子数（中性子フラックス）との関係を示すグラフ（第１対応データ）を備えており、中性子エネルギーに基づき、第１対応データを参照して中性子数を算出するので、演算負荷を増大させることなく簡易な操作で中性子数を算出することが可能になる。

【0051】

本実施形態では、第２算出部２３は、図５に示したように中性子エネルギーと中性子由来のＳＥＵクロスセクションとの関係を示すグラフ（第２対応データ）を備えており、中性子エネルギーに基づき、第２対応データを参照して中性子由来のＳＥＵクロスセクションを算出するので、演算負荷を増大させることなく簡易な操作で中性子由来のＳＥＵクロスセクションを算出することが可能になる。

【0052】

なお、上述した実施形態では、デバイス３に照射する粒子として陽子を例に挙げて説明したが、本開示はこれに限定されるものではなく、陽子以外の粒子を採用してもよい。

【0053】

上記説明した本実施形態の測定装置１００の演算装置２には、図７に示すように例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit、プロセッサ）９０１と、メモリ９０２と、ストレージ９０３（ＨＤＤ：Hard Disk Drive、ＳＳＤ：Solid StateDrive）と、通信装置９０４と、入力装置９０５と、出力装置９０６とを備える汎用的なコンピュータシステムを用いることができる。メモリ９０２およびストレージ９０３は、記憶装置である。このコンピュータシステムにおいて、ＣＰＵ９０１がメモリ９０２上にロードされた所定のプログラムを実行することにより、演算装置２の各機能が実現される。

【0054】

なお、演算装置２は、１つのコンピュータで実装されてもよく、あるいは複数のコンピュータで実装されても良い。また、演算装置２は、コンピュータに実装される仮想マシンであっても良い。

【0055】

なお、演算装置２用のプログラムは、ＨＤＤ、ＳＳＤ、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリ、ＣＤ (Compact Disc)、ＤＶＤ (Digital Versatile Disc)などのコンピュータ読取り可能な記録媒体に記憶することも、ネットワークを介して配信することもできる。コンピュータ読取り可能な記録媒体は、例えば非一時的な（non-transitory）記録媒体である。

【0056】

なお、本開示は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。

【符号の説明】

【0057】

１ 照射装置
２ 演算装置
３ デバイス
１１ 加速器
１２ 切替機構
２１ 測定部
２２ 第１算出部
２３ 第２算出部
２４ 第３算出部
２５ カウント部
２６ 第４算出部
１００ 測定装置
Ｄ（Ｄ１～Ｄｎ） 減速板

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】