特許 7093951 粒子径表示装置、粒子径表示方法および粒子径表示システム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2022-06-23

(45)【発行日】2022-07-01

(54)【発明の名称】粒子径表示装置、粒子径表示方法および粒子径表示システム

(51)【国際特許分類】

   G01N 15/02 20060101AFI20220624BHJP

【ＦＩ】

G01N15/02 D

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2018237735

(22)【出願日】2018-12-19

(65)【公開番号】P2020101374

(43)【公開日】2020-07-02

【審査請求日】2021-06-28

【国等の委託研究の成果に係る記載事項】（出願人による申告）平成２８年度、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構 エネルギー・環境新技術先導プログラム／ビッグデータ適応型の革新的検査評価技術の研究開発に係る委託研究、産業技術力強化法第１９条の適用を受ける特許出願

(73)【特許権者】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(73)【特許権者】

【識別番号】000155023

【氏名又は名称】株式会社堀場製作所

(73)【特許権者】

【識別番号】301021533

【氏名又は名称】国立研究開発法人産業技術総合研究所

(74)【代理人】

【識別番号】100104433

【弁理士】

【氏名又は名称】宮園 博一

(72)【発明者】

【氏名】赤丸 久光

(72)【発明者】

【氏名】菅澤 央昌

(72)【発明者】

【氏名】加藤 晴久

(72)【発明者】

【氏名】時崎 高志

(72)【発明者】

【氏名】重藤 知夫

(72)【発明者】

【氏名】稲垣 和三

(72)【発明者】

【氏名】黒河 明

(72)【発明者】

【氏名】高橋 かより

(72)【発明者】

【氏名】藤本 俊幸

【審査官】海野 佳子

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１７／１９５７８５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００３－０９８１１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－２２８４９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－０２２５０３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ １５／００－１５／１４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

粒子径を測定する分析方法により取得された複数の被測定物の粒子径結果を取得する粒子径結果収集部と、
複数種類の前記分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の前記分析方法に対応する前記粒子径結果収集部に収集された複数の前記粒子径結果を対比可能に表示する第１表示領域とを同一画面上に表示する表示部とを備える、粒子径表示装置。

【請求項2】

前記粒子径結果収集部は、粒子径を測定する複数種類の前記分析方法により測定された複数の前記粒子径結果または複数の前記被測定物の複数の前記粒子径結果を取得するように構成されており、
前記表示部は、複数種類の前記分析方法および複数のそれぞれに対応する前記被測定物を選択可能に表示する前記選択領域と、複数の前記粒子径結果をグラフ形式で表示する前記第１表示領域とを同一画面上に表示するように構成されている、請求項１に記載の粒子径表示装置。

【請求項3】

前記粒子径結果収集部は、複数の前記粒子径結果として、複数の前記被測定物における前記粒子径結果の各々の平均粒子径を取得するように構成されており、
前記表示部は、複数の前記平均粒子径に基づくグラフ形式の前記粒子径結果を前記第１表示領域に表示するように構成されている、請求項２に記載の粒子径表示装置。

【請求項4】

前記粒子径結果収集部は、複数の前記粒子径結果として、複数の前記被測定物における複数の粒子径分布を取得するように構成されており、
前記表示部は、前記第１表示領域に表示された複数の前記粒子径結果から選択された前記粒子径結果における前記粒子径分布を、前記第１表示領域に表示された複数の前記粒子径結果と対比可能に表示する第２表示領域をさらに表示するように構成されている、請求項１～３のいずれか１項に記載の粒子径表示装置。

【請求項5】

前記表示部は、前記第１表示領域に表示された複数の前記粒子径結果から選択された前記粒子径結果における複数の前記粒子径分布を前記第２表示領域の同一画面上に重ねて表示するように構成されている、請求項４に記載の粒子径表示装置。

【請求項6】

前記粒子径結果収集部は、複数の前記粒子径結果を同一の基準で規格化した粒子径分布規格化結果を取得するように構成されており、
前記表示部は、前記第１表示領域に表示された複数の前記粒子径結果から選択された前記粒子径結果における前記粒子径分布規格化結果を前記第２表示領域に表示するように構成されている、請求項５に記載の粒子径表示装置。

【請求項7】

前記粒子径結果収集部は、複数の前記粒子径結果のうちの所定の前記被測定物の複数の前記粒子径結果について、複数種類の前記分析方法のうちの複数の前記粒子径結果が取得された前記分析方法ごとに複数の前記粒子径結果を対比することが可能な第１粒子径分布比較結果を取得するとともに、
前記表示部は、前記第１表示領域に表示された複数の前記粒子径結果から選択された前記粒子径結果における前記第１粒子径分布比較結果を、前記第２表示領域に表示するように構成されている、請求項５または６に記載の粒子径表示装置。

【請求項8】

前記粒子径結果収集部は、複数種類の前記分析方法のうちの所定の前記分析方法において測定された複数の前記粒子径結果について、複数の前記被測定物ごとの複数の前記粒子径結果を対比することが可能な第２粒子径分布比較結果を取得するように構成されており、
前記表示部は、前記第１表示領域に表示された複数の前記粒子径結果から選択された前記粒子径結果における前記第２粒子径分布比較結果を、前記第２表示領域に表示するように構成されている、請求項５または６に記載の粒子径表示装置。

【請求項9】

粒子径を測定する分析方法により取得される粒子径結果を取得するステップと、
複数種類の前記分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の前記分析方法に対応する収集された前記粒子径結果とを対比可能に表示する表示領域とを表示部の同一画面上に表示するステップとを備える、粒子径表示方法。

【請求項10】

複数の被測定物の粒子径結果を取得する複数の粒子径測定装置と、
粒子径を測定する分析方法により取得される粒子径結果を取得する粒子径結果収集部と、複数種類の前記分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の前記分析方法に対応する前記粒子径結果収集部に収集された粒子径結果とを対比可能に表示する表示領域とを同一画面上に表示する表示部とを備える粒子径表示装置とを含む、粒子径表示システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、粒子径表示装置、粒子径表示方法および粒子径表示システムに関し、特に、粒子径の分析結果をグラフ形式で表示する粒子径表示装置、粒子径表示方法および粒子径表示システムに関する。

【背景技術】

【0002】

近年、工業分野や医療分野、食品分野などにおいて、微小粒子を用いた製品の製造が行われている。微小粒子を用いた製品を製造する際、製造された製品における微小粒子の粒子径などを検査する必要がある。そこで、従来、微小粒子の粒子径を測定する装置が知られている（たとえば、特許文献１および特許文献２参照）。

【0003】

上記特許文献１では、画像解析法を用いて、誘電体用セラミック粉末を製造する際のセラミック粉末の粒子径を測定している。画像解析法とは、被測定物の一部を基板などに塗布して画像を撮影し、撮影した画像から、各粒子の粒子径を測定する方法である。上記特許文献１では、走査型電子顕微鏡（以下、ＳＥＭという）を用いて被測定物（セラミック粉末）の画像を取得することにより、粒子径を測定している。

【0004】

また、上記特許文献２では、貴金属粒子を用いた排ガス浄化用触媒の製造時において、動的光散乱法（以下、ＤＬＳという）を用いて貴金属粒子の粒子径を測定している。ＤＬＳとは、溶液中の粒子のブラウン運動に起因する散乱光の揺らぎに基づいて、粒子径を測定する方法である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２００６－２７３７０８号公報

【文献】特開２０１７－１７７０１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

ここで、上記特許文献１に記載されたようなＳＥＭを用いた粒子径の測定は、被測定物の一部の画像中に写る粒子の粒子径を測定するものであり、得られた粒子径を被測定物全体の粒子径として用いることができるか否かを判断することができない。また、上記特許文献２に記載されたようなＤＬＳを用いた粒子径の測定は、被測定物全体の粒子径を測定することが可能であるが、被測定物が溶液中において凝集している場合には、粒子が凝集した塊の径を測定するために、個々の粒子径を測定することができない。このため、被測定物の正確な粒子径を得るためには、たとえば、上記特許文献１に記載されたようなＳＥＭを用いた粒子径分布測定および上記特許文献２に記載されたようなＤＬＳを用いた粒子径測定などの複数の測定方法を用いて取得した測定結果を分析する必要がある。

【0007】

従来では、上記特許文献１に記載されているようなＳＥＭを用いた粒子径測定装置および特許文献２に記載されているようなＤＬＳを用いた粒子径測定装置を用いて測定された複数の測定方法による測定結果を、表計算ソフトウェアなどを用いて分析を行っていた。具体的には、表計算ソフトウェアなどを用いて、複数の粒子径測定装置によって測定された粒子径結果のグラフを作成することにより、粒子径結果の分析を行っていた。

【0008】

しかしながら、表計算ソフトウェアなどを用いて作成されたグラフを用いて粒子径結果の分析を行う場合に、複数の粒子径測定装置の組み合わせを変更したい場合に、もう一度グラフを作成し直さなければならないという不都合がある。また、複数の粒子径測定装置の組み合わせを変更したグラフを作成し直した場合、各粒子径結果の分析結果を対比することが容易ではないという不都合がある。そのため、ユーザは、分析したい内容に合わせて様々なグラフを作成する必要があり、粒子径結果の分析の効率が低下するという問題点がある。

【0009】

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、粒子径結果の表示の改善により、粒子径結果の分析の効率を向上させることが可能な粒子径表示装置、粒子径表示方法および粒子径表示システムを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0010】

上記目的を達成するために、この発明の第１の局面における粒子径表示装置は、粒子径を測定する分析方法により取得された複数の被測定物の粒子径結果を取得する粒子径結果収集部と、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部に収集された複数の粒子径結果を対比可能に表示する第１表示領域とを同一画面上に表示する表示部とを備える。

【0011】

この発明の第１の局面における粒子径表示装置は、上記のように、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部に収集された複数の粒子径結果を対比可能に表示する第１表示領域とを同一画面上に表示する表示部を備える。これにより、ユーザは、第１表示領域と同一画面上に表示された選択領域において分析方法を選択することにより、表示部に表示される粒子径結果を切り替えることができる。これにより、ユーザの意図に合わせて粒子径結果の表示を切り替えることができる。また、ユーザは、第１表示領域に表示された粒子径結果を確認することにより、複数の粒子径結果を容易に対比することができる。これらの結果、粒子径結果の表示の改善により、粒子径結果の分析の効率を向上させることができる。

【0012】

上記第１の局面における粒子径表示装置において、好ましくは、粒子径結果収集部は、粒子径を測定する複数種類の分析方法により測定された複数の粒子径結果または複数の被測定物のそれぞれに対応する複数の粒子径結果を取得するように構成されており、表示部は、複数種類の分析方法および複数の被測定物を選択可能に表示する選択領域と、複数の粒子径結果をグラフ形式で表示する第１表示領域とを同一画面上に表示するように構成されている。このように構成すれば、ユーザは、粒子径結果のグラフを確認することにより、複数の粒子径結果を容易に把握することができる。また、ユーザは、表示する分析方法および被測定物の種類を切り替えることによって、任意の粒子径結果のグラフを表示部に表示させることができる。その結果、ユーザは、任意の分析方法および被測定物の粒子径結果をグラフ形式で表示部に表示させることが可能となるので、粒子径結果の分析の効率を容易に向上させることができる。

【0013】

この場合、好ましくは、粒子径結果収集部は、複数の粒子径結果として、複数の被測定物における粒子径結果の各々の平均粒子径を取得するように構成されており、表示部は、複数の平均粒子径に基づくグラフ形式の粒子径結果を第１表示領域に表示するように構成されている。このように構成すれば、ユーザは、グラフ形式の平均粒子径に基づいて、粒子径結果の分析を行うことができる。その結果、各々の粒子の粒子径としての粒子径結果の数値を用いて分析を行う場合と比較して、粒子径結果を直感的に把握することが可能となるので、粒子径結果の分析を容易に行うことができる。

【0014】

上記第１の局面における粒子径表示装置において、好ましくは、粒子径結果収集部は、複数の粒子径結果として、複数の被測定物における複数の粒子径分布を取得するように構成されており、表示部は、第１表示領域に表示された複数の粒子径結果から選択された粒子径結果における粒子径分布を、第１表示領域に表示された複数の粒子径結果と対比可能に表示する第２表示領域をさらに表示するように構成されている。このように構成すれば、ユーザは、複数の粒子径結果を把握することができるとともに、複数の粒子径結果と、複数の粒子径結果から選択された粒子径分布とを対比させて把握することができる。その結果、ユーザは、複数の粒子径結果と、選択された粒子径分布とを一度に把握することが可能となるので、粒子径結果の分析の効率をより向上させることができる。

【0015】

この場合、好ましくは、表示部は、第１表示領域に表示された複数の粒子径結果から選択された粒子径結果における複数の粒子径分布を第２表示領域の同一画面上に重ねて表示するように構成されている。このように構成すれば、粒子径結果から複数の粒子径分布を表示する際に、複数の粒子径分布が同一画面上に重ねて表示されるので、ユーザは、複数の粒子径分布を一度に把握することが可能となる。その結果、ユーザは、複数の粒子径分布を容易に比較することが可能となるので、被測定物の粒子径分布の分析を容易に行うことができる。

【0016】

上記複数の粒子径分布を第２表示領域の同一画面上に重ねて表示する構成において、好ましくは、粒子径結果収集部は、複数の粒子径結果を同一の基準で規格化した粒子径分布規格化結果を取得するように構成されており、表示部は、第１表示領域に表示された複数の粒子径結果から選択された粒子径結果における粒子径分布規格化結果を第２表示領域に表示するように構成されている。このように構成すれば、ユーザは、複数の粒子径測定装置において粒子径分布を測定する際の基準が異なっていた場合でも、同一の基準で規格化された粒子径分布規格化結果を確認することにより、複数の粒子径分布を同一のグラフ上において比較することができる。したがって、ユーザは、様々な分析手法により取得された粒子径分布を用いて被測定物の粒子径分布の分析を行うことができる。その結果、同一の基準で粒子径分布を測定する粒子径測定装置（分析方法）を複数用いる場合と比較して、粒子径測定装置の種類（分析方法の種類）を増加させることが可能となるので、被測定物の粒子径分布の分析の精度を向上させることができる。

【0017】

上記複数の粒子径分布を第２表示領域の同一画面上に重ねて表示する構成において、好ましくは、粒子径結果収集部は、複数の粒子径結果のうちの所定の被測定物の複数の粒子径結果について、複数種類の分析方法のうちの複数の粒子径結果が取得された分析方法ごとに複数の粒子径結果を対比することが可能な第１粒子径分布比較結果を取得するとともに、表示部は、第１表示領域に表示された複数の粒子径結果から選択された粒子径結果における第１粒子径分布比較結果を、第２表示領域に表示するように構成されている。このように構成すれば、ユーザは、選択された第１粒子径分布比較結果を確認することにより、様々な種類の粒子径測定装置によって測定された粒子径分布を一度に把握することができる。その結果、ユーザは、第１粒子径分布比較結果を確認することにより、粒子径測定装置の種類（分析方法の種類）の違いに起因する粒子径分布の相違を把握することが可能となるので、選択された被測定物の粒子径分布の分析を容易に、かつ、精度よく行うことができる。

【0018】

上記複数の粒子径分布を第２表示領域の同一画面上に重ねて表示する構成において、好ましくは、粒子径結果収集部は、複数種類の分析方法のうちの所定の分析方法において測定された複数の粒子径結果について、複数の被測定物ごとの複数の粒子径結果を対比することが可能な第２粒子径分布比較結果を取得するように構成されており、表示部は、第１表示領域に表示された複数の粒子径結果から選択された粒子径結果における第２粒子径分布比較結果を、第２表示領域に表示するように構成されている。このように構成すれば、ユーザは、選択された第２粒子径分布比較結果を確認することにより、所定の粒子径測定装置において測定された複数の被測定物それぞれの粒子径分布を対比することができる。その結果、ユーザは、たとえば、複数の粒子径の粒子が混合された被測定物を所定の範囲の大きさの粒子径ごとに分級して測定した場合に、各分画の粒子径分布を一度に把握することが可能となるので、被測定物に含まれていた全粒子の粒子径分布を容易に把握することができる。

【0019】

この発明の第２の局面における粒子径表示方法は、粒子径を測定する分析方法により取得される粒子径結果を取得するステップと、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の分析方法に対応する収集された粒子径結果とを対比可能に表示する表示領域とを表示部の同一画面上に表示するステップとを備える。

【0020】

この発明の第２の局面による粒子径表示方法では、上記のように、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の分析方法に対応する収集された粒子径結果とを対比可能に表示する表示領域とを表示部の同一画面上に表示するステップを備える。これにより、ユーザは、表示領域と同一画面上に表示された選択領域において分析方法を選択することにより、表示部に表示される粒子径結果を切り替えることができる。これにより、ユーザの意図に合わせて粒子径結果の表示を切り替えることができる。また、ユーザは、表示領域に表示された粒子径結果を確認することにより、複数の粒子径結果を容易に対比することができる。これらの結果、粒子径結果の表示の改善により、粒子径結果の分析の効率を向上させることができる。

【0021】

この発明の第３の局面における粒子径表示システムは、複数の被測定物の粒子径結果を取得する複数の粒子径測定装置と、粒子径を測定する分析方法により取得される粒子径結果を取得する粒子径結果収集部と、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部に収集された粒子径結果とを対比可能に表示する表示領域とを同一画面上に表示する表示部とを備える粒子径表示装置とを含む。

【0022】

この発明の第３の局面による粒子径表示システムでは、上記のように、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域と、選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部に収集された粒子径結果とを対比可能に表示する表示領域とを同一画面上に表示する表示部とを備える粒子径表示装置を備える。これにより、ユーザは、表示領域と同一画面上に表示された選択領域において分析方法を選択することにより、表示部に表示される粒子径結果を切り替えることができる。これにより、ユーザの意図に合わせて粒子径結果の表示を切り替えることができる。また、ユーザは、表示領域に表示された粒子径結果を確認することにより、複数の粒子径結果を容易に対比することができる。これらの結果、粒子径結果の表示の改善により、粒子径結果の分析の効率を向上させることができる。

【発明の効果】

【0023】

本発明によれば、上記のように、粒子径結果の表示の改善により、粒子径結果の分析の効率を向上させることが可能な粒子径表示装置、粒子径表示方法および粒子径表示システムを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】第１実施形態による粒子径表示装置を含む粒子径表示システムの全体構成を示す模式図である。

【図2】各粒子径測定装置が測定する被測定物の模式図である。

【図3】被測定物を分級した第１サンプル～第４サンプルの模式図（Ａ）～（Ｄ）である。

【図4】第１実施形態による第１表示領域に表示される粒子径結果の模式図（Ａ）および表示部に表示される選択領域の模式図（Ｂ）である。

【図5】第２サンプルおよびＤＬＳが選択されなかった場合の第１表示領域の模式図（Ａ）および選択領域の模式図（Ｂ）である。

【図6】第１実施形態による選択領域および第１表示領域を表示部に表示する処理を説明するためのフローチャートである。

【図7】第２実施形態による粒子径表示装置を含む粒子径表示システムの全体構成を示す模式図である。

【図8】第２実施形態による第１表示領域に表示される粒子径結果の模式図（Ａ）およびメニュー画面の模式図（Ｂ）である。

【図9】第２実施形態による第２表示領域に表示される粒子径分布の模式図である。

【図10】第２実施形態による第１表示領域および第２表示領域を表示部に表示する処理を説明するためのフローチャートである。

【図11】第３実施形態による第１表示領域に表示される粒子径結果の模式図（Ａ）およびメニュー画面の模式図（Ｂ）である。

【図12】第３実施形態による第２表示領域に表示される第１粒子径分布比較結果の模式図である。

【図13】第３実施形態による第１表示領域および第２表示領域を表示部に表示する処理を説明するためのフローチャートである。

【図14】第４実施形態による第１表示領域に表示される粒子径結果の模式図（Ａ）およびメニュー画面の模式図（Ｂ）である。

【図15】第４実施形態による第２表示領域に表示される第２粒子径分布比較結果の模式図である。

【図16】第４実施形態による第１表示領域および第２表示領域を表示部に表示する処理を説明するためのフローチャートである。

【図17】第１実施形態の第１変形例による表示部に表示される相関図の模式図である。

【図18】第１実施形態の第２変形例による表示部に表示される粒子径分布の模式図である。

【図19】第３実施形態の変形例による第２表示領域に表示される粒子径分布規格化結果の模式図（Ａ）および粒子径分布を規格化した際のデータを示す表（Ｂ）である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

【0026】

［第１実施形態］
図１～図５を参照して、本発明の第１実施形態による粒子径表示装置１を備える粒子径表示システム１００の構成について説明する。

【0027】

（粒子径表示システムおよび粒子径表示装置の構成）
図１に示すように、粒子径表示システム１００は、粒子径表示装置１と、複数の粒子径測定装置２と、入力部Ｑとを備えている。

【0028】

複数の粒子径測定装置２は、第１粒子径測定装置２ａと第２粒子径測定装置２ｂと第３粒子径測定装置２ｃと第４粒子径測定装置２ｄとを含む。第１粒子径測定装置２ａ～第４粒子径測定装置２ｄは、それぞれ、複数の被測定物Ｍ（図２参照）の粒子径結果４（第１粒子径結果４ａ、第２粒子径結果４ｂ、第３粒子径結果４ｃおよび第４粒子径結果４ｄ）を取得するように構成されている。

【0029】

第１粒子径測定装置２ａは、被測定物Ｍの拡大画像を撮影し、撮影された拡大画像に写る被測定物Ｍの粒子径を測定するように構成されている。第１粒子径測定装置２ａは、たとえば、ＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）を含む。第１粒子径測定装置２ａは、被測定物Ｍに電子線を照射する電子線出力部（図示せず）と、電子線を照射された被測定物Ｍから出力される信号を検出する検出部（図示せず）と、複数のレンズと、被測定物Ｍに照射する電子線を走査させる電子線操作部（図示せず）と、検出部により検出された信号に基づき画像を生成する画像生成部（図示せず）と、撮影された画像に写る粒子の粒子径を測定し、被測定物Ｍの粒子径結果４を取得する画像処理部（図示せず）とを備える。

【0030】

第２粒子径測定装置２ｂは、第１粒子径測定装置２ａとは異なる方法で被測定物Ｍの拡大画像を撮影し、撮影された拡大画像に写る被測定物Ｍの粒子径を測定するように構成されている。第２粒子径測定装置２ｂは、たとえば、原子間力顕微鏡（以下、ＡＦＭという）を含む。第２粒子径測定装置２ｂは、被測定物Ｍの表面を走査する探針（図示せず）と、探針と被測定物Ｍとの間に働く斥力または引力を変位に変換する変位変換部と、変位を検出する変位検出部（図示せず）と、変位検出部により検出された信号に基づき画像を生成する画像生成部（図示せず）と、撮影された画像に写る粒子の粒子径を測定し、被測定物Ｍの粒子径結果４を取得する画像処理部（図示せず）とを備える。

【0031】

第３粒子径測定装置２ｃは、溶液中に拡散させた被測定物Ｍのブラウン運動に起因する散乱光の揺らぎに基づいて、被測定物Ｍの粒子径結果４を測定するように構成されている。第３粒子径測定装置２ｃは、たとえば、ＤＬＳにより被測定物Ｍの粒子径結果４を測定する粒子径測定装置を含む。第３粒子径測定装置２ｃは、溶液中に拡散させた被測定物Ｍに光を照射する光源部（図示せず）と、被測定物Ｍによって拡散された散乱光を検出する検出部（図示せず）と、散乱光の揺らぎに基づいて、被測定物Ｍの粒子径結果４を取得する粒子径分布取得部（図示せず）とを備える。

【0032】

第４粒子径測定装置２ｄは、プラズマを用いてイオン化した被測定物Ｍの粒子径や粒子径結果４を測定するように構成されている。第４粒子径測定装置２ｄは、たとえば、誘導結合プラズマ質量分析装置（以下、ＩＣＰ－ＭＳという）を含む。第４粒子径測定装置２ｄは、被測定物Ｍに照射するプラズマを発生させるプラズマ発生部（図示せず）と、イオン化した被測定物Ｍを検出する検出部（図示せず）と、検出部により検出された信号に基づいて被測定物Ｍの粒子径結果４を取得する粒子径分布取得部（図示せず）とを備える。

【0033】

粒子径表示装置１は、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域５と、選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部７に収集された粒子径結果４を対比可能に表示する第１表示領域６とを表示部３の同一画面上に表示するように構成されている。なお、第１表示領域６は、特許請求の範囲の「表示領域」の一例である。

【0034】

図１に示すように、粒子径表示装置１は、表示部３と、粒子径結果収集部７と、制御部８と、記憶部９とを備える。粒子径結果収集部７は、制御部８の制御の下で、被測定物Ｍの粒子径結果４を複数取得するように構成されている。図１に示す例では、粒子径結果収集部７は、第１粒子径測定装置２ａ～第４粒子径測定装置２ｄによって測定された複数の第１粒子径結果４ａ～第４粒子径結果４ｄを取得するように構成されている。また、粒子径結果収集部７は、複数の粒子径結果４として、複数の被測定物Ｍにおける粒子径結果４の各々の平均粒子径１０を取得するように構成されている。粒子径結果収集部７は、いわゆる入出力インターフェースとして構成されている。

【0035】

制御部８は、粒子径結果収集部７を制御して、複数の粒子径測定装置２から複数の粒子径結果４を取得するように構成されている。制御部８は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）やメモリなどから構成されるコンピュータであり、記憶部９に格納された各種プログラムを実行することにより、粒子径表示装置１の制御部８として機能するように構成されている。

【0036】

記憶部９は、制御部８が実行するプログラムや設定情報を格納するとともに、粒子径結果収集部７が複数の粒子径結果４などを記憶するように構成されている。記憶部９は、たとえば、ＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）や不揮発性のメモリなどを含む。

【0037】

表示部３は、粒子径表示装置１から出力された選択領域５および第１表示領域６を同一画面上に表示するように構成されている。表示部３は、たとえば、液晶モニタなどを含む。

【0038】

入力部Ｑは、操作者（ユーザ）の入力操作を受け付けるように構成されている。入力部Ｑは、たとえば、マウスやキーボードなどを含む。

【0039】

（被測定物）
次に、図２および図３を参照して、複数の粒子径測定装置２が測定する被測定物Ｍについて説明する。

【0040】

図２は、複数の粒子径測定装置２が測定する被測定物Ｍの模式図である。図２に示すように、被測定物Ｍは、様々な粒子径の粒子が含まれている。被測定物Ｍは、たとえば、金やシリカなどの粒子であり、粒子径が数ｎｍから数十ｎｍの範囲の微小粒子を含む。

【0041】

図２に示すように、被測定物Ｍに様々な粒子径の粒子が含まれている場合、粒子同士の重なりなどに起因して、測定される粒子径結果４の精度が低下する。そこで、第１実施形態では、被測定物Ｍに含まれる粒子の粒子径に応じて被測定物Ｍを複数のサンプルに分級して、それぞれのサンプルの粒子径結果４を取得する。具体的には、第１実施形態では、図３に示すように、被測定物Ｍを第１サンプルＭ１、第２サンプルＭ２、第３サンプルＭ３および第４サンプルＭ４の４つに分級し、それぞれ粒子径結果４を取得する。図３に示す例では、第１サンプルＭ１に含まれる粒子の粒子径が一番小さく、第２サンプルＭ２、第３サンプルＭ３、第４サンプルＭ４の順に、含まれる粒子の粒子径が大きくなる例を示している。

【0042】

（選択領域および第１表示領域の表示）
次に、図４および図５を参照して、第１実施形態における選択領域５および第１表示領域６が表示部３に表示される構成について説明する。

【0043】

第１実施形態では、図４に示すように、粒子径表示装置１は、粒子径を測定する分析方法により取得された複数の被測定物Ｍの粒子径結果４を取得する粒子径結果収集部７と、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域５と選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部７に収集された複数の粒子径結果４を対比可能に表示する第１表示領域６とを同一画面上に表示する表示部３とを備える。具体的には、粒子径結果収集部７は、粒子径を測定する複数種類の分析方法により測定された複数の粒子径結果４または複数の被測定物Ｍのそれぞれに対応する複数の粒子径結果４を取得するように構成されており、表示部３は、複数種類の分析方法および複数の被測定物Ｍを選択可能に表示する選択領域５と、複数の粒子径結果４をグラフ形式で表示する第１表示領域６とを同一画面上に表示するように構成されている。より具体的には、粒子径結果収集部７は、複数の粒子径結果４として、複数の被測定物Ｍにおける粒子径結果４の各々の平均粒子径１０を取得するように構成されており、表示部３は、平均粒子径１０のそれぞれをグラフ形式で第１表示領域６に表示するように構成されている。

【0044】

図４に示す模式図は、第１実施形態による制御部８が、表示部３に表示する選択領域５および第１表示領域６の例である。図４（Ａ）に示すグラフは、第１表示領域６に表示される平均粒子径１０のグラフである。平均粒子径１０のグラフは、第１サンプルＭ１の平均粒子径１０ａ、第２サンプルＭ２の平均粒子径１０ｂ、第３サンプルＭ３の平均粒子径１０ｃおよび第４サンプルＭ４の平均粒子径１０ｄをそれぞれ表示している。図８（Ａ）に示すグラフの縦軸は、粒子径（ｎｍ）であり、横軸は、サンプル番号である。また、図４（Ｂ）は、表示部３に表示される選択領域５の模式図である。

【0045】

図４（Ａ）に示す平均粒子径１０のグラフでは、便宜上、各サンプルＭの平均粒子径１０を、粒子径測定装置の凡例Ｌ１に示すようなプロットで示している。具体的には、第１粒子径測定装置２ａ～第４粒子径測定装置２ｄによって測定された粒子径結果４の平均粒子径１０を、それぞれ、丸型のプロットＬ１ａ、星形のプロットＬ１ｂ、三角形のプロットＬ１ｃおよび四角形のプロットＬ１ｄで表示している。なお、図４（Ａ）に示すように、同じサンプルＭを測定した粒子径結果４でも、測定する装置が異なると、分析方法が異なることに起因して得られる平均粒子径１０が異なる。したがって、被測定物Ｍの正確な粒子径結果４を得るためには、複数の粒子径測定装置２によって測定された粒子径結果４を分析する必要がある。

【0046】

図４（Ｂ）に示す例は、表示部３に表示される選択領域５の例である。第１実施形態では、選択領域５として、分析方法選択部５０が表示部３に表示されている例を示している。分析方法選択部５０は、各粒子径測定装置２（分析方法）の表示を切り替える第１選択部５０ａと、各サンプルＭの表示を切り替える第２選択部５０ｂとを備える。分析方法選択部５０は、第１選択部５０ａおよび第２選択部５０ｂが操作者によって操作されることにより、粒子径結果４のグラフに表示する各サンプルＭおよび各粒子径測定装置２の選択を行うように構成されている。図４（Ｂ）に示す例では、第１選択部５０ａおよび第２選択部５０ｂは、それぞれ、チェックボックス形式で表示されている。

【0047】

図５は、操作者によって第２サンプルＭ２、およびＤＬＳを用いた分析方法が選択されたかった場合の例を示している。図５（Ｂ）に示すように、操作者が第２サンプルＭ２およびＤＬＳを用いた分析方法のチェックを外した場合、平均粒子径１０のグラフは、図５（Ａ）に示すように表示される。すなわち、平均粒子径１０のグラフから、第２サンプルＭ２およびＤＬＳを用いた分析方法のプロットが非表示となる。このように、操作者は、分析方法選択部５０を操作することにより、第１表示領域６に表示された平均粒子径１０のグラフに表示される分析方法および被測定物Ｍを任意に切り替えることができる。

【0048】

次に、図６を参照して、第１実施形態による選択領域５および第１表示領域６の表示処理の一連の流れについて説明する。

【0049】

ステップＳ１において、粒子径結果収集部７は、被測定物Ｍの粒子径結果４を複数取得する。その後、ステップＳ２において、制御部８は、選択領域５および第１表示領域６を対比可能に表示部３に表示させ、処理を終了する。

【0050】

上記のように、第１実施形態では、粒子径表示方法は、粒子径を測定する分析方法により取得される粒子径結果４を取得するステップＳ１と、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域５と、選択された複数の分析方法に対応する収集された粒子径結果４を対比可能に表示する第１表示領域６とを表示部３の同一画面上に表示するステップＳ２とを備える。

【0051】

（第１実施形態の効果）
第１実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0052】

第１実施形態では、上記のように、粒子径表示装置１は、粒子径を測定する分析方法により取得された複数の被測定物Ｍの粒子径結果４を取得する粒子径結果収集部７と、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域５と、選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部７に収集された複数の粒子径結果４を対比可能に表示する第１表示領域６とを同一画面上に表示する表示部３とを備える。これにより、操作者（ユーザ）は、第１表示領域６と同一画面上に表示された選択領域５において分析方法を選択することにより、表示部３に表示される粒子径結果４を切り替えることができる。これにより、操作者の意図に合わせて粒子径結果４の表示を切り替えることができる。また、操作者は、第１表示領域６に表示された粒子径結果４を確認することにより、複数の粒子径結果４を容易に対比することができる。これらの結果、粒子径結果４の表示の改善により、粒子径結果４の分析の効率を向上させることができる。

【0053】

また、第１実施形態では、上記のように、粒子径結果収集部７は、粒子径を測定する複数種類の分析方法により測定された複数の粒子径結果４または複数の被測定物Ｍのそれぞれに対応する複数の粒子径結果４を取得するように構成されており、表示部３は、複数種類の分析方法および複数の被測定物Ｍを選択可能に表示する選択領域５と、複数の粒子径結果４をグラフ形式で表示する第１表示領域６とを同一画面上に表示するように構成されている。これにより、操作者は、粒子径結果４のグラフを確認することにより、複数の粒子径結果４を容易に把握することができる。また、操作者は、表示する分析方法および被測定物Ｍの種類を切り替えることによって、任意の粒子径結果４のグラフを表示部３に表示させることができる。その結果、操作者は、任意の分析方法および被測定物Ｍの粒子径結果４をグラフ形式で表示部３に表示させることが可能となるので、粒子径結果４の分析の効率を容易に向上させることができる。

【0054】

また、第１実施形態では、上記のように、粒子径結果収集部７は、複数の粒子径結果４として、複数の被測定物Ｍにおける粒子径結果４の各々の平均粒子径１０を取得するように構成されており、表示部３は、複数の平均粒子径１０に基づくグラフ形式の粒子径結果４を第１表示領域６に表示するように構成されている。これにより、操作者は、グラフ形式の平均粒子径１０に基づいて、粒子径結果４の分析を行うことができる。その結果、各々の粒子の粒子径としての粒子径結果４の数値を用いて分析を行う場合と比較して、粒子径結果４を直感的に把握することが可能となるので、粒子径結果４の分析を容易に行うことができる。

【0055】

また、第１実施形態では、上記のように、粒子径表示方法は、粒子径を測定する分析方法により取得される粒子径結果４を取得するステップＳ１と、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域５と、選択された複数の分析方法に対応する収集された粒子径結果４とを対比可能に表示する第１表示領域６とを表示部３の同一画面上に表示するステップＳ２とを備える。これにより、粒子径結果４の表示の改善によって、粒子径結果４の分析の効率を向上させることが可能な粒子径表示方法を提供することができる。

【0056】

また、第１実施形態では、上記のように、粒子径表示システム１００は、複数の被測定物Ｍの粒子径結果４を取得する複数の粒子径測定装置２と、粒子径を測定する分析方法により取得される粒子径結果４を取得する粒子径結果収集部７と、複数種類の分析方法を選択可能に表示する選択領域５と、選択された複数の分析方法に対応する粒子径結果収集部７に収集された粒子径結果４とを対比可能に表示する第１表示領域６とを同一画面上に表示する表示部３とを備える粒子径表示装置１とを含む。これにより、粒子径結果４の表示の改善によって、粒子径結果４の分析の効率を向上させることが可能な粒子径表示システム１００を提供することができる。

【0057】

［第２実施形態］
次に、図７～図９を参照して、本発明の第２実施形態による粒子径表示装置２１（図７参照）を含む粒子径表示システム２００（図７参照）について説明する。選択領域５および第１表示領域６を表示部３に表示する第１実施形態とは異なり、第２実施形態では、第１表示領域６を表示部３に表示するとともに、粒子径分布１１（図９参照）が表示された第２表示領域１２を表示部３に表示するように構成されている。なお、上記第１実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明を省略する。

【0058】

第２実施形態では、粒子径結果収集部７は、複数の粒子径結果４として、複数の被測定物Ｍにおける複数の粒子径分布１１を取得するように構成されており、表示部３は、第１表示領域６に表示された複数の粒子径結果４から選択された粒子径結果４における粒子径分布１１を、第１表示領域６に表示された複数の粒子径結果４と対比可能に表示する第２表示領域１２をさらに表示するように構成されている。図７に示すように、第２実施形態では、粒子径結果収集部７は、粒子径結果４として、第１粒子径測定装置２ａ～第４粒子径測定装置２ｄによって測定された第１粒子径分布１１ａ、第２粒子径分布１１ｂ、第３粒子径分布１１ｃおおび第４粒子径分布１１ｄを取得するように構成されている。

【0059】

（第２表示領域の表示）
次に、図８および図９を参照して、第２実施形態における制御部２８が第２表示領域１２を表示部３に表示する構成について説明する。なお、制御部２８が第１表示領域６を表示部３に表示する処理は、上記第１実施形態における制御部８が行う処理と同様であるため、詳細な説明は省略する。

【0060】

第２実施形態では、図８（Ａ）に示すように、制御部２８は、操作者が粒子径分布１１を表示したいプロットを選択した場合に、図８（Ｂ）に示すようなメニュー画面を表示するように構成されている。図８（Ａ）では、操作者が入力部Ｑを用いて、粒子径結果４を表示したいプロットにカーソルＰをあわせ、右クリックを押下した場合にメニュー画面が開く場合の例を示している。

【0061】

また、制御部２８は、メニュー画面において、「粒子径分布」が選択された場合に、図９に示すような粒子径分布１１を第２表示領域１２に表示するように構成されている。図８（Ｂ）では、制御部２８は、操作者がカーソルＰを「粒子径分布」にあわせて左クリックを押下した場合に、図９に示すような粒子径分布１１を第２表示領域１２に表示する例を示している。なお、選択された粒子径分布１１は、いわゆるポップアップウィンドウとして、第１表示領域６に表示される粒子径結果４と同一画面上に表示されるのが好ましい。また、複数のプロットを選択することにより、複数の粒子径分布１１をポップアップウィンドウとして、粒子径結果４と同一画面上に表示させてもよい。

【0062】

図９に示す粒子径分布１１（第４粒子径分布１１ｄ）は、第４粒子径測定装置２ｄ（ＩＣＰ－ＭＳ）で測定された第４サンプルＭ４の粒子径分布１１の例である。図９に示す粒子径分布１１のグラフは、粒子径と個数との頻度分布を示す柱状グラフ（ヒストグラム）６０と、粒子径の累積頻度分布を示す曲線のグラフ６１とを含む。粒子径分布１１のうち、頻度（個数）を表す縦軸は、柱状グラフ（ヒストグラム）６０の軸である。また、粒子径分布１１のうち、累積頻度（％）を表す縦軸は、曲線のグラフ６１の軸である。

【0063】

第１実施形態では、制御部２８は、第１表示領域６として、図８（Ａ）に示す平均粒子径１０のグラフを表示部３に表示するように構成されている。また、制御部２８は、第２表示領域１２として、平均粒子径１０のグラフに表示されている各プロットのうち、操作者が選択したプロットについて、図９に示す粒子径分布１１を表示部３に表示するように構成されている。

【0064】

（第１表示領域および第２表示領域の表示処理）
次に、図１０を参照して、第２実施形態による制御部２８が第１表示領域６および第２表示領域１２を表示部３に表示する一連の処理について説明する。なお、ステップＳ１の処理は、上記第１実施形態と同様の処理であるため、詳細な説明は省略する。なお、図１０に示す例では、操作者が行う処理を破線で図示している。

【0065】

ステップＳ１において、粒子径結果収集部７は、複数の粒子径結果４を取得する。その後、ステップＳ３において、制御部２８は、第１表示領域６を表示部３に表示する。その後、処理はステップＳ４へ進む。

【0066】

ステップＳ４において、操作者は、粒子径分布１１を表示したい被測定物Ｍを選択する。その後、ステップＳ５において、制御部２８は、選択された粒子径分布１１を表示する第２表示領域１２を表示部３に表示させて、処理を終了する。

【0067】

なお、第２実施形態のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。

【0068】

（第２実施形態の効果）
第２実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0069】

第２実施形態では、上記のように、粒子径結果収集部７は、複数の粒子径結果４として、複数の被測定物Ｍにおける複数の粒子径分布１１を取得するように構成されており、表示部３は、第１表示領域６に表示された複数の粒子径結果４から選択された粒子径結果４における粒子径分布１１を、第１表示領域６に表示された複数の粒子径結果４と対比可能に表示する第２表示領域１２をさらに表示するように構成されている。これにより、操作者は、複数の粒子径結果４を把握することができるとともに、複数の粒子径結果４と、複数の粒子径結果４から選択された粒子径分布１１とを対比させて把握することができる。その結果、操作者は、複数の粒子径結果４と、選択された粒子径分布１１とを一度に把握することが可能となるので、粒子径結果４の分析の効率をより向上させることができる。

【0070】

なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

【0071】

［第３実施形態］
次に、図７、図１１および図１２を参照して、本発明の第３実施形態による粒子径表示装置３１（図７参照）を含む粒子径表示システム３００（図７参照）について説明する。粒子径分布１１が表示された第２表示領域１２を、表示部３に表示する第２実施形態とは異なり、第３実施形態では、制御部３８（図７参照）は、グラフ形式で表示された粒子径結果４から選択された複数の粒子径分布１１を第２表示領域１２の同一画面上に重ねて表示するように構成されている。なお、上記第１および第２実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明を省略する。

【0072】

第３実施形態では、表示部３は、第１表示領域６に表示された複数の粒子径結果４から選択された粒子径結果４における複数の粒子径分布１１を第２表示領域１２の同一画面上に重ねて表示するように構成されている。

【0073】

複数の粒子径測定装置２は、装置ごとに体積基準（頻度（％））で粒子径結果４を取得するのか個数基準（頻度（個数））で粒子径結果４を取得するのかが異なっている。したがって、粒子径結果４を取得する基準が異なっている場合には、複数の粒子径結果４を第２表示領域１２の同一画面上に重ねて表示する際に、各粒子径結果４の基準を統一する必要がある。そこで、第３実施形態では、粒子径結果収集部７は、複数の粒子径結果４を同一の基準で規格化した粒子径分布規格化結果１３（図１２参照）を取得するように構成されており、表示部３は、第１表示領域６に表示された複数の粒子径結果４から選択された粒子径結果４における粒子径分布規格化結果１３を第２表示領域１２に表示するように構成されている。

【0074】

具体的には、第３実施形態では、制御部３８は、複数の被測定物Ｍのうちの所定の被測定物Ｍの粒子径結果４について、複数の粒子径測定装置２のうちの粒子径結果４を取得した粒子径測定装置２ごとに粒子径結果４を対比することが可能な第１粒子径分布比較結果１４（図１２参照）を取得するとともに、グラフ形式で表示された粒子径結果４から選択された第１粒子径分布比較結果１４を表示部３に表示させるように構成されている。

【0075】

図１１（Ａ）は、制御部３８が粒子径結果４として取得する、複数の被測定物Ｍの粒子径結果４の各々の平均粒子径１０のグラフの模式図である。図１１（Ａ）に示す平均粒子径１０のグラフは、上記第１実施形態における図８（Ａ）に示した平均粒子径１０のグラフと同様のグラフであるため、詳細な説明は省略する。また、図１１（Ｂ）は、操作者が平均粒子径１０のグラフのプロットを選択した際に表示部３に表示されるメニュー画面である。図１１に示す例は、操作者が第４サンプルＭ４の粒子径結果４を選択した場合の例である。

【0076】

第３実施形態においても、第２実施形態の図８（Ａ）に示す場合と同様に、制御部３８は、操作者が第１粒子径分布比較結果１４（粒子径分布規格化結果１３）を表示したい被測定物Ｍを選択した場合に、メニュー画面を表示するように構成されている。

【0077】

また、制御部３８は、メニュー画面において、操作者が「粒子径分布比較（装置間）」を選択した場合に、図１２に示すような第１粒子径分布比較結果１４が表示された第２表示領域１２を表示部３に表示するように構成されている。メニュー画面を表示する処理および第１粒子径分布比較結果１４を表示する処理については、上記第２実施形態と同様であるため、詳細な説明は省略する。

【0078】

図１２に示すグラフは、第１粒子径分布比較結果１４の模式図である。図１２に示すグラフの縦軸は頻度（個数）であり、横軸は粒子径（ｎｍ）である。

【0079】

図１２に示すグラフは、個数基準（頻度（個数））によって粒子径結果４を表示している。したがって、体積基準（頻度（％））によって粒子径結果４を取得している場合には、個数基準（頻度（個数））の粒子径結果４に規格化する必要がある。第１粒子径測定装置２ａ～第４粒子径測定装置２ｄのうち、第３粒子径測定装置２ｃ（ＤＬＳ）では、体積基準（頻度（％））によって粒子径結果４を測定しているため、公知の手法により、個数基準（頻度（個数））に規格化した状態でグラフに図示している。すなわち、第１粒子径分布比較結果１４は、粒子径分布規格化結果１３である。

【0080】

図１２に示す第１粒子径分布比較結果１４のグラフでは、便宜上、各粒子径結果４を、被測定物の凡例Ｌ２に示すようなグラフの線の種類の違いにより示している。具体的には、第１粒子径測定装置２ａ～第４粒子径測定装置２ｄによって測定された粒子径結果４の各粒子径結果４を、それぞれ、実線Ｌ２ａ、破線Ｌ２ｂ、二点鎖線Ｌ２ｄおよび一点鎖線Ｌ２ｃで表示している。

【0081】

第３実施形態では、制御部３８は、粒子径結果４として、図１１（Ａ）に示す平均粒子径１０のグラフが表示された第１表示領域６を表示部３に表示するように構成されている。また、制御部３８は、平均粒子径１０のグラフに表示されている各プロットのうち、操作者が選択した被測定物Ｍについて、図１２に示す第１粒子径分布比較結果１４のグラフが表示された第２表示領域１２を表示部３に表示するように構成されている。

【0082】

（第１表示領域および第２表示領域の表示処理）
次に、図１３を参照して、第３実施形態による制御部３８が第１表示領域６および第２表示領域１２を表示部３に表示する一連の処理について説明する。なお、ステップＳ３の処理は、第１および第２実施形態と同様の処理であるため、詳細な説明は省略する。また、図１３に示す例でも、上記第２実施形態における図１０に示す例と同様に、操作者が行う処理を破線で図示している。

【0083】

ステップＳ６において、粒子径結果収集部７は、複数の粒子径結果４および粒子径分布規格化結果１３を取得する。その後、ステップＳ３において、制御部３８は、第１表示領域６を表示部３に表示する。その後、処理はステップＳ７へ進む。

【0084】

ステップＳ７において、操作者は、第１粒子径分布比較結果１４を表示したい被測定物Ｍを選択する。その後、ステップＳ８において、制御部３８は、選択された第１粒子径分布比較結果１４を表示部３に表示させて、処理を終了する。

【0085】

なお、第３実施形態のその他の構成は、上記第１および第３実施形態と同様である。

【0086】

（第３実施形態の効果）
第３実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0087】

第３実施形態では、上記のように、表示部３は、第１表示領域６に表示された複数の粒子径結果４から選択された粒子径結果４における複数の粒子径分布１１を第２表示領域１２の同一画面上に重ねて表示するように構成されている。これにより、粒子径結果４から複数の粒子径分布１１を表示する際に、複数の粒子径分布１１が同一画面上に重ねて表示されるので、操作者は、複数の粒子径分布１１を一度に把握することが可能となる。その結果、操作者は、複数の粒子径分布１１を容易に比較することが可能となるので、被測定物Ｍの粒子径分布１１の分析を容易に行うことができる。

【0088】

また、第３実施形態では、上記のように、粒子径結果収集部７は、複数の粒子径結果４を同一の基準で規格化した粒子径分布規格化結果１３を取得するように構成されており、表示部３は、第１表示領域６に表示された複数の粒子径結果４から選択された粒子径結果４における粒子径分布規格化結果１３を第２表示領域１２に表示するように構成されている。これにより、操作者は、複数の粒子径測定装置２において粒子径分布１１を測定する際の基準が異なっていた場合でも、同一の基準で規格化された粒子径分布規格化結果１３を確認することにより、複数の粒子径分布１１を同一のグラフ上において比較することができる。したがって、操作者は、様々な分析手法により取得された粒子径分布１１を用いて被測定物Ｍの粒子径分布１１の分析を行うことができる。その結果、同一の基準で粒子径分布１１を測定する粒子径測定装置２（分析方法）を複数用いる場合と比較して、粒子径測定装置２の種類（分析方法の種類）を増加させることが可能となるので、被測定物Ｍの粒子径分布１１の分析の精度を向上させることができる。

【0089】

また、第３実施形態では、上記のように、粒子径結果収集部７は、複数の粒子径結果４のうちの所定の被測定物Ｍの複数の粒子径結果４について、複数種類の分析方法のうちの複数の粒子径結果４が取得された分析方法ごとに複数の粒子径結果４を対比することが可能な第１粒子径分布比較結果１４を取得するとともに、表示部３は、第１表示領域６に表示された複数の粒子径結果４から選択された粒子径結果４における第１粒子径分布比較結果１４を、第２表示領域１２に表示するように構成されている。これにより、操作者は、選択された第１粒子径分布比較結果１４を確認することにより、様々な種類の粒子径測定装置２によって測定された粒子径分布１１を一度に把握することができる。その結果、ユーザは、第１粒子径分布比較結果１４を確認することにより、粒子径測定装置２の種類（分析方法の種類）の違いに起因する粒子径分布１１の相違を把握することが可能となるので、選択された被測定物Ｍの粒子径分布１１の分析を容易に、かつ、精度よく行うことができる。

【0090】

なお、第３実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

【0091】

［第４実施形態］
次に、図７、図１４および図１５を参照して、本発明の第４実施形態による粒子径表示装置４１（図７参照）を含む粒子径表示システム４００（図７参照）について説明する。第１粒子径分布比較結果１４が表示された第２表示領域１２を表示部３に表示する第２実施形態とは異なり、第４実施形態では、複数の被測定物Ｍごとの複数の粒子径結果４を対比することが可能な第２粒子径分布比較結果１５が表示された第２表示領域１２を表示部３に表示するように構成されている。なお、上記第１～第３実施形態と同様の構成については同様の符号を付し、説明を省略する。

【0092】

図１４（Ａ）に示すように、制御部４８は、操作者が粒子径結果４を表示したい粒子径測定装置２を選択した場合に、図１４（Ｂ）に示すメニュー画面を表示するように構成されている。また、制御部４８は、メニュー画面において、「粒子径分布比較（サンプル間）」が操作者によって選択された場合に、図１５に示すような第２粒子径分布比較結果１５が表示された第２表示領域１２を表示部３に表示するように構成されている。メニュー画面を表示する処理および第２粒子径分布比較結果１５を表示する処理については、上記第２実施形態および第３実施形態と同様であるため、詳細な説明は省略する。

【0093】

図１５に示すグラフは、制御部４８が第２表示領域１２に表示する第２粒子径分布比較結果１５の例である。図１５に示すグラフは、横軸が粒子径（ｎｍ）であり、縦軸が頻度（個数）である。

【0094】

図１５に示す例は、操作者が第１粒子径測定装置２ａ（ＳＥＭ）を選択した場合の第２粒子径分布比較結果１５の例である。図１５に示す第２粒子径分布比較結果１５のグラフでは、便宜上、各粒子径結果４を、被測定物の凡例Ｌ３に示すようなグラフの線の種類の違いにより示している。具体的には、第１サンプルＭ１～第４サンプルＭ４の粒子径結果４を、それぞ、実線Ｌ３ａ、破線Ｌ３ｂ、一点鎖線Ｌ３ｃおよび二点鎖線Ｌ３ｄで表示している。

【0095】

（第１表示領域および第２表示領域の表示処理）
次に、図１６を参照して、第４実施形態による制御部４８が第１表示領域６および第２表示領域１２を表示部３に表示する一連の処理について説明する。なお、ステップＳ１およびステップＳ３の処理は、第２および第３実施形態と同様の処理であるため、詳細な説明は省略する。また、図１６に示す例でも、上記第２実施形態における図１０および第３実施形態における図１３に示す例と同様に、操作者が行う処理は、破線で図示している。

【0096】

ステップＳ１において、粒子径結果収集部７は、複数の粒子径結果４を取得する。その後、ステップＳ３において、制御部４８は、第１表示領域６を表示部３に表示する。その後、処理はステップＳ９へ進む。

【0097】

ステップＳ９において、操作者は、第２粒子径分布比較結果１５を表示したい粒子径測定装置２を選択する。その後、ステップＳ１０において、制御部４８は、選択された第２粒子径分布比較結果１５が表示された第２表示領域１２を表示部３に表示させて、処理を終了する。

【0098】

なお、第４実施形態のその他の構成は、上記第１～第３実施形態と同様である。

【0099】

（第４実施形態の効果）
第４実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

【0100】

第４実施形態では、上記のように、粒子径結果収集部７は、複数種類の分析方法のうちの所定の分析方法において測定された複数の粒子径結果４について、複数の被測定物Ｍごとの複数の粒子径結果４を対比することが可能な第２粒子径分布比較結果１５を取得するように構成されており、表示部３は、第１表示領域６に表示された複数の粒子径結果４から選択された粒子径結果４における第２粒子径分布比較結果１５を、第２表示領域１２に表示するように構成されている。これにより、操作者は、選択された第２粒子径分布比較結果１５を確認することにより、所定の粒子径測定装置２において測定された複数の被測定物Ｍそれぞれの粒子径分布１１を対比することができる。その結果、操作者は、たとえば、複数の粒子径の粒子が混合された被測定物Ｍを所定の範囲の大きさの粒子径ごとに分級して測定した場合に、各分画の粒子径分布１１を一度に把握することが可能となるので、被測定物Ｍに含まれていた全粒子の粒子径分布１１を容易に把握することができる。

【0101】

なお、第４実施形態のその他の効果は、上記第１～第３実施形態と同様である。

【0102】

（変形例）
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

【0103】

たとえば、上記第１～第４実施形態では、粒子径表示システム１００（２００、３００、４００）が、複数の粒子径測定装置２として、第１粒子径測定装置２ａ～第４粒子径測定装置２ｄを備える構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、粒子径表示システム１００（２００、３００、４００）は、複数の粒子径測定装置２として、レーザ回折法および透過型電子顕微鏡などの、粒子径測定装置をさらに備えていてもよい。また、粒子径表示システム１００（２００、３００、４００）が備える複数の粒子径測定装置２は、４種類以外でもよく、１～３種類または５種類以上であってもよい。

【0104】

また、上記第１～第４実施形態では、粒子径表示システム１００（２００、３００、４００）が、複数の粒子径測定装置２を備える構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、１つの粒子径測定装置２を用いる場合でも、測定条件などが異なれば、得られる粒子径結果４の基準が異なることになり得る。得られる粒子径結果４の基準が異なる場合には、複数の粒子径結果４を同一画面上に表示する際に、粒子径結果４の規格化が必要となる。したがって、粒子径表示システム１００（２００、３００、４００）が、１つの粒子径測定装置２を備える構成であっても、本発明を適用することが可能である。

【0105】

また、上記第２実施形態では、制御部８がグラフ形式で表示された粒子径結果４から選択された粒子径分布１１が表示された第２表示領域１２を表示部３に表示させる構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、制御部３８は、図８（Ｂ）などに示すメニュー画面に、「相関図」の項目をさらに設け、図１７に示すような平均粒子径１０の相関図１６が表示された第２表示領域１２を表示部３に表示するように構成されていてもよい。図１７に示す例は、第１粒子径測定装置２ａ（ＳＥＭ）によって取得された粒子径結果４の平均粒子径１０と、第３粒子径測定装置２ｃ（ＤＬＳ）によって取得された粒子径結果４の平均粒子径１０との相関図１６を示している。図１７に示す相関図１６の横軸および縦軸は、それぞれ、平均粒子径（ｎｍ）である。また、図１７に示すように、制御部３８は、相関図１６に表示する平均粒子径１０の組み合わせを変更することが可能な組み合わせ変更部１７を表示部３に表示するように構成されていてもよい。組み合わせ変更部１７は、複数の変更部１７ａを含んでおり、操作者の操作によって、相関図１６に表示する組み合わせを変更するように構成されている。このように構成すれば、操作者が任意の組み合わせを選択することにより、相関図１６に平均粒子径１０の組み合わせを変更することができる。その結果、操作者の利便性を向上させることができる。なお、相関図１６に表示している線分１５ａは、第１粒子径測定装置２ａ（ＳＥＭ）によって取得された粒子径結果４の平均粒子径１０と、第３粒子径測定装置２ｃ（ＤＬＳ）によって取得された粒子径結果４の平均粒子径１０との相関の近似直線である。

【0106】

また、制御部３８は、図１７に示す相関図１６の平均粒子径１０のプロットを選択した場合に、図８（Ｂ）などに示すメニュー画面を表示し、「粒子径分布（相関図）」の項目をさらに設け、平均粒子径１０の相関図１６から、選択された２つの粒子径結果４を同一画面上に重ねて表示するように構成されていてもよい。具体的には、制御部３８は、図１７に示すような平均粒子径１０の相関図１６から、図１８に示すような粒子径結果４のグラフが表示された第２表示領域１２を表示部３に表示するように構成されていてもよい。このように構成すれば、平均粒子径１０の相関図１６と相関図１６に示した組み合わせの粒子径結果４とを一度に把握することができる。なお、図１７に示す例では、便宜上、粒子径測定装置の凡例Ｌ４に示すように粒子径結果４を測定した粒子径測定装置２の違いを、グラフの線の種類の違いによって表示している。具体的には、図１７に示す例では、第１粒子径測定装置２ａおよび、第３粒子径測定装置２ｃによって測定された粒子径結果４の各粒子径結果４を、それぞれ、実線Ｌ４ａおよび二点鎖線Ｌ４ｂで表示している。

【0107】

また、上記第２および第３実施形態では、制御部３８が、第３粒子径測定装置２ｃ（ＤＬＳ）によって測定された粒子径結果４を規格化した粒子径分布規格化結果１３が表示された第２表示領域１２を表示部３に表示する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、図１９（Ａ）に示すように、制御部３８は、第１粒子径測定装置２ａ（ＳＥＭ）、第２粒子径測定装置２ｂ（ＡＦＭ）および第４粒子径測定装置２ｄ（ＩＣＰ－ＭＳ）により測定された粒子径結果４を、体積基準（頻度（％））によって規格化した粒子径分布規格化結果１９を表示部３に表示するように構成されていてもよい。図１８（Ａ）に示す粒子径分布規格化結果１９は、横軸が粒子径（ｎｍ）であり、縦軸が頻度（％）である。なお、図１９（Ａ）では、便宜上、上記第２実施形態において図１１（Ｂ）で示した第１粒子径分布比較結果１４のグラフと同様に、各粒子径結果４を、グラフの線の種類の違いにより示している。具体的には、粒子径測定装置の凡例Ｌ５に示すように、第１粒子径測定装置２ａ～第４粒子径測定装置２ｄによって測定され粒子径結果４の各粒子径結果４を、それぞれ、実線Ｌ５ａ、破線Ｌ５ｂ、二点鎖線Ｌ５ｄおよび一点鎖線Ｌ５ｃで表示している。

【0108】

また、粒子径結果４を体積基準（頻度（％））によって規格化する場合、制御部３８は、粒子径結果４における各粒子径の粒子の計測個数を、計測された粒子の総数で除算することにより、規格化するように構成すればよい。図１９（Ｂ）に示す例は、第１粒子径測定装置２ａ（ＳＥＭ）によって測定された粒子径結果４を規格化する例である。図１９（Ｂ）の表２０に示すように、制御部３８は、各粒子径の粒子の計測個数を、計測された総数（たとえば、９３個）で除算することにより、規格化している。

【0109】

また、上記第１～第４実施形態では、粒子径表示装置１（粒子径表示装置２１および粒子径表示装置３１）は、被測定物Ｍを第１サンプルＭ１～第４サンプルＭ４に分級して測定された粒子径結果４を表示する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、粒子径表示装置１（粒子径表示装置２１および粒子径表示装置３１）は、４つ以上に分級したサンプルＭの粒子径結果４を表示するように構成されていてもよい。被測定物Ｍを分級する数は任意の数でよい。また、粒子径表示装置１（粒子径表示装置２１および粒子径表示装置３１）は、被測定物Ｍが分級されたものに限られず、複数の被測定物Ｍを測定して得られた粒子径結果４を表示するように構成されていてもよい。

【0110】

また、上記第２～第４実施形態では、制御部２８（３８、４８）が、平均粒子径１０のグラフのプロットが操作者によって選択された場合に、メニュー画面を表示する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、制御部３８（４８、５８）は、平均粒子径１０のグラフとともに、メニュー画面をあらかじめ表示部３に表示させるように構成されていてもよい。メニュー画面は、どのように表示部３に表示されてもよい。また、メニュー画面に表示する項目についても、任意の項目を表示すればよい。

【0111】

また、上記第１～第４実施形態では、制御部８（２８、３８、４８）が平均粒子径１０のグラフに表示するプロットの形状を異ならせることにより、粒子径測定装置２の種類を区別する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、制御部８（２８、３８、４８）は、平均粒子径１０のグラフに表示するプロットの形状は同一で、プロットの色を異ならせることにより、粒子径測定装置２の種類を区別するように構成されていてもよい。制御部８（２８、３８、４８）は、平均粒子径１０のグラフに表示されるプロットを区別することが可能であれば、平均粒子径１０のグラフに表示するプロットをどの様に表示してもよい。

【0112】

また、上記第３および第４実施形態では、制御部３８（４８）が、グラフの線の種類を異ならせることにより、粒子径結果４を区別する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、制御部３８（４８）は、グラフの線の色を異ならせることにより、粒子径結果４を区別するように構成されていてもよい。制御部３８（４８）は、粒子径結果４を区別することが可能であれば、粒子径結果４のグラフをどの様に表示してもよい。

【0113】

また、上記第１～第４実施形態では、粒子径表示システム１００（２００、３００、４００）が、粒子径表示装置１と、複数の粒子径測定装置２と、表示部３と、入力部Ｑとを備える構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、粒子径表示システム１００（２００、３００、４００）は、複数の粒子径測定装置２のいずれかに、粒子径表示装置１の機能を持たせた場合には、粒子径表示装置１を供えない構成であってもよい。また、粒子径表示装置１が入力部Ｑを備える構成の場合には、粒子径表示システム１００（２００、３００、４００）は、入力部Ｑを供えない構成であってもよい。

【0114】

また、上記第１～第４実施形態では、粒子径結果収集部７が粒子径結果４、平均粒子径１０、粒子径分布１１、第１粒子径分布規格化結果１３、第１粒子径分布比較結果１４、および第２粒子径分布比較結果１５を取得する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、粒子径結果収集部７は、粒子径結果４だけを取得するように構成されていてもよい。粒子径結果収集部７が粒子径結果４だけを取得する構成の場合、制御部８（２８、３８、４８）が、粒子径結果４を分析することにより、粒子径分布１１、第１粒子径分布規格化結果１３、第１粒子径分布比較結果１４、および第２粒子径分布比較結果１５を取得するように構成すればよい。

【0115】

また、上記第１実施形態では、選択領域５として、チェックボックス形式の第１選択部５０ａおよび第２選択部５０ｂを備える分析方法選択部５０を表示部３に表示する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。選択領域５に表示する分析方法選択部５０は、どのような形式であってもよい。

【0116】

また、上記第２～第４実施形態では、第１表示領域６および第２表示領域１２を表示部３に表示する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、選択領域５、第１表示領域６および第２表示領域１２を表示部３に表示するように構成されていてもよい。表示部３に表示する領域の組み合わせは任意でよい。

【0117】

また、上記１～第４実施形態では、複数の粒子径測定装置２が、第１サンプルＭ１、第２サンプルＭ２、第３サンプルＭ３、および、第４サンプルＭ４を、それぞれ分析して得られた粒子径結果４を、第１表示領域６に表示する構成の例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、複数の粒子径測定装置２は、短時間で分析が可能な分析方法（たとえば、ＤＬＳ）によって分析を行う場合には、第１サンプルＭ１、第２サンプルＭ２、第３サンプルＭ３、および、第４サンプルＭ４の全てを分析し、分析時間がかかる分析方法（たとえば、ＳＥＭ、ＡＦＭ、およびＩＣＰ－ＭＳ）によって分析を行う場合には、複数のサンプルＭを混合し、まとめて分析するように構成されていてもよい。複数のサンプルＭを混合してまとめて分析を行う場合、たとえば、第１サンプルＭ１と第２サンプルＭ２を混合した第５サンプルＭ５と、第３サンプルＭ３と第４サンプルＭ４とを混合した第６サンプルＭ６とをそれぞれ分析すればよい。なお、複数のサンプルＭを混合する場合、どの組み合わせでサンプルＭを混合してもよい。このように構成することにより、分析時間がかかる分析方法を用いる粒子径測定装置２において、複数のサンプルＭをまとめて測定することが可能となるので、分析時間を短縮することができる。

【0118】

また、粒子径測定装置２が複数のサンプルＭをまとめて測定する場合、複数のサンプルＭを混合してまとめて分析した粒子径結果４と、混合されたサンプルＭのうちのどちらかのサンプルＭを、分析時間が短い分析方法によって分析された粒子径結果４とを、第１表示領域６において同時に表示可能なように、サンプルＭの選択項目および分析方法の選択項目を、分析方法選択部５０に表示すればよい。

【符号の説明】

【0119】

１、２１、３１、４１ 粒子径表示装置
２、２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ 粒子径測定装置
３ 表示部
４、４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ 粒子径結果
５ 選択領域
６ 第１表示領域（表示領域）
７ 粒子径結果収集部
１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ 平均粒子径
１１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ 粒子径分布
１２ 第２表示領域
１３、１９ 粒子径分布規格化結果
１４ 第１粒子径分布比較結果
１５ 第２粒子径分布比較結果
１００、２００、３００、４００ 粒子径表示システム
Ｍ 被測定物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】