特許7104828エキシマ光源におけるスペックルの低減

発明の名称　エキシマ光源におけるスペックルの低減

出願人　サイマー　リミテッド　ライアビリティ　カンパニー　（識別番号 513192029）

　　　　特許公開件数ランキング 1367 位（15件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1438 位（12件）（共同出願を含む）

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 219 位（152件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 346 位（79件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7104828

公報発行日　2022年7月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7104828

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