特許7477652リソグラフィ装置用基板ホルダ及び基板ホルダの製造方法

発明の名称　リソグラフィ装置用基板ホルダ及び基板ホルダの製造方法

出願人　エーエスエムエル　ネザーランズ　ビー．ブイ．　（識別番号 504151804）

　　　　特許公開件数ランキング 226 位（142件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 338 位（77件）（共同出願を含む）

出願人　エーエスエムエル　ホールディング　エヌ．ブイ．　（識別番号 503195263）

　　　　特許公開件数ランキング 6922 位（2件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1301 位（15件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7477652

公報発行日　2024年5月1

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7477652

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