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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2024-09-20
(45)【発行日】2024-10-01
(54)【発明の名称】レーザ装置
(51)【国際特許分類】
H01S 5/02251 20210101AFI20240924BHJP
H01S 5/02253 20210101ALI20240924BHJP
H01S 5/02255 20210101ALI20240924BHJP
【ＦＩ】
H01S5/02251
H01S5/02253
H01S5/02255
【請求項の数】
11
(21)【出願番号】P 2021542710
(86)(22)【出願日】2020-08-12
(86)【国際出願番号】 JP2020030643
(87)【国際公開番号】W WO2021039386
(87)【国際公開日】2021-03-04
【審査請求日】2023-05-18
(31)【優先権主張番号】P 2019152824
(32)【優先日】2019-08-23
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】000005290
【氏名又は名称】古河電気工業株式会社
(73)【特許権者】
【識別番号】000226057
【氏名又は名称】日亜化学工業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110002147
【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】渋谷 哲
(72)【発明者】
【氏名】早水 尚樹
(72)【発明者】
【氏名】橋本 博
(72)【発明者】
【氏名】石毛 悠太
(72)【発明者】
【氏名】大島 宏文
(72)【発明者】
【氏名】大森 雅樹
【審査官】佐藤 美紗子
(56)【参考文献】
【文献】国際公開第２０１７／１２２７９２（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００７－１４２４３９（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１４／１９２９４４（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００８－０２６４６２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１５５７９１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１７－１２０７５３（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｓ ５／００ － ５／５０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
発光素子をそれぞれ有し第一方向に並んだ複数の発光ユニットと、前記第一方向に並んで位置され前記第一方向に対して傾斜した第二方向に延び前記発光ユニットをそれぞれ載置した複数の載置面と、当該複数の載置面の裏側で前記第一方向に延びた底面と、を有したベースと、
前記第一方向に並び前記載置面のそれぞれに載置され当該載置面に載置された前記発光ユニットからのレーザ光を前記第二方向に向かわせる複数の第一偏向部品と、
前記第一偏向部品のそれぞれで偏向されたレーザ光を一つの光ファイバに導く光学部品と、
を備え、
前記光学部品は、前記複数の第一偏向部品から前記第二方向へ進むレーザ光を前記第一方向へ向かわせる第二偏向部品を有した、レーザ装置。
【請求項2】
前記光学部品は、前記ベースに設けられた、請求項１に記載のレーザ装置。
【請求項3】
前記複数の第一偏向部品が前記第一方向に並ぶ複数の列が前記第一方向と直交する第三方向に間隔をあけて設けられた、請求項１または２に記載のレーザ装置。
【請求項4】
前記光学部品は、前記複数の列に含まれる第一列からの第一レーザ光と、偏波方向が当該第一レーザ光とは直交し前記複数の列に含まれる第二列からの第二レーザ光と、を偏波合成する偏波合成素子を有した、請求項３に記載のレーザ装置。
【請求項5】
前記第一方向に対する前記第二方向の仰角をθ、前記第一偏向部品のそれぞれから前記第二方向へ進むレーザ光のビーム径をｄ、前記複数の第一偏向部品の前記第一方向における設置間隔をＬ、としたとき、ｄ＜Ｌ・ｓｉｎθを満たす、請求項１～４のうちいずれか一つに記載のレーザ装置。
【請求項6】
前記載置面上に突出し、前記第一偏向部品を支持する第一支持部材を備えた、請求項１～５のうちいずれか一つに記載のレーザ装置。
【請求項7】
前記ベースの表面上に突出し、前記光学部品を支持する第二支持部材を備えた、請求項１～６のうちいずれか一つに記載のレーザ装置。
【請求項8】
前記発光ユニットは、前記発光素子を収容したケースを有した、請求項１～７のうちいずれか一つに記載のレーザ装置。
【請求項9】
前記ケースは、前記発光素子を当該ケース内に気密封止した、請求項８に記載のレーザ装置。
【請求項10】
発光素子をそれぞれ含み第一方向に並んだ複数の発光ユニットと、前記第一方向に並んで位置され前記第一方向に対して傾斜した第二方向に延び前記発光ユニットをそれぞれ載置した複数の載置面と、当該複数の載置面の裏側の部位を含み前記第一方向に延びた底面と、当該底面のうち前記複数の載置面の裏側の部位と当該複数の載置面とを有し前記第一方向に延びた板状部位と、前記底面のうち前記複数の載置面の裏側の部位とは外れた部位と前記第二方向に延びた頂面とを有し前記第一方向および前記第二方向と交差した第三方向に延びた三角柱状の柱状部位と、を有したベースと、
前記複数の発光ユニットからのレーザ光を一つの光ファイバに導く光学部品と、
を備えた、レーザ装置。
【請求項11】
前記光学部品は、前記ベースに設けられた、請求項１０に記載のレーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、レーザ装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、ベースに階段状の載置面が設けられ、当該載置面のそれぞれに載置された発光素子からのレーザ光を、載置面のそれぞれに載置されたミラーによって当該載置面に沿う方向に反射することにより、レーザ光を空間的に多重化し、当該多重化されたレーザ光を結合するレーザ装置が、知られている（例えば、特許文献１）。
【0003】
また、従来、板状のベースに平面状の載置面が設けられ、当該載置面上に列をなすように載置された発光素子からのレーザ光を、発光素子のそれぞれに対応して載置面上に載置されたミラーによって斜め上方に同じ角度で仰ぐように反射することにより、レーザ光を空間的に多重化し、当該多重化されたレーザ光を結合するレーザ装置が、知られている（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0004】
【文献】国際公開第２０１７／１２２７９２号明細書
【文献】米国特許出願公開第２０１８／００３１８５０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
この種のレーザ装置において、発光素子が生じる熱は、ベースにおいて、載置面から当該載置面とは反対側の底面へ伝達され、当該底面から放熱される。これにより、発光素子の温度上昇が抑制されている。
【0006】
しかしながら、上記特許文献１のレーザ装置では、階段状の複数の載置面と底面とが平行であるため、階段の上に向かうほどベースが厚くなってしまい、当該階段の上に位置する発光素子に対しては、当該ベースによる放熱効果が低下する虞がある。
【0007】
この点、上記特許文献２のレーザ装置では、ベースの厚さは略一定であるため、複数の発光素子に対するベースによる放熱効果は、略一定である。
【0008】
しかしながら、特許文献２のレーザ装置では、平面状の載置面上に載置されたミラーが、発光素子からのレーザ光を、載置面に対して斜め上方に進相軸仰ぐように反射する構成であるため、載置面に対するミラーの設置角度が、発光素子からのレーザ光の反射角度に加えて、載置面に対するレーザ光の仰角にも影響を及ぼすことになる。このため、載置面に対するミラーの設置角度の調整が難しく、複数のレーザ光を精度良く結合し難くなる虞があった。また、ミラーが、載置面に対して傾いた状態で設置されるため、ミラーの姿勢が不安定になり、ひいては複数のレーザ光を精度良く結合し難くなる虞があった。
【0009】
そこで、本開示の課題の一つは、例えば、発光素子の温度上昇をより抑制しやすく、かつ複数のレーザ光をより精度良く結合しやすいレーザ装置を得ること、である。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明のレーザ装置は、例えば、発光素子をそれぞれ有し第一方向に並んだ複数の発光ユニットと、前記第一方向に並んで位置され前記第一方向に対して傾斜した第二方向に延び前記発光ユニットをそれぞれ載置した複数の載置面と、当該複数の載置面の裏側で前記第一方向に延びた底面と、を有したベースと、前記第一方向に並び前記載置面のそれぞれに載置され当該載置面に載置された前記発光ユニットからのレーザ光を前記第二方向に向かわせる複数の第一偏向部品と、前記第一偏向部品のそれぞれで偏向されたレーザ光を一つの光ファイバに導く光学部品と、を備える。
【0011】
また、前記レーザ装置では、例えば、前記光学部品は、前記ベースに設けられる。
【0012】
また、前記レーザ装置では、例えば、前記複数の第一偏向部品が前記第一方向に並ぶ複数の列が前記第一方向と直交する方向に間隔をあけて設けられる。
【0013】
また、前記レーザ装置では、例えば、前記光学部品は、前記複数の列に含まれる第一列からの第一レーザ光と、偏波方向が当該第一レーザ光とは直交し前記複数の列に含まれる第二列からの第二レーザ光と、を偏波合成する偏波合成素子を有する。
【0014】
また、前記レーザ装置では、例えば、前記光学部品は、前記複数の第一偏向部品から前記第二方向へ進むレーザ光を前記第一方向へ向かわせる第二偏向部品を有する。
【0015】
また、前記レーザ装置では、例えば、前記ベースは、前記複数の載置面と前記底面とを有し前記第一方向に延びた第一部位と、前記光ファイバを支持し前記第二方向に延びた第二部位と、を有する。
【0016】
また、前記レーザ装置では、例えば、前記第一方向に対する前記第二方向の仰角をθ、前記第一偏向部品のそれぞれから前記第二方向へ進むレーザ光のビーム径をｄ、前記複数の第一偏向部品の前記第一方向における設置間隔をＬ、としたとき、ｄ＜Ｌ・ｓｉｎθを満たす。
【0017】
また、前記レーザ装置は、例えば、前記載置面上に突出し、前記第一偏向部品を支持する支持部材を備える。
【0018】
また、前記レーザ装置は、例えば、前記ベースの表面上に突出し、前記光学部品を支持する第二支持部材を備える。
【0019】
また、前記レーザ装置では、例えば、前記発光ユニットは、前記発光素子を収容したケースを有する。
【0020】
また、前記レーザ装置では、例えば、前記ケースは、前記発光素子を当該ケース内に気密封止する。
【0021】
また、本発明のレーザ装置は、例えば、発光素子をそれぞれ含み第一方向に並んだ複数の発光ユニットと、前記第一方向に並んで位置され前記第一方向に対して傾斜した第二方向に延び前記発光ユニットをそれぞれ載置した複数の載置面を有し、前記第一方向に延びた板状のベースと、前記複数の発光ユニットからのレーザ光を一つの光ファイバに導く光学部品と、を備える。
【0022】
また、前記レーザ装置では、例えば、前記光学部品は、前記ベースに設けられる。
【発明の効果】
【0023】
上記本発明のレーザ装置によれば、例えば、ベースの複数の載置面が第一方向に並ぶとともに、ベースの底面が第一方向に延びるため、ベースから、発光素子の放熱性能に影響を及ぼすような厚い部位を無くすことができる。また、載置面が、第一方向に対して傾斜した第二方向に延びているため、第一偏向部品を載置面上に載置することにより、当該第一偏向部品を所望の姿勢（角度）に、より容易にあるいはより精度良く設置することができ、ひいては、複数のレーザ光をより精度良く結合することができる。
【図面の簡単な説明】
【0024】
【発明を実施するための形態】
【0025】
以下、本発明の例示的な実施形態が開示される。以下に示される実施形態の構成、ならびに当該構成によってもたらされる作用および結果（効果）は、一例である。本発明は、以下の実施形態に開示される構成以外によっても実現可能である。また、本発明によれば、構成によって得られる種々の効果（派生的な効果も含む）のうち少なくとも一つを得ることが可能である。
【0026】
以下に示される複数の実施形態および変形例は、同様の構成を備えている。よって、各実施形態および変形例の構成によれば、当該同様の構成に基づく同様の作用および効果が得られる。また、以下では、それら同様の構成には同様の符号が付与されるとともに、重複する説明が省略される場合がある。
【0027】
本明細書において、序数は、部品や部位等を区別するために便宜上付与されており、優先順位や順番を示すものではない。
【0028】
また、各図において、第一方向を矢印Ｘ１で表し、第二方向を矢印Ｘ２で表し、第三方向を矢印Ｙ３で表し、第四方向を矢印Ｚ４で表す。第一方向Ｘ１と、第三方向Ｙ３と、第四方向Ｚ４とは、互いに直交している。また、第二方向Ｘ２と、第三方向Ｙ３とは、互いに直交している。
【0029】
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態の半導体レーザモジュール１０Ａの斜視図、図２は、半導体レーザモジュール１０Ａの側面図である。図１，２に示されるように、半導体レーザモジュール１０Ａは、ベース１００Ａと、複数の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５と、複数の第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５と、複数のミラー３００－１～３００－１５と、複数の光学部品４００と、光ファイバ５００を支持する支持部材１３０と、を備えている。なお、本実施形態では、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５、およびミラー３００－１～３００－１５の数は、一例として１５であるが、これには限定されず、１５より多くても少なくてもよい。半導体レーザモジュール１０Ａは、レーザ装置の一例である。
図１は、第１実施形態の半導体レーザモジュール１０Ａの斜視図、図２は、半導体レーザモジュール１０Ａの側面図である。図１，２に示されるように、半導体レーザモジュール１０Ａは、ベース１００Ａと、複数の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５と、複数の第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５と、複数のミラー３００－１～３００－１５と、複数の光学部品４００と、光ファイバ５００を支持する支持部材１３０と、を備えている。なお、本実施形態では、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５、およびミラー３００－１～３００－１５の数は、一例として１５であるが、これには限定されず、１５より多くても少なくてもよい。半導体レーザモジュール１０Ａは、レーザ装置の一例である。
【0030】
［ベース］
ベース１００Ａは、第一方向Ｘ１に延びた板状の第一部位１１０Ａと、第三方向Ｙ３に延びた三角柱状の第二部位１２０Ａと、を有している。第二部位１２０Ａは、第二方向Ｘ２に延びた第二頂面１２２を有している。第二方向Ｘ２は、第一方向Ｘ１と第四方向Ｚ４との間の方向である。
ベース１００Ａは、第一方向Ｘ１に延びた板状の第一部位１１０Ａと、第三方向Ｙ３に延びた三角柱状の第二部位１２０Ａと、を有している。第二部位１２０Ａは、第二方向Ｘ２に延びた第二頂面１２２を有している。第二方向Ｘ２は、第一方向Ｘ１と第四方向Ｚ４との間の方向である。
【0031】
第一部位１１０Ａは、第一方向Ｘ１および第三方向Ｙ３に延びた板状の壁１１１を有している。壁１１１（第一部位１１０Ａ）は、例えば無酸素銅のような、熱伝導率が比較的大きい金属材料で作られている。なお、本実施形態では、壁１１１の第一方向Ｘ１の長さは、壁１１１の第三方向Ｙ３の長さよりも長い。よって、第一方向Ｘ１は、長手方向あるいは縦方向とも称され、第三方向Ｙ３は、短手方向あるいは幅方向とも称されうる。また、第四方向Ｚ４は、厚さ方向あるいは高さ方向とも称されうる。
【0032】
第一部位１１０Ａは、壁１１１の第四方向Ｚ４の一端（図２では上端）に位置される第一頂面１１２および複数の載置面１１３－１～１１３－１５と、壁１１１の第四方向Ｚ４の他端（図２では下端）における第一底面１１４と、を有している。載置面１１３－１～１１３－１５は、第一載置面とも称されうる。
【0033】
複数の載置面１１３－１～１１３－１５は、第一部位１１０Ａの第一方向Ｘ１の中央部１００ａと、第一方向Ｘ１の後方の端部１００ｂ（図１，２では右側の端部）との間に、設けられている。また、複数の載置面１１３－１～１１３－１５は、第一部位１１０Ａの第三方向Ｙ３の中央部において、第一方向Ｘ１に一定のピッチ（インタバル）で並んでいる。載置面１１３－１～１１３－１５は、それぞれ、第二方向Ｘ２に延びるとともに第三方向Ｙ３に延びている。載置面１１３－１～１１３－１５は、四角形状の形状を有しており、本実施形態では、一例として、第三方向Ｙ３の長さが第二方向Ｘ２の長さよりも長い長方形状の形状を有している。図２に示されるように、第二方向Ｘ２の第一方向Ｘ１に対する仰角の大きさはθである。複数の載置面１１３－１～１１３－１５は、互いに平行である。複数の載置面１１３－１～１１３－１５は、階段状の構造を形成している。載置面１１３－１～１１３－１５は、階段面や、実装面、設置面とも称されうる。
【0034】
第一頂面１１２は、第一方向Ｘ１および第三方向Ｙ３に延びている。第一頂面１１２は、ベース１００Ａの中央部１００ａと端部１００ｂとの間においては、複数の載置面１１３－１～１１３－１５の周囲を取り囲むように設けられている。なお、第一頂面１１２は、表面とも称されうる。
【0035】
第一底面１１４は、第一方向Ｘ１および第三方向Ｙ３に延びている。第一底面１１４は、ベース１００Ａの中央部１００ａと端部１００ｂとの間においては、複数の載置面１１３－１～１１３－１５の裏（反対側）に位置されている。第一底面１１４は、四角形状の形状を有しており、本実施形態では、一例として、第一方向Ｘ１の長さが第三方向Ｙ３の長さよりも長い長方形状の形状を有している。第一底面１１４は、底面の一例である。
【0036】
第二部位１２０Ａは、第一部位１１０Ａの第一方向Ｘ１の中央部１００ａと第一部位１１０Ａの第一方向Ｘ１の前方の端部１００ｃ（図１，２では左側の端部）との間の部位に対して、第四方向Ｚ４に隣接して、設けられている。第二部位１２０Ａは、第二頂面１２２と、第二底面１２３と、を有している。第二頂面１２２は、第二方向Ｘ２および第三方向Ｙ３に延びている。第二底面１２３は、第一方向Ｘ１および第三方向Ｙ３に延びている。第二底面１２３は、第一部位１１０Ａの第一頂面１１２と接している。第一部位１１０Ａと第二部位１２０Ａとは、例えば、ねじのような固定具や、接着剤によって、結合されうる。第二部位１２０Ａは、例えば、合成樹脂材料や金属材料で作られうる。第二部位１２０Ａは、例えば、熱伝導率が第一部位１１０Ａの熱伝導率より低い材料で作られてもよいし、比重が第一部位１１０Ａの比重よりも軽い材料で作られてもよい。なお、第二部位１２０Ａの、第二頂面１２２と第二底面１２３との間には、中空部や、開口、凹部等（不図示）が設けられてもよい。また、第二部位１２０Ａは、第一部位１１０Ａと一体であってもよい。
【0037】
［発光ユニット、コリメートレンズ、およびミラー］
図１に示されるように、複数の載置面１１３－１～１１３－１５のそれぞれには、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５、およびミラー３００－１～３００－１５が、一つずつ、実装されている。発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５、およびミラー３００－１～３００－１５は、載置面１１３－１～１１３－１５上に、例えば、接着剤を介して取り付けられている。
図１に示されるように、複数の載置面１１３－１～１１３－１５のそれぞれには、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５、およびミラー３００－１～３００－１５が、一つずつ、実装されている。発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５、およびミラー３００－１～３００－１５は、載置面１１３－１～１１３－１５上に、例えば、接着剤を介して取り付けられている。
【0038】
図３は、載置面１１３－１、発光ユニット２００Ａ－１、第二コリメートレンズ２１０－１、およびミラー３００－１が拡大された斜視図であり、図４は、載置面１１３－１５、発光ユニット２００Ａ－１５、第二コリメートレンズ２１０－１５、ミラー３００－１５、およびシリンドリカルレンズ４１１が拡大された、第四方向Ｚ４の反対方向に見た平面図である。載置面１１３－１～１１３－１５、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５、およびミラー３００－１～３００－１５は、いずれも添え字毎に、図３，４と同じスペック（形状、配置等）を有している。すなわち、符号の添え字は、同じ添え字の載置面１１３－１～１１３－１５上に載置されていることを意味する。
【0039】
図１～４に示されるように、載置面１１３－１～１１３－１５のそれぞれにおいて、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５、およびミラー３００－１～３００－１５が、第三方向Ｙ３に並んでいる。第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５は、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５と、ミラー３００－１～３００－１５との間に位置されている。
【0040】
また、図１に示されるように、複数の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５は、第一方向Ｘ１に等間隔で並び、複数の第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５は、第一方向Ｘ１に等間隔で並び、複数のミラー３００－１～３００－１５は、第一方向Ｘ１に等間隔で並んでいる。
【0041】
図３，４に一例が示されるように、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５は、サブマウント２０３－１～２０３－１５と、当該サブマウント２０３－１～２０３－１５の頂面上に実装された発光素子２０４－１～２０４－１５と、を有している。第一コリメートレンズ２０２－１～２０２－１５は、サブマウント２０３－１～２０３－１５の第三方向Ｙ３の端部に位置する側面上に実装されている。
【0042】
サブマウント２０３－１～２０３－１５は、例えば、扁平な直方体状の形状を有している。また、サブマウント２０３－１～２０３－１５は、例えば、窒化アルミニウム（ＡＩＮ）や、セラミック、ガラスのような、熱伝導率が比較的大きい絶縁材料で作られうる。
【0043】
発光素子２０４－１～２０４－１５は、例えば、半導体レーザ素子であり、サブマウント２０３－１～２０３－１５上で、第三方向Ｙ３に向けてレーザ光を出射する。発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５は、発光素子２０４－１～２０４－１５の進相軸（ＦＡ）が、第二方向Ｘ２および第三方向Ｙ３と直交する方向、言い換えると載置面１１３－１～１１３－１５と直交する方向に沿い、かつ遅相軸（ＳＡ）が、第二方向Ｘ２に沿うように、実装される。
【0044】
第一コリメートレンズ２０２－１～２０２－１５は、例えば、シリンドリカルレンズであり、発光素子２０４－１～２０４－１５から出射されたレーザ光を、第一軸においてコリメートする。すなわち、発光素子２０４－１～２０４－１５から出射され第一コリメートレンズ２０２－１～２０２－１５を通ったレーザ光、言い換えると、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５から出射された進相軸においてコリメートされているレーザ光は、第三方向Ｙ３に向けて、進相軸と直交する面に沿って進む。
【0045】
第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５は、例えば、シリンドリカルレンズであり、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５からの、すなわち第一コリメートレンズ２０２－１～２０２－１５からのレーザ光を、遅相軸においてコリメートする。すなわち、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５を通ったレーザ光、言い換えると、進相軸および遅相軸においてコリメートされたレーザ光は、第三方向Ｙ３に進む。
【0046】
ミラー３００－１～３００－１５は、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５からの第三方向Ｙ３の光を第二方向Ｘ２に反射する。言い換えると、ミラー３００－１～３００－１５は、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５からの第三方向Ｙ３の光を、第二方向Ｘ２に向かわせる。このような構成において、発光素子２０４－１～２０４－１５から出射され、第一コリメートレンズ２０２－１～２０２－１５、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５、およびミラー３００－１～３００－１５を経由する間、レーザ光は、載置面１１３－１～１１３－１５と平行に進む。ミラー３００－１～３００－１５は、第一偏向部品の一例であり、光学部品の一例でもある。なお、第一偏向部品は、例えばプリズムのような、ミラー３００－１～３００－１５とは異なる光学部品であってもよい。
【0047】
図２中に破線で示されるに示されるように、複数のミラー３００－１～３００－１５で反射された（偏向された）複数のレーザ光は、互いに平行に、第二方向Ｘ２に向かう。複数のミラー３００－１～３００－１５で反射された（偏向された）複数のレーザ光は、第四方向Ｚ４に並んでいる。
【0048】
［光学部品］
シリンドリカルレンズ４１１は、全てのミラー３００－１～３００－１５から第二方向Ｘ２に離間し、シリンドリカルレンズ４１２は、シリンドリカルレンズ４１１から第二方向Ｘ２に離間し、光ファイバ５００の端部５００ａは、シリンドリカルレンズ４１２から第二方向Ｘ２に離間している。シリンドリカルレンズ４１１およびシリンドリカルレンズ４１２は、複数のミラー３００－１～３００－１５からの複数のレーザ光を、光ファイバ５００の端部５００ａに結合する。言い換えると、シリンドリカルレンズ４１１，４１２は、ミラー３００－１～３００－１５からの第二方向Ｘ２へ向かう光を、光ファイバ５００の端部５００ａに導いている。シリンドリカルレンズ４１１，４１２は、例えば、集光素子とも称され、光学部品４００の一例である。なお、光学部品４００は、シリンドリカルレンズ４１１，４１２とは異なる光学部品４００であってもよいし、光学部品４００は、例えば光学フィルタのようなシリンドリカルレンズ４１１，４１２とは別の光学部品４００を含んでもよい。
シリンドリカルレンズ４１１は、全てのミラー３００－１～３００－１５から第二方向Ｘ２に離間し、シリンドリカルレンズ４１２は、シリンドリカルレンズ４１１から第二方向Ｘ２に離間し、光ファイバ５００の端部５００ａは、シリンドリカルレンズ４１２から第二方向Ｘ２に離間している。シリンドリカルレンズ４１１およびシリンドリカルレンズ４１２は、複数のミラー３００－１～３００－１５からの複数のレーザ光を、光ファイバ５００の端部５００ａに結合する。言い換えると、シリンドリカルレンズ４１１，４１２は、ミラー３００－１～３００－１５からの第二方向Ｘ２へ向かう光を、光ファイバ５００の端部５００ａに導いている。シリンドリカルレンズ４１１，４１２は、例えば、集光素子とも称され、光学部品４００の一例である。なお、光学部品４００は、シリンドリカルレンズ４１１，４１２とは異なる光学部品４００であってもよいし、光学部品４００は、例えば光学フィルタのようなシリンドリカルレンズ４１１，４１２とは別の光学部品４００を含んでもよい。
【0049】
シリンドリカルレンズ４１１は、第二頂面１２２上に突出した支持部材１４１と隣接して設けられている。支持部材１４１は、例えば、第二部位１２０Ａ（ベース１００Ａ）に設けられ第二頂面１２２に開口した穴に圧入されることにより、第二部位１２０Ａに取り付けられている。シリンドリカルレンズ４１１は、支持部材１４１によって位置決めされてもよいし、支持部材１４１に接着等により取り付けられてもよい。支持部材１４１は、第二支持部材の一例であり、第二位置決め部材とも称されうる。第二頂面１２２は、表面の一例である。
【0050】
シリンドリカルレンズ４１２および光ファイバ５００は、支持部材１３０に取り付けられ、支持部材１３０およびシリンドリカルレンズ４１１は、第二部位１２０Ａの第二頂面１２２上に、取り付けられている。よって、シリンドリカルレンズ４１１，４１２は、光ファイバ５００の端部５００ａに、より精度良くレーザ光を結合することができる。第二頂面１２２は、第二載置面とも称されうる。
【0051】
［ベースの製造方法］
図５は、ベース１００Ａの第一部位１１０Ａの側面図である。工作機械（不図示）により第一部位１１０Ａに載置面１１３－１～１１３－１５を加工するにあたっては、第一底面１１４が加工された厚めの板状の素材Ｍ（二点鎖線）が、載置面１１３－１～１１３－１５が工作機械による加工方向（切削方向、研磨方向、図５の左右方向）に沿うよう、第一底面１１４が当該加工方向に対して角度θだけ傾斜した姿勢で当該機械にセットされた状態で、当該機械により、複数の載置面１１３－１～１１３－１５を階段状に加工すればよい。これにより、工作機械は、第一方向Ｘ１に対して角度θだけ傾斜した第二方向Ｘ２に延びる複数の載置面１１３－１～１１３－１５を、より容易にあるいはより精度良く、加工することができる。
図５は、ベース１００Ａの第一部位１１０Ａの側面図である。工作機械（不図示）により第一部位１１０Ａに載置面１１３－１～１１３－１５を加工するにあたっては、第一底面１１４が加工された厚めの板状の素材Ｍ（二点鎖線）が、載置面１１３－１～１１３－１５が工作機械による加工方向（切削方向、研磨方向、図５の左右方向）に沿うよう、第一底面１１４が当該加工方向に対して角度θだけ傾斜した姿勢で当該機械にセットされた状態で、当該機械により、複数の載置面１１３－１～１１３－１５を階段状に加工すればよい。これにより、工作機械は、第一方向Ｘ１に対して角度θだけ傾斜した第二方向Ｘ２に延びる複数の載置面１１３－１～１１３－１５を、より容易にあるいはより精度良く、加工することができる。
【0052】
［仰角および設置間隔の設定］
図６は、載置面１１３－１，１１３－２とミラー３００－１，３００－２とを示す側面図である。ミラー３００－１，３００－２によって偏向されたレーザ光Ｂのビーム径をｄとすると、隣接する二つのレーザ光Ｂが互いに干渉しないための条件、すなわち、隣接する二つのレーザ光Ｂ間に隙間Ｇがある、すなわち隙間Ｇが０より大きいための条件は、第一方向Ｘ１に対する第二方向Ｘ２の仰角をθ、二つのレーザ光Ｂの光軸間の距離をＤ、ミラー３００－１～３００－１５から第二方向Ｘ２へ進むレーザ光Ｂのビーム径をｄ、ミラー３００－１～３００－１５の第一方向Ｘ１における設置間隔をＬ、とすると、Ｇ＝Ｄ－２・０．５ｄ＞０、Ｄ＝Ｌ・ｓｉｎθであるから、ｄ＜Ｌ・ｓｉｎθとなる。
図６は、載置面１１３－１，１１３－２とミラー３００－１，３００－２とを示す側面図である。ミラー３００－１，３００－２によって偏向されたレーザ光Ｂのビーム径をｄとすると、隣接する二つのレーザ光Ｂが互いに干渉しないための条件、すなわち、隣接する二つのレーザ光Ｂ間に隙間Ｇがある、すなわち隙間Ｇが０より大きいための条件は、第一方向Ｘ１に対する第二方向Ｘ２の仰角をθ、二つのレーザ光Ｂの光軸間の距離をＤ、ミラー３００－１～３００－１５から第二方向Ｘ２へ進むレーザ光Ｂのビーム径をｄ、ミラー３００－１～３００－１５の第一方向Ｘ１における設置間隔をＬ、とすると、Ｇ＝Ｄ－２・０．５ｄ＞０、Ｄ＝Ｌ・ｓｉｎθであるから、ｄ＜Ｌ・ｓｉｎθとなる。
【0053】
以上、説明したように、第１実施形態の半導体レーザモジュール１０Ａ（レーザ装置）は、複数の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５と、ベース１００Ａと、複数のミラー３００－１～３００－１５（第一偏向部品）と、光学部品４００と、を備える。複数の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５は、それぞれ、発光素子２０４－１～２０４－１５を有し第一方向Ｘ１に並ぶ。ベース１００Ａは、第一方向Ｘ１に並んで位置され第一方向Ｘ１に対して傾斜した第二方向Ｘ２に延び発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５をそれぞれ載置した複数の載置面１１３－１～１１３－１５と、当該複数の載置面１１３－１～１１３－１５の裏側で第一方向Ｘ１に延びた第一底面１１４（底面）と、を有する。言い換えると、ベース１００Ａは、第一方向Ｘ１に延びた板状の形状を有するとともに、複数の載置面１１３－１～１１３－１５を有する。複数のミラー３００－１～３００－１５は、第一方向Ｘ１に並び載置面１１３－１～１１３－１５のそれぞれに載置され当該載置面１１３－１～１１３－１５に載置された発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５からのレーザ光を、第二方向Ｘ２に向かわせる。光学部品４００（４１１，４１２）は、ベース１００Ａに設けられミラー３００－１～３００－１５のそれぞれで反射された（偏向された）レーザ光を一つの光ファイバ５００に導く。
【0054】
このような構成によれば、例えば、ベース１００Ａにおいて発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５が載置される部位の厚さをより薄くすることができるため、当該ベース１００Ａを介しての放熱性能をより高めることができる。また、ミラー３００－１～３００－１５を、第二方向Ｘ２に延びる載置面１１３－１～１１３－１５上に載置することができるため、第一方向Ｘ１に延びる面上にミラーを傾けて載置する構成に比べて、ミラー３００－１～３００－１５をより精度良くあるいはより容易に設置することができ、ひいては、複数のレーザ光をより精度良く結合することができる。
【0055】
また、第１実施形態の半導体レーザモジュール１０Ａ（レーザ装置）では、第一方向Ｘ１に対する第二方向Ｘ２の仰角をθ、ミラー３００－１～３００－１５（第一偏向部品）のそれぞれから第二方向Ｘ２へ進むレーザ光Ｂのビーム径をｄ、複数のミラー３００－１～３００－１５の第一方向Ｘ１における設置間隔をＬ、としたとき、ｄ＜Ｌ・ｓｉｎθを満たす。
【0056】
このような構成によれば、例えば、レーザ光Ｂのビーム径ｄに応じて適切な角度θ（仰角）および設置間隔Ｌを設定することにより、半導体レーザモジュール１０Ａを、隣接する二つのレーザ光同士が干渉しないよう、構成することができる。また、本実施形態によれば、ミラー３００－１～３００－１５を載置面１１３－１～１１３－１５上により精度良く設置することができるため、二つのレーザ光Ｂ間に隙間Ｇをより小さく設定することができ、ひいては、二つのレーザ光Ｂの光軸間の距離Ｄ、さらにはミラー３００－１～３００－１５の第一方向Ｘ１における設置間隔Ｌをより小さく設定することができる。これにより、半導体レーザモジュール１０Ａを、第一方向Ｘ１によりコンパクトに構成することができる。
【0057】
また、第１実施形態の半導体レーザモジュール１０Ａ（レーザ装置）は、第二頂面１２２（表面）上に突出し、シリンドリカルレンズ４１１（光学部品）を支持する支持部材１４１（第二支持部材）を備えている。
【0058】
このような構成によれば、支持部材１４１により、シリンドリカルレンズ４１１の倒れや位置ずれを抑制することができる。また、シリンドリカルレンズ４１１を支持部材１４１にも接着等により取り付けることで、シリンドリカルレンズ４１１をより強固にあるいはより安定的に第二頂面１２２上に固定することができる。
【0059】
［第２実施形態］
図７は、第２実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｂの斜視図、図８は、半導体レーザモジュール１０Ｂの側面図、図９は、半導体レーザモジュール１０Ｂの一部を拡大した斜視図である。図７と図１とを比較すれば明らかとなるように、本実施形態のベース１００Ｂは、上記第１実施形態のベース１００Ａとは異なる構成を有している。具体的には、第二部位１２０Ｂの構成が、上記第１実施形態の第二部位１２０Ａの構成とは相違している。なお、ベース１００Ｂの中央部１００ａと端部１００ｂとの間における第一部位１１０Ｂの構成は、上記第１実施形態の第一部位１１０Ａの構成と同様である。
図７は、第２実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｂの斜視図、図８は、半導体レーザモジュール１０Ｂの側面図、図９は、半導体レーザモジュール１０Ｂの一部を拡大した斜視図である。図７と図１とを比較すれば明らかとなるように、本実施形態のベース１００Ｂは、上記第１実施形態のベース１００Ａとは異なる構成を有している。具体的には、第二部位１２０Ｂの構成が、上記第１実施形態の第二部位１２０Ａの構成とは相違している。なお、ベース１００Ｂの中央部１００ａと端部１００ｂとの間における第一部位１１０Ｂの構成は、上記第１実施形態の第一部位１１０Ａの構成と同様である。
【0060】
図７，８に示されるように、ベース１００Ｂの第二部位１２０Ｂは、ベース１００Ｂの中央部１００ａと端部１００ｃとの間において、第二方向Ｘ２および第三方向Ｙ３に延びた板状の壁１２１を有している。すなわち、第二部位１２０Ｂは、壁１２１の厚さ方向の一端（図８では上端）に位置される第二頂面１２２と、壁１２１の厚さ方向の他端（図８では下端）における第二底面１２３と、を有している。第二頂面１２２および第二底面１２３は、互いに平行であり、第二方向Ｘ２および第三方向Ｙ３に延びている。ベース１００Ｂは、図８に示されるような第三方向Ｙ３とは反対側に見た側面視において、中央部１００ａで折れ曲がったＶ字状の外観を呈している。
【0061】
シリンドリカルレンズ４１１，４１２および光ファイバ５００の支持部材１３０は、第１実施形態と同様に、第二頂面１２２上に載置されている。
【0062】
壁１２１（第二部位１２０Ｂ）は、一つの素材から加工されるなどにより、壁１１１（第一部位１１０Ｂ）と一体に作られてもよいし、壁１１１とは別に作られて当該壁１１１と結合されてもよい。第一部位１１０Ｂと第二部位１２０Ｂとが互いに結合される場合、第二部位１２０Ｂは、例えば、合成樹脂材料や金属材料で作られうる。また、その場合、当該第二部位１２０Ｂは、例えば、熱伝導率が第一部位１１０Ｂの熱伝導率より低い材料で作られてもよいし、比重が第一部位１１０Ｂの比重よりも軽い材料で作られてもよい。第一部位１１０Ｂと第二部位１２０Ｂとが一体に作られる場合、それら第一部位１１０Ｂおよび第二部位１２０Ｂ、すなわちベース１００Ｂは、例えば無酸素銅のような、熱伝導率が比較的大きい金属材料で作られる。
【0063】
図９は、発光ユニット２００Ｂ－１、第二コリメートレンズ２１０－１、およびミラー３００－１の斜視図である。載置面１１３－１～１１３－１５、発光ユニット２００Ｂ－１～２００Ｂ－１５、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５、およびミラー３００－１～３００－１５は、いずれも添え字毎に、図９と同じスペック（形状、配置等）を有している。
【0064】
図９に一例が示されるように、発光ユニット２００Ｂ－１～２００Ｂ－１５は、ケース２０１－１～２０１－１５と、当該ケース２０１－１～２０１－１５内に収容された発光素子２０４－１～２０４－１５と、ケース２０１－１～２０１－１５から露出した第一コリメートレンズ２０２－１～２０２－１５と、を有している。発光ユニット２００Ｂ－１～２００Ｂ－１５は、ケース２０１－１～２０１－１５内に収容されたサブマウント（不図示）上に実装されている。発光ユニット２００Ｂ－１～２００Ｂ－１５およびサブマウントは、気密封止されたケース２０１－１～２０１－１５内に収容されている。ケース２０１－１～２０１－１５は、ハウジングとも称されうる。
【0065】
発光素子２０４－１～２０４－１５は、例えば、半導体レーザ素子であり、ケース２０１－１～２０１－１５内で、第三方向Ｙ３に向けてレーザ光を出射する。発光ユニット２００Ｂ－１～２００Ｂ－１５は、発光素子２０４－１～２０４－１５の進相軸（ＦＢ）が、第二方向Ｘ２および第三方向Ｙ３と直交する方向、言い換えると載置面１１３－１～１１３－１５と直交する方向に沿い、かつ遅相軸（ＳＢ）が、第二方向Ｘ２に沿うように、実装される。また、ケース２０１－１～２０１－１５からは、第三方向Ｙ３と反対方向に、発光素子２０４－１～２０４－１５に駆動電流を供給するリード２０５が突出している。なお、第２実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｂは、上記第１実施形態の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５を備えてもよいし、逆に上記第１実施形態の半導体レーザモジュール１０Ａが、第二実施形態の発光ユニット２００Ｂ－１～２００Ｂ－１５を備えてもよい。
【0066】
以上、説明したように、第２実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｂ（レーザ装置）では、ベース１００Ｂは、複数の載置面１１３－１～１１３－１５と第一底面１１４（底面）とを有し第一方向Ｘ１に延びた第一部位１１０Ｂと、光ファイバ５００を支持し第二方向Ｘ２に延びた第二部位１２０Ｂと、を有している。
【0067】
このような構成によれば、例えば、第二部位１２０Ｂをより薄くすることができ、ベース１００Ｂひいては半導体レーザモジュール１０Ｂを、より小型にあるいはより軽量に構成することができる。
【0068】
また、第２実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｂでは、発光ユニット２００Ｂ－１～２００Ｂ－１５は、それぞれ発光素子２０４－１～２０４－１５を収容するケース２０１－１～２０１－１５を有している。
【0069】
このような構成によれば、例えば、発光素子２０４－１～２０４－１５のガスや塵芥からの保護性をより高めることができる。
【0070】
さらに、第２実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｂでは、ケース２０１－１～２０１－１５は、発光素子２０４－１～２０４－１５を、当該ケース２０１－１～２０１－１５内に気密封止している。
【0071】
このような構成によれば、例えば、発光素子２０４－１～２０４－１５のガスや塵芥からの保護性をより一層高めることができる。
【0072】
［第３実施形態］
図１０は、第３実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｃの側面図である。図１０を図２，８と比較すれば明らかとなるように、本実施形態のベース１００Ｃは、上記第１実施形態のベース１００Ａおよび第２実施形態のベース１００Ｂとは異なる構成を有している。具体的には、第１実施形態のように三角柱状の第二部位１２０Ａを有したり、第２実施形態のように第一部位１１０Ｂと第二部位１２０Ｂとが中央部１００ａで折れ曲がったりすることなく、端部１００ｂと端部１００ｃとの間に渡る平板状の形状を有している。
図１０は、第３実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｃの側面図である。図１０を図２，８と比較すれば明らかとなるように、本実施形態のベース１００Ｃは、上記第１実施形態のベース１００Ａおよび第２実施形態のベース１００Ｂとは異なる構成を有している。具体的には、第１実施形態のように三角柱状の第二部位１２０Ａを有したり、第２実施形態のように第一部位１１０Ｂと第二部位１２０Ｂとが中央部１００ａで折れ曲がったりすることなく、端部１００ｂと端部１００ｃとの間に渡る平板状の形状を有している。
【0073】
このような構成を実現するため、本実施形態では、光学部品４００として、ウエッジプリズム４２１を備えている。ウエッジプリズム４２１は、図１０中に破線で示されるように、複数のミラー３００－１～３００－１５から第二方向Ｘ２へ進む複数のレーザ光を、第一方向Ｘ１へ向かわせる。言い換えると、ウエッジプリズム４２１により、互いに平行な複数のレーザ光の進行方向が、第一方向Ｘ１から第二方向Ｘ２に変化する。よって、ウエッジプリズム４２１から光ファイバ５００の端部５００ａに至るまでの複数のレーザ光の光束の中心軸Ａｘが、第一方向Ｘ１に沿うため、ウエッジプリズム４２１、シリンドリカルレンズ４１１，４１２、および光ファイバ５００の端部５００ａを、ウエッジプリズム４２１に対して第一方向Ｘ１に並べることができる。これにより、図１０に示されるように、第一部位１１０Ｃと第二部位１２０Ｃ、壁１１１と壁１２１、第一頂面１１２と第二頂面１２２、および第一底面１１４と第二底面１２３を、第一方向Ｘ１に沿って並べることができる。ウエッジプリズム４２１は、第二偏向部品の一例である。なお、第二偏向部品は、ウエッジプリズム４２１とは異なる光学部品であってもよい。また、半導体レーザモジュール１０Ｃは、複数の発光ユニット２００Ｂ－１～２００Ｂ－１５に替えて複数の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５を有してもよい。
【0074】
以上、説明したように、第３実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｃ（レーザ装置）では、光学部品４００は、複数のミラー３００－１～３００－１５（第一偏向部品）から第二方向Ｘ２へ進むレーザ光を第一方向Ｘ１へ向かわせるウエッジプリズム４２１（第二偏向部品）を有する。
【0075】
このような構成によれば、例えば、ベース１００Ｃひいては半導体レーザモジュール１０Ｃを全体的により平坦にあるいはより直線的に構成することができ、半導体レーザモジュール１０Ｃをよりコンパクトに構成できたり、ひいては半導体レーザモジュール１０Ｃをよりレイアウトしやすくなったり、といった効果が得られる。
【0076】
［第４実施形態］
図１１は、第４実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｄの斜視図、図１２は、半導体レーザモジュール１０Ｄの一部を拡大した平面図である。図１１に示されるように、本実施形態では、第一部位１１０Ｄ（ベース１００Ｄ）の第四方向Ｚ４の一端（図１１では上端）において、複数の載置面１１３－１～１１３－１５が第一方向Ｘ１に一定のピッチ（インタバル）で並ぶ複数の列ＬＡ，ＬＢが、第三方向Ｙ３に間隔をあけて設けられている。また、各列ＬＡ，ＬＢにおいて、複数の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５は、第一方向Ｘ１に等間隔で並び、複数の第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５は、第一方向Ｘ１に等間隔で並び、複数のミラー３００－１～３００－１５は、第一方向Ｘ１に等間隔で並んでいる。ただし、本実施形態では、列ＬＡと列ＬＢとで、複数の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５、複数の第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５、および複数のミラー３００－１～３００－１５は、二つの列ＬＡ，ＬＢの間で第一方向Ｘ１および第二方向Ｘ２に沿い第三方向Ｙ３と直交する仮想平面（不図示）に対して面対称に配置されている。すなわち、列ＬＡでは、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５の列が、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５の列から第三方向Ｙ３に離間し、ミラー３００－１～３００－１５の列ＬＡ１が、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５の列から第三方向Ｙ３に離間しているのに対し、列ＬＢでは、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５の列が、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５の列から第三方向Ｙ３の反対方向に離間し、ミラー３００－１～３００－１５の列ＬＢ１が、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５の列から第三方向Ｙ３の反対方向に離間している。しかしながら、このような配置は一例であって、必ずしも面対称に配置される必要は無い。第三方向Ｙ３は、第一方向Ｘ１と直交する方向の一例である。
図１１は、第４実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｄの斜視図、図１２は、半導体レーザモジュール１０Ｄの一部を拡大した平面図である。図１１に示されるように、本実施形態では、第一部位１１０Ｄ（ベース１００Ｄ）の第四方向Ｚ４の一端（図１１では上端）において、複数の載置面１１３－１～１１３－１５が第一方向Ｘ１に一定のピッチ（インタバル）で並ぶ複数の列ＬＡ，ＬＢが、第三方向Ｙ３に間隔をあけて設けられている。また、各列ＬＡ，ＬＢにおいて、複数の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５は、第一方向Ｘ１に等間隔で並び、複数の第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５は、第一方向Ｘ１に等間隔で並び、複数のミラー３００－１～３００－１５は、第一方向Ｘ１に等間隔で並んでいる。ただし、本実施形態では、列ＬＡと列ＬＢとで、複数の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５、複数の第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５、および複数のミラー３００－１～３００－１５は、二つの列ＬＡ，ＬＢの間で第一方向Ｘ１および第二方向Ｘ２に沿い第三方向Ｙ３と直交する仮想平面（不図示）に対して面対称に配置されている。すなわち、列ＬＡでは、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５の列が、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５の列から第三方向Ｙ３に離間し、ミラー３００－１～３００－１５の列ＬＡ１が、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５の列から第三方向Ｙ３に離間しているのに対し、列ＬＢでは、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５の列が、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５の列から第三方向Ｙ３の反対方向に離間し、ミラー３００－１～３００－１５の列ＬＢ１が、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５の列から第三方向Ｙ３の反対方向に離間している。しかしながら、このような配置は一例であって、必ずしも面対称に配置される必要は無い。第三方向Ｙ３は、第一方向Ｘ１と直交する方向の一例である。
【0077】
また、本実施形態でも、上記第３実施形態と同様に、ウエッジプリズム４２１Ａ，４２１Ｂが設けられている。ウエッジプリズム４２１Ａ，４２１Ｂは、第二部位１２０Ｄの第二頂面１２２上に載置されている。列ＬＡに対応したウエッジプリズム４２１Ａは、列ＬＡ１中の複数のミラー３００－１～３００－１５から第二方向Ｘ２へ進む複数のレーザ光を、第一方向Ｘ１へ向かわせ、列ＬＢに対応したウエッジプリズム４２１Ｂは、列ＬＢ１中の複数のミラー３００－１～３００－１５から第二方向Ｘ２へ進む複数のレーザ光を、第一方向Ｘ１へ向かわせる。本実施形態においても、例えば、ベース１００Ｄひいては半導体レーザモジュール１０Ｄを全体的により平坦にあるいはより直線的に構成することができ、半導体レーザモジュール１０Ｄをよりコンパクトに構成できたり、半導体レーザモジュール１０Ｄをよりレイアウトしやすくなったり、といった効果が得られる。
【0078】
さらに、本実施形態では、図１１，１２に示されるように、半導体レーザモジュール１０Ｄは、ミラー４５０と、半波長板４３０と、偏波合成素子４４０と、を備えている。ミラー４５０、半波長板４３０、および偏波合成素子４４０は、第二部位１２０Ｄの第二頂面１２２上に載置されている。列ＬＡ１中の複数のミラー３００－１～３００－１５からのウエッジプリズム４２１Ａを経由した第一方向Ｘ１へ進むレーザ光ＢＡは、偏波合成素子４４０の第一入射面４４０ａに入射する。第一入射面４４０ａは、偏波合成素子４４０の第一方向Ｘ１とは反対方向の端部に位置し、ウエッジプリズム４２１Ａと面している。他方、列ＬＢ１中の複数のミラー３００－１～３００－１５からの複数のレーザ光ＢＢ（第二レーザ光）は、ミラー４５０および半波長板４３０を経由して、偏波合成素子４４０の第二入射面４４０ｂに入射する。ミラー４５０は、列ＬＢ１中の複数のミラー３００－１～３００－１５からのウエッジプリズム４２１Ａを経由した第一方向Ｘ１へ進むレーザ光ＢＢを、第三方向Ｙ３とは反対方向に向かわせる。ミラー４５０からの第三方向Ｙ３とは反対方向に向かうレーザ光ＢＢは、半波長板４３０を経由して偏波合成素子４４０の第二入射面４４０ｂに入射する。第二入射面４４０ｂは、偏波合成素子４４０の第三方向Ｙ３の端部に位置し、半波長板４３０と面している。半波長板４３０を経由することにより、列ＬＢ１中の複数のミラー３００－１～３００－１５からのレーザ光ＬＢの偏波方向が９０°回転する。偏波合成素子４４０は、偏波方向が互いに直交するレーザ光ＢＡとレーザ光ＢＢとを偏波合成し、出射面４４０ｃから第一方向Ｘ１に向けて出力する。出射面４４０ｃは、偏波合成素子４４０の第一方向Ｘ１の端部に位置し、シリンドリカルレンズ４１１と面している。
【0079】
偏波合成素子４４０から出射した複数のレーザ光は、シリンドリカルレンズ４１１，４１２を経由して、光ファイバ５００の端部５００ａに向かう。なお、半導体レーザモジュール１０Ｄは、複数の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５に替えて複数の発光ユニット２００Ｂ－１～２００Ｂ－１５を有してもよい。
【0080】
以上、説明したように、本実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｄ（レーザ装置）では、複数のミラー３００－１～３００－１５（第一偏向部品）が第一方向Ｘ１に並ぶ複数の列ＬＡ１，ＬＢ１が第三方向Ｙ３（第一方向Ｘ１と直交する方向）に間隔をあけて設けられている。
【0081】
仮に、列ＬＡ１，ＬＢ１に含まれる全てのミラー３００－１～３００－１５が第一方向Ｘ１に一列に並ぶと、半導体レーザモジュール１０Ｄが、第一方向Ｘ１に長くなってしまう。この点、本実施形態によれば、例えば、複数のミラー３００－１～３００－１５が第一方向Ｘ１に並ぶ複数の列ＬＡ１，ＬＢ１が第三方向Ｙ３に間隔をあけて設けられているため、半導体レーザモジュール１０Ｄが、第一方向Ｘ１に長くなるのを抑制することができる。なお、偏波合成素子４４０に替えて、例えば、列ＬＢ１に含まれる全てのミラー３００－１～３００－１５からのレーザ光をシリンドリカルレンズ４１１に向かわせる例えばミラーのような第三偏向部品（光学部品、不図示）が設けられ、列ＬＡ１に含まれる全てのミラー３００－１～３００－１５からのレーザ光は、当該第三偏向部品を経由せずにシリンドリカルレンズ４１１に向かうような、半波長板４３０および偏波合成素子４４０を有しない構成にあっても、複数の列ＬＡ１，ＬＢ１が設けられることによる上記効果は得られる。
【0082】
また、本実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｄ（レーザ装置）では、光学部品４００は、列ＬＡ１（第一列）からの第一レーザ光ＢＡと、列ＬＢ１（第二列）からの偏波方向が当該第一レーザ光ＢＡとは直交した第二レーザ光ＢＢと、を偏波合成する偏波合成素子４４０を有する。
【0083】
このような構成によれば、例えば、偏波合成しない場合に比べて、より多くの発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５からのレーザ光を結合することができるため、半導体レーザモジュール１０Ｄの出力をより大きくすることができる。
【0084】
［実施形態の変形例］
図１３は、実施形態の変形例の半導体レーザモジュール１０Ｅにおいて、第一部位１１０Ｅ（ベース１００Ｅ）の載置面１１３－１上に配置された第二コリメートレンズ２１０－１、ミラー３００－１、および支持部材１４２の斜視図である。図１１に示されるように、ミラー３００－１は、載置面１１３－１上に突出した支持部材１４２と隣接して設けられ、当該支持部材１４２に支持されている。支持部材１４２は、例えば、第一部位１１０Ｅ（ベース１００Ｅ）に設けられ載置面１１３－１に開口した穴に圧入されることにより、取り付けられる。支持部材１４２は、第一支持部材の一例であり、第一位置決め部材とも称されうる。
図１３は、実施形態の変形例の半導体レーザモジュール１０Ｅにおいて、第一部位１１０Ｅ（ベース１００Ｅ）の載置面１１３－１上に配置された第二コリメートレンズ２１０－１、ミラー３００－１、および支持部材１４２の斜視図である。図１１に示されるように、ミラー３００－１は、載置面１１３－１上に突出した支持部材１４２と隣接して設けられ、当該支持部材１４２に支持されている。支持部材１４２は、例えば、第一部位１１０Ｅ（ベース１００Ｅ）に設けられ載置面１１３－１に開口した穴に圧入されることにより、取り付けられる。支持部材１４２は、第一支持部材の一例であり、第一位置決め部材とも称されうる。
【0085】
このような構成によれば、支持部材１４２により、ミラー３００－１の倒れや位置ずれを抑制することができるとともに、ミラー３００－１を支持部材１４２にも接着することで、ミラー３００－１をより強固にあるいはより安定的に載置面１１３－１上に固定することができる。なお、図１３には、載置面１１３－１、第二コリメートレンズ２１０－１、ミラー３００－１、および支持部材１４２の一つの組み合わせのみが示されているが、載置面１１３－１～１１３－１５およびミラー３００－１～３００－１５は、いずれも添え字毎に、図１３と同様の支持部材１４２を有することができる。また、本変形例の構成は、他の第１～第６実施形態のいずれにも適用可能である。
【0086】
［第５実施形態］
図１４は、第５実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｆの斜視図、図１５は、半導体レーザモジュール１０Ｆの側面図である。図１４を図１１と比較すれば明らかとなるように、複数の載置面１１３－１～１１３－１５、複数の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５、および複数のミラー３００－１～３００－１５の構成は、第４実施形態と同様である。
図１４は、第５実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｆの斜視図、図１５は、半導体レーザモジュール１０Ｆの側面図である。図１４を図１１と比較すれば明らかとなるように、複数の載置面１１３－１～１１３－１５、複数の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５、および複数のミラー３００－１～３００－１５の構成は、第４実施形態と同様である。
【0087】
ただし、本実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｆでは、第一レーザ光ＢＡおよび第二レーザ光ＢＢを光ファイバ５００の端部５００ａに導く光学部品４００の構成が、上記第４実施形態とは相違する。本実施形態では、光学部品４００は、ベース１００Ｆの第二部位１２０Ｆ上に設けられた、ウエッジプリズム４２１Ａ、ウエッジプリズム４２１Ｂ、ミラー４５０，４５１、シリンドリカルレンズ４１１Ｆ、およびシリンドリカルレンズ４１２を有している。なお、光学部品４００の一部は、第一部位１１０Ｆや第一部位１１０Ｆと第二部位１２０Ｆとの境界などに設けられてもよい。
【0088】
具体的には、図１５に示されるように、ウエッジプリズム４２１Ａは、列ＬＡ１中の複数のミラー３００－１～３００－１５からの第一レーザ光ＢＡを、第一方向Ｘ１へ向かわせる。ここで、図１４に示されるように、列ＬＡ１中の複数のミラー３００－１～３００－１５のうちウエッジプリズム４２１Ａに最も近いミラー３００－１５とウエッジプリズム４２１Ａとの間の第一方向Ｘ１における距離（第一距離Ｌ１）が比較的長く設定されているため、図１５に示されるように、第一レーザ光ＢＡは、ウエッジプリズム４２１Ａの上部４２１Ａｕに入力される。これにより、ウエッジプリズム４２１Ａからの第一レーザ光ＢＡは、第一底面１１４および第一頂面１１２から比較的離れた位置で、第一方向Ｘ１に進み、シリンドリカルレンズ４１１Ｆの上部４１１Ｆｕに入力される。ウエッジプリズム４２１Ａは、第一光学部品の一例であり、第二偏向部品の一例でもある。
【0089】
他方、ウエッジプリズム４２１Ｂは、列ＬＢ１中の複数のミラー３００－１～３００－１５からの第二レーザ光ＢＢを、第一方向Ｘ１へ向かわせる。ここで、図１４に示されるように、列ＬＢ１中の複数のミラー３００－１～３００－１５のうちウエッジプリズム４２１Ｂに最も近いミラー３００－１５とウエッジプリズム４２１Ｂとの間の第一方向Ｘ１における距離（第二距離Ｌ２）が比較的短く設定されているため、図１５に示されるように、ウエッジプリズム４２１Ｂからの第二レーザ光ＢＢは、第一底面１１４および第一頂面１１２に比較的近い位置で、第一方向Ｘ１に進む。本実施形態では、第一距離Ｌ１は第二距離Ｌ２よりも長く設定されているため、図１５に示されるように、ウエッジプリズム４２１Ａから第一方向Ｘ１に進む第一レーザ光ＢＡは、ウエッジプリズム４２１Ｂから第一方向Ｘ１に進む第二レーザ光ＢＢよりも第一底面１１４および第一頂面１１２から遠くに位置される。言い換えると、ウエッジプリズム４２１Ａから第一方向Ｘ１に進む第一レーザ光ＢＡと、ウエッジプリズム４２１Ｂから第一方向Ｘ１に進む第二レーザ光ＢＢとは、第四方向Ｚ４にずれている。ウエッジプリズム４２１Ｂは、第二光学部品の一例であり、第二偏向部品の一例でもある。
【0090】
また、ウエッジプリズム４２１Ｂからの第二レーザ光ＢＢは、二つのミラー４５０，４５１により第三方向Ｙ３の反対方向にオフセットされ、ミラー４５１から第一方向Ｘ１に進む第二レーザ光ＢＢは、シリンドリカルレンズ４１１Ｆの下部４１１Ｆｌに入力される。ミラー４５０，４５１は、第三光学部品の一例であり、シリンドリカルレンズ４１１Ｆは、第四光学部品の一例である。
【0091】
シリンドリカルレンズ４１１Ｆの上部４１１Ｆｕに入力される第一レーザ光ＢＡの光軸と、シリンドリカルレンズ４１１Ｆの下部４１１Ｆｌに入力される第二レーザ光ＢＢの光軸とは、第四方向Ｚ４に一列に並んでいる、言い換えると、第四方向Ｚ４に整列されている。シリンドリカルレンズ４１１Ｆおよびシリンドリカルレンズ４１２は、第一レーザ光ＢＡおよび第二レーザ光ＢＢを、光ファイバ５００の端部５００ａに結合する。
【0092】
以上、説明したように、本実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｆでは、光学部品４００は、ウエッジプリズム４２１Ａ（第一光学部品）、ウエッジプリズム４２１Ｂ（第二光学部品）、ミラー４５０，４５１（第三光学部品）、シリンドリカルレンズ４１１Ｆ（第四光学部品）、およびシリンドリカルレンズ４１２（第四光学部品）を有している。ウエッジプリズム４２１Ａは、列ＬＡ１（第一列）から第二方向Ｘ２に進む第一レーザ光ＢＡを第一方向Ｘ１に偏向する。ウエッジプリズム４２１Ｂは、列ＬＢ１（第二列）から第二方向Ｘ２に進む第二レーザ光ＢＢを第一方向Ｘ１に偏向する。ウエッジプリズム４２１Ａおよびウエッジプリズム４２１Ｂは、ウエッジプリズム４２１Ａから第一方向Ｘ１に進む第一レーザ光ＢＡと、ウエッジプリズム４２１Ｂから第一方向Ｘ１に進む第二レーザ光ＢＢとが、第四方向Ｚ４にずれるように設けられている。ミラー４５０，４５１は、第二レーザ光ＢＢを第三方向Ｙ３にオフセットして、第一レーザ光ＢＡと第二レーザ光ＢＢとを第四方向Ｚ４に並べる。そして、シリンドリカルレンズ４１１Ｆ，４１２は、第四方向Ｚ４に並んだ第一レーザ光ＢＡと第二レーザ光ＢＢとを、光ファイバ５００に向けて集束する。
【0093】
このような構成によれば、第一レーザ光ＢＡと第二レーザ光ＢＢとを第四方向Ｚ４にずらす、言い換えると空間的に離散化することができるため、偏波合成素子４４０が無い構成であっても、第一レーザ光ＢＡと第二レーザ光ＢＢとを光ファイバ５００に結合することができる。なお、本実施形態では、第三光学部品としてのミラー４５０，４５１は、第二レーザ光ＢＢを第三方向Ｙ３の反対方向にオフセットしたが、これには限定されず、第一レーザ光ＢＡを第三方向Ｙ３にオフセットしてもよいし、第一レーザ光ＢＡおよび第二レーザ光ＢＢを第三方向Ｙ３あるいは第三方向Ｙ３の反対方向にオフセットしてもよい。
【0094】
また、本実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｆでは、ウエッジプリズム４２１Ａ（第一光学部品）から第一方向Ｘ１に進む第一レーザ光ＢＡは、ウエッジプリズム４２１Ｂ（第二光学部品）から第一方向Ｘ１に進む第二レーザ光ＢＢよりも、第一底面１１４（底面）から離れて位置される。列ＬＡ１（第一列）に含まれるミラー３００－１～３００－１５（第一偏向部品）が載置される載置面１１３－１～１１３－１５が延びる方向であって第一レーザ光ＢＡの進む方向である第二方向Ｘ２と、列ＬＢ１（第二列）に含まれるミラー３００－１～３００－１５が載置される載置面１１３－１～１１３－１５が延びる方向であって第二レーザ光ＢＢの進む方向である第二方向Ｘ２とが、平行である。また、列ＬＡ１に含まれるミラー３００－１～３００－１５のうちウエッジプリズム４２１Ａに最も近いミラー３００－１５と当該ウエッジプリズム４２１Ａとの間の第一方向Ｘ１における第一距離Ｌ１が、列ＬＢ１に含まれるミラー３００－１～３００－１５のうちウエッジプリズム４２１Ｂに最も近いミラー３００－１５と当該ウエッジプリズム４２１Ｂとの間の第一方向Ｘ１における第二距離Ｌ２よりも長い。
【0095】
このような構成によれば、第一レーザ光ＢＡと第二レーザ光ＢＢとを第四方向Ｚ４にずれる半導体レーザモジュール１０Ｆを、比較的簡素な構成によって実現することができる。また、二つの列ＬＡ１，ＬＡ２について、載置面１１３－１～１１３－１５の角度が同じであるため、当該角度が相違する構成に比べて、製造の手間やコストが低減されやすい。
【0096】
［第６実施形態］
図１６は、第６実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｇの斜視図である。図１６を図１５と比較すれば明らかとなるように、本実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｇは、上記第５実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｆと同様の構成要素を有している。すなわち、本実施形態でも、光学部品４００は、ベース１００Ｇの第二部位１２０Ｇ上に設けられた、ウエッジプリズム４２１Ａ、ウエッジプリズム４２１Ｂ、ミラー４５０，４５１、シリンドリカルレンズ４１１Ｇ、およびシリンドリカルレンズ４１２を有している。なお、光学部品４００の一部は、第一部位１１０Ｇや第一部位１１０Ｇと第二部位１２０Ｇとの境界などに設けられてもよい。
図１６は、第６実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｇの斜視図である。図１６を図１５と比較すれば明らかとなるように、本実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｇは、上記第５実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｆと同様の構成要素を有している。すなわち、本実施形態でも、光学部品４００は、ベース１００Ｇの第二部位１２０Ｇ上に設けられた、ウエッジプリズム４２１Ａ、ウエッジプリズム４２１Ｂ、ミラー４５０，４５１、シリンドリカルレンズ４１１Ｇ、およびシリンドリカルレンズ４１２を有している。なお、光学部品４００の一部は、第一部位１１０Ｇや第一部位１１０Ｇと第二部位１２０Ｇとの境界などに設けられてもよい。
【0097】
ただし、本実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｇでは、列ＬＡ１に関する第二方向Ｘ２１と、列ＬＢ１に関する第二方向Ｘ２２とが、同一ではなく、非平行である。第二方向Ｘ２１は、列ＬＡ１中に含まれるミラー３００－１～３００－１５が載置される載置面１１３－１～１１３－１５が延びる方向であって、当該列ＬＡ１中に含まれるミラー３００－１～３００－１５からの第一レーザ光ＢＡが進む方向である。また、第二方向Ｘ２２は、列ＬＢ１に含まれるミラー３００－１～３００－１５が載置される載置面１１３－１～１１３－１５が延びる方向であって、当該列ＬＢ１中に含まれるミラー３００－１～３００－１５からの第二レーザ光ＢＢが進む方向である。ここで、本実施形態では、第一方向Ｘ１に対する第二方向Ｘ２１の第一仰角θ１が、第一方向Ｘ１に対する第二方向Ｘ２２の第二仰角θ２よりも大きい。これにより、列ＬＡ１中に含まれるミラー３００－１～３００－１５のうちウエッジプリズム４２１Ａに最も近いミラー３００－１５とウエッジプリズム４２１Ａとの第一距離Ｌ１が比較的短い場合にあっても、列ＬＡ１中に含まれるミラー３００－１～３００－１５からの第一レーザ光ＢＡは、ウエッジプリズム４２１Ａの上部４２１Ａｕに入力される。ウエッジプリズム４２１Ａは、第二方向Ｘ２１に進む第一レーザ光ＢＡを、第一方向Ｘ１に偏向する。他方、ウエッジプリズム４２１Ｂは、列ＬＢ１中に含まれるミラー３００－１～３００－１５からの第二方向Ｘ２２に進む第二レーザ光ＢＢを、第一方向Ｘ１に偏向する。ウエッジプリズム４２１Ｂから第一方向Ｘ１に進む第二レーザ光ＢＢは、上記第５実施形態と同様に、ミラー４５０，４５１を経由して第三方向Ｙ３の反対方向にオフセットされる。
【0098】
このような構成にあっても、上記第５実施形態と同様に、シリンドリカルレンズ４１１Ｇの上部４１１Ｇｕには、第一方向Ｘ１に進む第一レーザ光ＢＡが入力され、シリンドリカルレンズ４１１Ｇの下部４１１Ｇｌには、第一方向Ｘ１に進む第二レーザ光ＢＢが入力される。言い換えると、シリンドリカルレンズ４１１Ｇの上部４１１Ｇｕに入力される第一レーザ光ＢＡは、シリンドリカルレンズ４１１Ｇの下部Ｇｌに入力される第二レーザ光ＢＢよりも、第一底面１１４および第二頂面１２２から離れている。さらに、ミラー４５０，４５１によるオフセットにより、シリンドリカルレンズ４１１Ｇの上部４１１Ｇｕに入力される第一レーザ光ＢＡの光軸と、シリンドリカルレンズ４１１Ｇの下部４１１Ｇｌに入力される第二レーザ光ＢＢの光軸とは、第四方向Ｚ４に一列に並んでいる、言い換えると、第四方向Ｚ４に整列されている。そして、シリンドリカルレンズ４１１Ｇおよびシリンドリカルレンズ４１２は、第一レーザ光ＢＡおよび第二レーザ光ＢＢを、光ファイバ５００の端部５００ａに結合する。
【0099】
以上、説明したように、本実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｇでは、ウエッジプリズム４２１Ａ（第一光学部品）から第一方向Ｘ１に進む第一レーザ光ＢＡは、ウエッジプリズム４２１Ｂ（第二光学部品）から第一方向Ｘ１に進む第二レーザ光ＢＢよりも、第一底面１１４（底面）から離れている。また、第二方向Ｘ２１の第一方向Ｘ１に対する第一仰角θ１は、第二方向Ｘ２２の第一方向Ｘ１に対する第二仰角θ２よりも、大きい。
【0100】
このような構成によれば、例えば、ウエッジプリズム４２１Ａと当該ウエッジプリズム４２１に最も近いミラー３００－１５との第一距離Ｌ１をより短くすることができ、ひいては、半導体レーザモジュール１０Ｇを第一方向Ｘ１により短く構成することができる。
【0101】
［第７実施形態］
図１７は、第７実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｈの一部の斜視図である。図１７を図３等と比較すれば明らかとなるように、本実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｈは、ミラー３００－１～３００－１５（第一偏向部品）を有さず、ベース１００Ｈの第一部位１１０Ｈに設けられた載置面１１３－１～１１３－１５のそれぞれにおいて、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５（発光素子２０４－１～２０４－１５および第一コリメートレンズ２０２－１～２０２－１５）と、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５とが、方向Ｘ２（第二方向）に並び、発光素子２０４－１～２０４－１５からのレーザ光が、第一コリメートレンズ２０２－１～２０２－１５および第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５を経由して、方向Ｘ２に向けて出射され、シリンドリカルレンズ４１１，４１２（図１，図１０参照）やウエッジプリズム４２１（図１０参照）のような光学部品４００を経由して光ファイバ５００の端部５００ａに結合される。なお、本実施形態でも、複数の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５（発光素子２０４－１～２０４－１５および第一コリメートレンズ２０２－１～２０２－１５）は、方向Ｘ１（第一方向）に並んでいる。また、本実施形態では、複数の第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５も、方向Ｘ１（第一方向）に並んでいる。
図１７は、第７実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｈの一部の斜視図である。図１７を図３等と比較すれば明らかとなるように、本実施形態の半導体レーザモジュール１０Ｈは、ミラー３００－１～３００－１５（第一偏向部品）を有さず、ベース１００Ｈの第一部位１１０Ｈに設けられた載置面１１３－１～１１３－１５のそれぞれにおいて、発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５（発光素子２０４－１～２０４－１５および第一コリメートレンズ２０２－１～２０２－１５）と、第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５とが、方向Ｘ２（第二方向）に並び、発光素子２０４－１～２０４－１５からのレーザ光が、第一コリメートレンズ２０２－１～２０２－１５および第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５を経由して、方向Ｘ２に向けて出射され、シリンドリカルレンズ４１１，４１２（図１，図１０参照）やウエッジプリズム４２１（図１０参照）のような光学部品４００を経由して光ファイバ５００の端部５００ａに結合される。なお、本実施形態でも、複数の発光ユニット２００Ａ－１～２００Ａ－１５（発光素子２０４－１～２０４－１５および第一コリメートレンズ２０２－１～２０２－１５）は、方向Ｘ１（第一方向）に並んでいる。また、本実施形態では、複数の第二コリメートレンズ２１０－１～２１０－１５も、方向Ｘ１（第一方向）に並んでいる。
【0102】
このような構成によれば、ミラー３００－１～３００－１５（第一偏向部品、光学部品）を省略することができる分、部品点数が減り、製造の手間やコストが低減されやすい。また、半導体レーザモジュール１０Ｈの方向Ｙ３（第三方向）の幅をより狭くすることができ、当該方向Ｙ３においてよりコンパクトな半導体レーザモジュール１０Ｈを構成することができる。
【0103】
以上、本発明の実施形態および変形例が例示されたが、上記実施形態および変形例は一例であって、発明の範囲を限定することは意図していない。上記実施形態および変形例は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。また、各構成や、形状、等のスペック（構造や、種類、方向、型式、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。
【0104】
また、例えば、ベースの底面には、例えば放熱フィンのようなヒートシンク（放熱部材）が接続されてもよいし、ベースとヒートシンクとが一体化されてもよい。ベースとヒートシンクとが一体化された構成にあっては、ベースは、第一方向に延びた厚さが略一定の板状の部位である。
【0105】
また、発光ユニットは、少なくとも発光素子を有するものであればよく、発光ユニットの構成部品や構造は、上記実施形態や変形例に開示されたものには限定されない。例えば、発光ユニットは、第一コリメートレンズを含まなくてもよい。また、例えば、発光ユニットは、ケースやサブマウントに加えて、第一コリメートレンズや、第二コリメートレンズを含んでもよいし、さらに第一偏向部品を含んでもよい。また、発光素子は、半導体レーザ素子には限定されない。
【0106】
また、例えば、第二レーザ光は、半波長板を介さずとも第一レーザ光に対する偏波方向が直交していてもよい。
【0107】
また、光学部品は、例えば、レーザ装置のハウジング（ケーシング）のようなベース以外の部品に設けられてもよい。
【0108】
また、本発明は、以下の［１］～［３］のような態様として実施することができる。
［１］
前記光学部品は、
前記複数の列に含まれる第一列からの前記第二方向に進む第一レーザ光を前記第一方向に偏向する第一光学部品と、
前記複数の列に含まれる第二列からの前記第二方向に進む第二レーザ光を前記第一方向に偏向する第二光学部品であって、当該第二光学部品から前記第一方向に進む前記第二レーザ光が前記第一光学部品から前記第一方向に進む前記第一レーザ光に対して前記第一方向および前記第三方向と直交する第四方向にずれるように設けられた、前記第二光学部品と、
前記第一光学部品から前記第一方向に進む前記第一レーザ光、および前記第二光学部品から前記第一方向に進む前記第二レーザ光のうち少なくとも一方を前記第三方向にオフセットして、当該第一レーザ光と当該第二レーザ光とを前記第四方向に並べる第三光学部品と、
前記第四方向に並んだ前記第一レーザ光と前記第二レーザ光とを前記光ファイバに向けて集束する第四光学部品と、
を有した、請求項２に記載のレーザ装置。
［２］
前記第一光学部品から前記第一方向に進む前記第一レーザ光は、前記第二光学部品から前記第一方向に進む前記第二レーザ光よりも前記底面から離れ、
前記第一列に含まれる前記第一偏向部品が載置される前記載置面が延びる方向であって当該第一列からの前記第一レーザ光が進む方向である前記第二方向と、前記第二列に含まれる前記第一偏向部品が載置される前記載置面が延びる方向であって当該第二列からの前記第二レーザ光が進む方向である前記第二方向とが、平行であり、
前記第一列のうち前記第一光学部品に最も近い前記第一偏向部品と前記第一光学部品との第一方向における第一距離が、前記第二列のうち前記第二光学部品に最も近い前記第一偏向部品と前記第二光学部品との第一方向における第二距離よりも長い、［１］に記載のレーザ装置。
［３］
前記第一光学部品から前記第一方向に進む前記第一レーザ光は、前記第二光学部品から前記第一方向に進む前記第二レーザ光よりも前記底面から離れ、
前記第一列に含まれる前記第一偏向部品が載置される前記載置面が延びる方向であって当該第一列からの前記第一レーザ光が進む方向である前記第二方向の前記第一方向に対する第一仰角が、前記第二列に含まれる前記第一偏向部品が載置される前記載置面が延びる方向であって当該第二列からの前記第二レーザ光が進む方向である前記第二方向の前記第一方向に対する第二仰角よりも大きい、［１］に記載のレーザ装置。
［１］
前記光学部品は、
前記複数の列に含まれる第一列からの前記第二方向に進む第一レーザ光を前記第一方向に偏向する第一光学部品と、
前記複数の列に含まれる第二列からの前記第二方向に進む第二レーザ光を前記第一方向に偏向する第二光学部品であって、当該第二光学部品から前記第一方向に進む前記第二レーザ光が前記第一光学部品から前記第一方向に進む前記第一レーザ光に対して前記第一方向および前記第三方向と直交する第四方向にずれるように設けられた、前記第二光学部品と、
前記第一光学部品から前記第一方向に進む前記第一レーザ光、および前記第二光学部品から前記第一方向に進む前記第二レーザ光のうち少なくとも一方を前記第三方向にオフセットして、当該第一レーザ光と当該第二レーザ光とを前記第四方向に並べる第三光学部品と、
前記第四方向に並んだ前記第一レーザ光と前記第二レーザ光とを前記光ファイバに向けて集束する第四光学部品と、
を有した、請求項２に記載のレーザ装置。
［２］
前記第一光学部品から前記第一方向に進む前記第一レーザ光は、前記第二光学部品から前記第一方向に進む前記第二レーザ光よりも前記底面から離れ、
前記第一列に含まれる前記第一偏向部品が載置される前記載置面が延びる方向であって当該第一列からの前記第一レーザ光が進む方向である前記第二方向と、前記第二列に含まれる前記第一偏向部品が載置される前記載置面が延びる方向であって当該第二列からの前記第二レーザ光が進む方向である前記第二方向とが、平行であり、
前記第一列のうち前記第一光学部品に最も近い前記第一偏向部品と前記第一光学部品との第一方向における第一距離が、前記第二列のうち前記第二光学部品に最も近い前記第一偏向部品と前記第二光学部品との第一方向における第二距離よりも長い、［１］に記載のレーザ装置。
［３］
前記第一光学部品から前記第一方向に進む前記第一レーザ光は、前記第二光学部品から前記第一方向に進む前記第二レーザ光よりも前記底面から離れ、
前記第一列に含まれる前記第一偏向部品が載置される前記載置面が延びる方向であって当該第一列からの前記第一レーザ光が進む方向である前記第二方向の前記第一方向に対する第一仰角が、前記第二列に含まれる前記第一偏向部品が載置される前記載置面が延びる方向であって当該第二列からの前記第二レーザ光が進む方向である前記第二方向の前記第一方向に対する第二仰角よりも大きい、［１］に記載のレーザ装置。
【産業上の利用可能性】
【0109】
本発明は、レーザ装置に適用することができる。
【符号の説明】
【0110】
１０Ａ～１０Ｈ…半導体レーザモジュール（レーザ装置）
１００Ａ～１００Ｈ…ベース
１００ａ…中央部
１００ｂ…端部
１００ｃ…端部
１１０Ａ～１１０Ｈ…第一部位
１１１…壁
１１２…第一頂面
１１３－１～１１３－１５…載置面
１１４…第一底面（底面）
１２０Ａ～１２０Ｄ…第二部位
１２１…壁
１２２…第二頂面（表面）
１２３…第二底面
１３０…支持部材
１４１…支持部材（第二支持部材）
１４２…支持部材（第一支持部材）
２００Ａ－１～２００Ａ－１５…発光ユニット
２００Ｂ－１～２００Ｂ－１５…発光ユニット
２０１－１～２０１－１５…ケース
２０２－１～２０２－１５…第一コリメートレンズ
２０３－１～２０３－１５…サブマウント
２０４－１～２０４－１５…発光素子
２０５…リード
２１０－１～２１０－１５…第二コリメートレンズ
３００－１～３００－１５…ミラー（第一偏向部品、光学部品）
４００…光学部品
４１１…シリンドリカルレンズ
４１１Ｆ，４１１Ｇ…シリンドリカルレンズ（第四光学部品）
４１１Ｆｕ，４１１Ｇｕ…上部
４１１Ｆｌ，４１１Ｇｌ…下部
４１２…シリンドリカルレンズ（第四光学部品）
４２１…ウエッジプリズム（第二偏向部品）
４２１Ａ…ウエッジプリズム（第一光学部品、第二偏向部品）
４２１Ｂ…ウエッジプリズム（第二光学部品、第二偏向部品）
４２１Ａｕ…上部
４３０…半波長板
４４０…偏波合成素子
４４０ａ…第一入射面
４４０ｂ…第二入射面
４４０ｃ…出射面
４５０…ミラー（第三光学部品）
４５１…ミラー（第三光学部品）
５００…光ファイバ
５００ａ…端部
Ａｘ…中心軸
Ｂ…レーザ光
ＢＡ…レーザ光（第一レーザ光）
ＢＢ…レーザ光（第二レーザ光）
ｄ…ビーム径
Ｄ…距離
Ｇ…隙間
Ｌ…設置間隔
Ｌ１…第一距離
Ｌ２…第二距離
ＬＡ，ＬＢ…（載置面の）列
ＬＡ１，ＬＢ１…（ミラーの）列
Ｍ…素材
Ｘ１…第一方向
Ｘ２…第二方向
Ｙ３…第三方向（第一方向と直交する方向）
Ｚ４…第四方向
θ…角度（仰角）
θ１…第一仰角
θ２…第二仰角
１００Ａ～１００Ｈ…ベース
１００ａ…中央部
１００ｂ…端部
１００ｃ…端部
１１０Ａ～１１０Ｈ…第一部位
１１１…壁
１１２…第一頂面
１１３－１～１１３－１５…載置面
１１４…第一底面（底面）
１２０Ａ～１２０Ｄ…第二部位
１２１…壁
１２２…第二頂面（表面）
１２３…第二底面
１３０…支持部材
１４１…支持部材（第二支持部材）
１４２…支持部材（第一支持部材）
２００Ａ－１～２００Ａ－１５…発光ユニット
２００Ｂ－１～２００Ｂ－１５…発光ユニット
２０１－１～２０１－１５…ケース
２０２－１～２０２－１５…第一コリメートレンズ
２０３－１～２０３－１５…サブマウント
２０４－１～２０４－１５…発光素子
２０５…リード
２１０－１～２１０－１５…第二コリメートレンズ
３００－１～３００－１５…ミラー（第一偏向部品、光学部品）
４００…光学部品
４１１…シリンドリカルレンズ
４１１Ｆ，４１１Ｇ…シリンドリカルレンズ（第四光学部品）
４１１Ｆｕ，４１１Ｇｕ…上部
４１１Ｆｌ，４１１Ｇｌ…下部
４１２…シリンドリカルレンズ（第四光学部品）
４２１…ウエッジプリズム（第二偏向部品）
４２１Ａ…ウエッジプリズム（第一光学部品、第二偏向部品）
４２１Ｂ…ウエッジプリズム（第二光学部品、第二偏向部品）
４２１Ａｕ…上部
４３０…半波長板
４４０…偏波合成素子
４４０ａ…第一入射面
４４０ｂ…第二入射面
４４０ｃ…出射面
４５０…ミラー（第三光学部品）
４５１…ミラー（第三光学部品）
５００…光ファイバ
５００ａ…端部
Ａｘ…中心軸
Ｂ…レーザ光
ＢＡ…レーザ光（第一レーザ光）
ＢＢ…レーザ光（第二レーザ光）
ｄ…ビーム径
Ｄ…距離
Ｇ…隙間
Ｌ…設置間隔
Ｌ１…第一距離
Ｌ２…第二距離
ＬＡ，ＬＢ…（載置面の）列
ＬＡ１，ＬＢ１…（ミラーの）列
Ｍ…素材
Ｘ１…第一方向
Ｘ２…第二方向
Ｙ３…第三方向（第一方向と直交する方向）
Ｚ４…第四方向
θ…角度（仰角）
θ１…第一仰角
θ２…第二仰角
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】