特許7644923有機修飾金属酸化物ナノ粒子、有機修飾金属酸化物ナノ粒子含有溶液、有機修飾金属酸化物ナノ粒子含有レジスト組成物及びレジストパターン形成方法

発明の名称　有機修飾金属酸化物ナノ粒子、有機修飾金属酸化物ナノ粒子含有溶液、有機修飾金属酸化物ナノ粒子含有レジスト組成物及びレジストパターン形成方法

出願人　独立行政法人産業技術総合研究所　（識別番号 301021533）

　　　　特許公開件数ランキング 192 位（262件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 138 位（280件）（共同出願を含む）

出願人　東京応化工業株式会社　（識別番号 220239）

　　　　特許公開件数ランキング 238 位（136件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 358 位（73件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7644923

公報発行日　2025年3月13

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7644923

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