平成19(行ケ)10278審決取消請求事件

平成２０年９月３０日判決言渡
平成１９年(行ケ)第１０２７８号 審決取消請求事件
平成２０年７月１５日口頭弁論終結
判 決
原 告 芝浦メカトロニクス株式会社
同訴訟代理人弁護士 鈴 木 和 夫
同訴訟代理人弁理士 土 橋 皓
同 樋 口 正 樹
被 告 日本エレクトロセンサリデバ
イス株式会社
同訴訟代理人弁理士 後 藤 政 喜
同 藤 井 正 弘
同 飯 田 雅 昭
同 木 島 俊 博
同 野 末 貴 弘
主 文
１ 原告の請求を棄却する。
２ 訴訟費用は原告の負担とする。
事 実 及 び 理 由
第１ 請求
特許庁が無効２００６−８０２３９号事件について平成１９年６月１９日に
した審決を取り消す。
第２ 事案の概要
１ 当事者間に争いのない事実等
(1) 本多エレクトロン株式会社（以下「本多エレクトロン」という。）及び
東芝セラミックス株式会社（以下「東芝セラミックス」という。）は，本多
エレクトロンの従業者であったＡ，Ｂ，Ｃ及び東芝セラミックスの従業者で
あるＤ，Ｅ，Ｆを発明者として（以下順に「Ａ」，「Ｂ」，「Ｃ」，「
Ｄ」，「Ｅ」，「Ｆ」という。），同人らから発明の名称を「ウエーハ用検
査装置」とする発明（請求項の数は３５である。以下これらを総称して「本
件各発明」という。）についてそれぞれ特許を受ける権利を承継し，平成１
４年２月１９日に上記６名を発明者として特許出願（特願２００２−４２３
９８）をした。
(2) 本件各発明については，平成１６年１２月１７日に，本多エレクトロン
及び東芝セラミックスに対して特許（以下「本件特許」といい，本件特許に
係る権利を「本件特許権」という。）がされ，その旨設定登録（特許第３６
２９２４４号）された。
(3) 本多エレクトロン（平成１７年１１月２日に株式会社ネットインデック
スに商号変更）は，平成１８年５月１日，原告に対し本件特許権の持分を譲
渡した。
(4) 被告は，平成１８年１１月１７日，無効審判請求（無効２００６−８０
２３９号事件）をし，特許庁は，平成１９年６月１９日，「特許第３６２９
２４４号の請求項１∼３５に係る発明についての特許を無効とする。」との
審決をした。
(5) 東芝セラミックスは，平成１９年８月８日，コバレントマテリアル株式
会社に対し本件特許権の持分を譲渡した（甲６６）。
２ 特許請求の範囲及び発明の詳細な説明の記載
(1) 本件特許に係る明細書（甲１。以下「本件明細書」という。）によれ
ば，本件特許の請求項１ないし３５は，下記のとおりである。
【請求項１】周端縁に底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッ
チがある円盤状のウエーハを検査するウエーハ用検査装置であって，該ウ
エーハを回転可能に支持する支持部と，該支持部に支持されて回転させら
れるウエーハの周端縁を連続的に撮像する周端縁撮像部と，上記ウエーハ
の周端縁を照明する周端縁照明部と，上記周端縁撮像部で撮像した撮像デ
ータを処理する制御部とを備えたウエーハ用検査装置において，上記周端
縁撮像部を，上記ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複
数の撮像カメラを配置して構成し，上記周端縁撮像部の撮像カメラを上記
周端縁の厚さ方向に沿って略直線状に撮像するラインセンサで構成し，上
記ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け，上記ノッチを照明するノッチ照
明部を設け，上記制御部に該ノッチ撮像部で撮像した撮像データを処理す
る機能を備え，上記ノッチ撮像部を，上記ノッチの厚さ方向の異なる部位
を撮像するエリアセンサで構成した複数の撮像カメラを配置して構成した
ことを特徴とするウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１」とい
う。）。
【請求項２】上記ウエーハの周端縁は，ウエーハの面に対して略直角な側
面，該側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成さ
れ，上記周端縁撮像部において，上記側面，上面及び下面に対応し各面に
対して撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した側面用撮像カメラ，上
面用撮像カメラ及び下面用撮像カメラを備え，該周端縁撮像部の各撮像カ
メラを，該各撮像カメラの撮像部位が上記ウエーハの周端縁の同じ位相位
置を撮像し得るように配置したことを特徴とする請求項１記載のウエーハ
用検査装置（以下，「本件発明２」という。）。
【請求項３】上記周端縁照明部を，上記ウエーハの周端縁の厚さ方向に沿う
所定の円弧に沿って照射面を形成し該円弧の中心に向けて収束するように
照射光を放光する光ファイバの集合体を備えて構成するとともに，上記周
端縁撮像部の各撮像カメラが該周端縁照明部からの照明光が反射した反射
光の明視野範囲に位置するように配置したことを特徴とする請求項２記載
のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明３」という。）。
【請求項４】上記制御部を，撮像データ処理部と，ＣＲＴ等の表示部とを備
えて構成し，上記撮像データ処理部を，上記周端縁撮像部の複数の撮像カ
メラで撮像したウエーハの周端縁をウエーハの角度位置の位相を合わせて
上記表示部に同時表示する周端縁表示手段を設けて構成したことを特徴と
する請求項１，２または３記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明
４」という。）。
【請求項５】上記撮像データ処理部を，ウエーハの周端縁の画像データから
基準にする基準輝度に対して所定以上の輝度差のあるエリアを欠陥部とし
て認識する欠陥部認識手段と，該欠陥部認識手段が認識した欠陥部を上記
表示部に座標表示する欠陥部座標表示手段とを備えて構成したことを特徴
とする請求項４記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明５」とい
う。）。
【請求項６】上記欠陥部座標表示手段を，ウエーハの周端縁の周方向に沿う
角度座標を表示する角度座標表示機能と，ウエーハの周端縁の厚さ方向に
沿う相対位置を表示する厚さ方向座標表示機能とを備えて構成したことを
特徴とする請求項５記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明６」と
いう。）。
【請求項７】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥
部の形状を認識する欠陥部形状認識手段と，該欠陥部形状認識手段が認識
した形状を上記表示部に表示する欠陥部形状表示手段を備えて構成したこ
とを特徴とする請求項５または６記載のウエーハ用検査装置（以下，「本
件発明７」という。）。
【請求項８】上記欠陥部形状認識手段を，予め定められたしきい値に基づい
て点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分けして認識する機能
を備えて構成したことを特徴とする請求項７記載のウエーハ用検査装置（
以下，「本件発明８」という。）。
【請求項９】上記周端縁撮像部の各撮像カメラの撮像面毎に，点欠陥部，線
欠陥部及び面欠陥部の分布を所定の角度単位で算出する欠陥分布算出手段
を備えたことを特徴とする請求項８記載のウエーハ用検査装置（以下，「
本件発明９」という。）。
【請求項１０】上記周端縁撮像部の各撮像カメラの撮像面毎に，点欠陥部，
線欠陥部及び面欠陥部の程度を所定の角度単位でランク付けする欠陥ラン
ク付け手段を備えたことを特徴とする請求項９記載のウエーハ用検査装
置（以下，「本件発明１０」という。）。
【請求項１１】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠
陥部の面積を算出する欠陥部面積算出手段と，該欠陥部面積算出手段が算
出した面積を上記表示部に表示する欠陥部面積表示手段と，上記欠陥部認
識手段が認識した欠陥部が外接する外接矩形の大きさを算出する欠陥部外
接矩形大きさ算出手段と，該欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した大
きさを上記表示部に表示する欠陥部外接矩形大きさ表示手段とを備えて構
成したことを特徴とする請求項５，６，７，８，９または１０記載のウエ
ーハ用検査装置（以下，「本件発明１１」という。）。
【請求項１２】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部面積算出手段が算出し
た欠陥部の面積と，欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した外接矩形の
大きさとから欠陥部の密度を算出する欠陥部密度算出手段と，該欠陥部密
度算出手段が算出した欠陥部の密度を上記表示部に表示する欠陥部密度表
示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項１１記載のウエーハ用
検査装置（以下，「本件発明１２」という。）。
【請求項１３】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠
陥部の平均輝度を算出する欠陥部輝度算出手段と，該欠陥部輝度算出手段
が算出した欠陥部の平均輝度を上記表示部に表示する欠陥部輝度表示手段
とを備えて構成したことを特徴とする請求項５，６，７，８，９，１０，
１１または１２記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１３」とい
う。）。
【請求項１４】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠
陥部に基づいて，当該ウエーハの良否を判定する良否判定手段と，該良否
判定手段が判定した当該ウエーハの良否を上記表示部に表示するウエーハ
良否表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項５，６，７，
８，９，１０，１１，１２または１３記載のウエーハ用検査装置（以
下，「本件発明１４」という。）。
【請求項１５】上記ノッチがウエーハの面に対して略直角な側面，該側面に
対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成され，上記ノッチ
撮像部の撮像カメラを，上記側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮
像方向を略直角に対面させて夫々配置したことを特徴とする請求項１，
２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３または１４記
載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１５」という。）。
【請求項１６】上記ノッチ撮像部において，上記ノッチの底部の側面に対応
した底部側面撮像カメラ，該底部の上面に対応した底部上面撮像カメラ，
該底部の下面に対応した底部下面撮像カメラ，上記ノッチの一方の側部の
側面に対応した一方側部側面撮像カメラ，上記ノッチの他方の側部の側面
に対応した他方側部側面撮像カメラを備えたことを特徴とする請求項１５
記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１６」という。）。
【請求項１７】上記ノッチ照明部を，上記ノッチに向けて照射光を放光する
発光ダイオードの集合体を備えて構成するとともに，上記ノッチ撮像部の
各撮像カメラが該ノッチ照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範
囲に位置するように配置したことを特徴とする請求項１，２，３，４，
５，６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５または１６記
載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１７」という。）。
【請求項１８】上記ノッチ照明部を，上記ノッチに向けて照射光を放光する
発光ダイオードの集合体を備えて構成するとともに，上記ノッチ撮像部の
各撮像カメラが該ノッチ照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範
囲に位置するように配置し，上記底部上面撮像カメラ及び底部下面撮像カ
メラに夫々設けられ該各撮像カメラの撮像面が中央に臨むドーム状の照射
面を形成し上記ノッチに向けて照射光を放光するドーム照射体と，上記底
部側面撮像カメラ，一方側部側面撮像カメラ及び他方側部側面撮像カメラ
の撮像面が臨むスリットを形成するように設けられた略平面状の照射面を
一対有し上記ノッチに向けて照射光を放光する平面照射体とを備えて構成
したことを特徴とする請求項１７記載のウエーハ用検査装置（以下，「本
件発明１８」という。）。
【請求項１９】上記制御部を，撮像データ処理部と，ＣＲＴ等の表示部とを
備えて構成し，上記撮像データ処理部を，上記ノッチ撮像部の複数の撮像
カメラで撮像したノッチの画像を上記表示部に同時表示するノッチ表示手
段を設けて構成したことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，
７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７または１
８記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明１９」という。）。
【請求項２０】上記撮像データ処理部を，上記表示部に表示される各撮像カ
メラに対応するノッチの画像の最適画像範囲を，基準位置を基準にして設
定する画像範囲設定手段を備えて構成したことを特徴とする請求項１９記
載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明２０」という。）。
【請求項２１】上記基準位置を，各撮像カメラに対応してノッチの表面に行
列状の点を付した基準ウエーハを撮像し，該撮像画面の行列状の点に基づ
いて決定することを特徴とする請求項２０記載のウエーハ用検査装置（以
下，「本件発明２１」という。）。
【請求項２２】上記撮像データ処理部を，ノッチの画像データから基準にす
る基準輝度に対して所定以上の輝度差のあるエリアを欠陥部として認識す
る欠陥部認識手段と，該欠陥部認識手段が認識した欠陥部を上記表示部に
座標表示する欠陥部座標表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請
求項１９，２０または２１記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明
２２」という。）。
【請求項２３】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠
陥部の形状を認識する欠陥部形状認識手段と，該欠陥部形状認識手段が認
識した形状を上記表示部に表示する欠陥部形状表示手段を備えて構成した
ことを特徴とする請求項２２記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発
明２３」という。）。
【請求項２４】上記欠陥部形状認識手段を，予め定められたしきい値に基づ
いて点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分けして認識する機
能を備えて構成したことを特徴とする請求項２３記載のウエーハ用検査装
置（以下，「本件発明２４」という。）。
【請求項２５】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠
陥部の面積を算出する欠陥部面積算出手段と，該欠陥部面積算出手段が算
出した面積を上記表示部に表示する欠陥部面積表示手段と，上記欠陥部認
識手段が認識した欠陥部が外接する外接矩形の大きさを算出する欠陥部外
接矩形大きさ算出手段と，該欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した大
きさを上記表示部に表示する欠陥部外接矩形大きさ表示手段とを備えて構
成したことを特徴とする請求項２２，２３または２４記載のウエーハ用検
査装置（以下，「本件発明２５」という。）。
【請求項２６】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部面積算出手段が算出し
た欠陥部の面積と上記欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した外接矩形
の大きさとから欠陥部密度を算出する欠陥部密度算出手段と，該欠陥部密
度算出手段が算出した欠陥部の密度を上記表示部に表示する欠陥部密度表
示手段とを備えて構成したことを特徴とする請求項２５記載のウエーハ用
検査装置（以下，「本件発明２６」という。）。
【請求項２７】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠
陥部の平均輝度を算出する欠陥部輝度算出手段と，該欠陥部輝度算出手段
が算出した欠陥部の平均輝度を上記表示部に表示する欠陥部輝度表示手段
とを備えて構成したことを特徴とする請求項２２，２３，２４，２５また
は２６記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明２７」という。）。
【請求項２８】上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠
陥部に基づいて，当該ウエーハの良否を判定するウエーハ良否判定手段
と，該ウエーハ良否判定手段が判定した当該ウエーハの良否を上記表示部
に表示するウエーハ良否表示手段とを備えて構成したことを特徴とする請
求項２２，２３，２４，２５，２６または２７記載のウエーハ用検査装
置（以下，「本件発明２８」という。）。
【請求項２９】上記支持部を，中心軸を回転中心として回転可能に設けられ
該中心軸を中心とする円周上に上記ウエーハの周端縁を支承する複数の支
承フィンガを備えた支承盤と，該支承盤を回転させる駆動部とを備えて構
成したことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１
０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，１９，２０，２
１，２２，２３，２４，２５，２６，２７または２８記載のウエーハ用検
査装置（以下，「本件発明２９」という。）。
【請求項３０】上記支承フィンガを，上記中心軸側に向けて下に傾斜する上
記ウエーハの周端縁を支承する支承面を備えて構成したことを特徴とする
請求項２９記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明３０」とい
う。）。
【請求項３１】上記支持部を，上記支承盤の支承フィンガに支承されたウエ
ーハの支承位置を可変にする支承位置可変機構を備えて構成したことを特
徴とする請求項２９または３０記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件
発明３１」という。）。
【請求項３２】上記支承位置可変機構を，上記支承盤と同軸の中心軸を中心
に相対回転可能に設けられ該中心軸を中心とする円周上に上記ウエーハの
周端縁を担持可能な複数の担持フィンガを備えるとともに該担持フィンガ
を上記支承盤の支承フィンガより上位の位置であって該ウエーハを担持し
て持ち上げる担持位置及び該支承フィンガより下位の位置であって該ウエ
ーハを上記支承フィンガに受け渡す受渡位置の２位置に移動可能な担持盤
と，該担持盤を上記担持位置及び受渡位置の２位置に移動させる移動機構
とを備えて構成したことを特徴とする請求項３１記載のウエーハ用検査装
置（以下，「本件発明３２」という。）。
【請求項３３】ウエーハの貯留部から検査対象のウエーハを搬送して上記支
持部の支承盤の支承フィンガに該ウエーハを芯出しして支承させるウエー
ハ搬送部を備えたことを特徴とする請求項２９，３０，３１または３２記
載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明３３」という。）。
【請求項３４】上記ウエーハ搬送部を，該ウエーハの周端縁に係合する係合
部を備えるとともに該係合部を係合させて該ウエーハを該ウエーハの面方
向に挾持して把持する把持位置及び該把持を解除する把持解除位置の２位
置に相対移動可能な一対の把持ハンドを備えて構成し，上記係合部に上記
把持位置で該ウエーハに弾接する弾接体を設けたことを特徴とする請求項
３３記載のウエーハ用検査装置（以下，「本件発明３４」という。）。
【請求項３５】上記支持部に支持されて回転させられるウエーハの直径を計
測する直径計測部を設けたことを特徴とする請求項１，２，３，４，５，
６，７，８，９，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１
８，１９，２０，２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２
９，３０，３１，３２，３３または３４記載のウエーハ用検査装置（以
下，「本件発明３５」という。）。
(2) 本件明細書の「発明の詳細な説明」には，以下のとおりの記載がある。
【０００１】【発明の属する技術分野】本発明は，円盤状のウエーハの周端
縁を撮像し，この撮像データに基づいてウエーハの検査を非破壊で行なう
ことができるようにしたウエーハ用検査装置に関する。
【０００２】【従来の技術】従来，この種のウエーハ用検査装置としては，
例えば，特開平８−１３６４６２号公報に掲載されたものが知られてい
る。
このウエーハ用検査装置は，図３４に示すように，円盤状のウエーハＷを
回転可能に支持する支持部１と，支持部１に支持されて回転させられるウ
エーハＷの周端縁Ｓを連続的に撮像する撮像カメラ２と，撮像カメラ２で
撮像した撮像画像を表示するＣＲＴ等のモニタ（図示せず）とを備えて構
成されている。
撮像カメラ２は，ウエーハＷに対して前後左右に移動可能に設けられてい
るとともにウエーハＷの厚さ方向に回動可能に設けられており，これらの
移動により撮像カメラの作動距離が調整される。
そして，ウエーハＷを回転させ撮像カメラ２を前後左右あるいは厚さ方向
に回動させてウエーハＷの周端縁Ｓをモニタに表示し，ウエーハＷの周端
縁Ｓにある欠陥の有無を観察するようにしている。
【０００３】【発明が解決しようとする課題】ところで，上述した従来のウ
エーハ用検査装置にあっては，ウエーハＷの周端縁Ｓの内，撮像カメラ２
の撮像方向に直角に対面する部位の画像は明瞭であるが，撮像カメラ２の
撮像方向に斜めになってしまう部位の画像は不鮮明になり易く，そのた
め，欠陥の抽出精度に劣っているという問題があった。
その理由は，例えば，図３４に示すように，ウエーハＷの周端縁Ｓが側面
ＳＳ及び側面ＳＳに対して傾斜して面取りされた上面ＳＡ，下面ＳＢを有
している場合には，撮像カメラ２をウエーハＷの厚さ方向に回動させてそ
の撮像方向を，例えば，側面ＳＳに直角に対面させて合わせると，上面Ｓ
Ａ及び下面ＳＢが撮像カメラ２の撮像方向に斜めになって撮像されること
になるので，画像が不鮮明になって撮像精度が悪くなるからである。
【０００４】また，ウエーハＷの側面ＳＳ，上面ＳＡ及び下面ＳＢを夫々明
瞭に撮像しようとすると，各面に合わせてその都度撮像カメラ２の位置を
移動させて各面に撮像カメラ２の撮像方向を直角に対面させる調整を行な
わなければならないので，操作が煩雑になるという問題もあった。
更に，モニタでは，側面ＳＳ，上面ＳＡ及び下面ＳＢを明瞭にして同時に
見ることができないという問題もあった。
【０００５】本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので，ウエーハの周
端縁が面取りされていても，撮像カメラの位置を逐一移動させることな
く，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に見ることができるようにして，操
作性を向上させるとともに，撮像精度を向上させ，欠陥の抽出精度の向上
を図ったウエーハ用検査装置を提供することを目的とする。
【０００６】【課題を解決するための手段】このような目的を達成するた
め，本発明のウエーハ用検査装置は，円盤状のウエーハを回転可能に支持
する支持部と，該支持部に支持されて回転させられるウエーハの周端縁を
連続的に撮像する周端縁撮像部と，該周端縁撮像部で撮像した撮像データ
を処理する制御部とを備えたウエーハ用検査装置において，上記周端縁撮
像部を，上記ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の
撮像カメラを配置して構成している。
これにより，ウエーハの検査を行なうときは，ウエーハを支持部に支持し
て回転させ，この状態で，周端縁撮像部で周端縁の画像を取込む。この場
合，周端縁撮像部は，ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像す
る複数の撮像カメラを備えているので，ウエーハの周端縁が面取りされて
いても，撮像カメラの位置を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明
瞭にしかも同時に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，撮像精度
が向上させられる。取り込まれた撮像データは制御部に送出されて処理さ
れる。
【０００７】そして，必要に応じ，上記撮像カメラを上記周端縁の厚さ方向
に沿って略直線状に撮像するラインセンサで構成している。周端縁を狭い
幅で撮像してこれを連続させるので，解像度が良く，撮像精度が向上させ
られる。
また，必要に応じ，上記ウエーハの周端縁がウエーハの面に対して略直角
な側面，該側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成
された場合，上記側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略
直角に対面させて夫々配置した側面用撮像カメラ，上面用撮像カメラ及び
下面用撮像カメラを備えた構成としている。ウエーハの周端縁の各面を明
瞭にしかも同時に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，撮像精度
が向上させられる。
【０００８】更に，必要に応じ，上記各撮像カメラを，該各撮像カメラの撮
像部位が上記ウエーハの周端縁の同じ位相位置を撮像し得るように配置し
た構成としている。撮像カメラを集約できるので，装置がコンパクトにな
る。
この場合，必要に応じ，上記ウエーハの周端縁を照明する周端縁照明部を
設け，該周端縁照明部を，上記ウエーハの周端縁の厚さ方向に沿う所定の
円弧に沿って照射面を形成し該円弧の中心に向けて収束するように照射光
を放光する光ファイバの集合体を備えて構成するとともに，上記各撮像カ
メラが該周端縁照明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置
するように配置した構成としている。
これにより，周端縁を照明する周端縁照明部は，ウエーハの周端縁の厚さ
方向に沿う所定の円弧に沿って照射面を形成し円弧の中心に向けて収束す
るように照射光を放光し，各撮像カメラは，周端縁照明部からの照明光が
反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置され，即ち，各撮像カ
メラは，Ｃ型の周端縁照明部からの照明を正反射で受けるよう配置されて
いるので，周端縁の各面を明瞭に撮像でき，特に，欠陥を良く撮像でき，
この点でも撮像精度が向上させられる。
【０００９】また，必要に応じ，上記制御部を，撮像データ処理部と，ＣＲ
Ｔ等の表示部とを備えて構成し，上記撮像データ処理部を，上記周端縁撮
像部の複数の撮像カメラで撮像したウエーハの周端縁をウエーハの角度位
置の位相を合わせて上記表示部に同時表示する周端縁表示手段を設けて構
成している。
これにより，周端面の面の状況，特に欠陥部の状況が視認できる。この場
合，複数の撮像カメラでウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像
しているので，ウエーハの周端縁が面取りされていても各面を明瞭にしか
も各面同時に視認することができ，それだけ，検査精度が向上させられ
る。
更に，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記周端縁表示手段によっ
て表示されたウエーハの周端縁の画像をウエーハの周端縁の周方向に沿っ
てスクロールするスクロール手段を設けて構成している。画像をスクロー
ルすることで，全周に亘って良く視認することができ，それだけ，検査精
度が向上させられる。
【００１０】更にまた，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，ウエーハの
周端縁の画像データから基準にする基準輝度に対して所定以上の輝度差の
あるエリアを欠陥部として認識する欠陥部認識手段と，該欠陥部認識手段
が認識した欠陥部を上記表示部に座標表示する欠陥部座標表示手段とを備
えて構成している。欠陥部の位置を特定できるので，それだけ，検査精度
が向上させられる。
この場合，必要に応じ，上記欠陥部座標表示手段を，ウエーハの周端縁の
周方向に沿う角度座標を表示する角度座標表示機能と，ウエーハの周端縁
の厚さ方向に沿う相対位置を表示する厚さ方向座標表示機能とを備えて構
成している。表示が確実になる。
【００１１】また，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識
手段が認識した欠陥部の形状を認識する欠陥部形状認識手段と，該欠陥部
形状認識手段が認識した形状を上記表示部に表示する欠陥部形状表示手段
を備えて構成している。欠陥の形状が分かるので，それだけ，検査精度が
向上させられる。
この場合，上記欠陥部形状認識手段を，予め定められたしきい値に基づい
て点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分けして認識する機能
を備えて構成したことが有効である。欠陥の種類が分類されるので，認識
が容易になる。
また，この場合，必要に応じ，上記各撮像カメラの撮像面毎に，点欠陥
部，線欠陥部及び面欠陥部の分布を所定の角度単位で算出する欠陥分布算
出手段を備えた構成としている。周端縁の欠陥の分布状態が分かるので，
欠陥の発生原因究明等に利用でき，それだけ，検査精度が向上させられ
る。
更に，この場合，必要に応じ，上記各撮像カメラの撮像面毎に，点欠陥
部，線欠陥部及び面欠陥部の程度を所定の角度単位でランク付けする欠陥
ランク付け手段を備えた構成としている。周端縁の欠陥の程度が分かるの
で，欠陥の発生原因究明等に利用でき，それだけ，検査精度が向上させら
れる。
【００１２】更にまた，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部
認識手段が認識した欠陥部の面積を算出する欠陥部面積算出手段と，該欠
陥部面積算出手段が算出した面積を上記表示部に表示する欠陥部面積表示
手段と，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部が外接する外接矩形の大き
さを算出する欠陥部外接矩形大きさ算出手段と，該欠陥部外接矩形大きさ
算出手段が算出した大きさを上記表示部に表示する欠陥部外接矩形大きさ
表示手段とを備えて構成している。欠陥の大きさを認識でき，それだけ，
検査精度が向上させられる。
また，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部面積算出手段が
算出した欠陥部の面積と，欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した外接
矩形の大きさとから欠陥部の密度を算出する欠陥部密度算出手段と，該欠
陥部密度算出手段が算出した欠陥部の密度を上記表示部に表示する欠陥部
密度表示手段とを備えて構成している。欠陥の広がりを認識でき，それだ
け，検査精度が向上させられる。
【００１３】更に，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識
手段が認識した欠陥部の平均輝度を算出する欠陥部輝度算出手段と，該欠
陥部輝度算出手段が算出した欠陥部の平均輝度を上記表示部に表示する欠
陥部輝度表示手段とを備えて構成している。欠陥部の輝度は欠陥の深さに
対応することから，欠陥の奥行きを認識でき，それだけ，検査精度が向上
させられる。
更にまた，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥
部に基づいて，当該ウエーハの良否を判定する良否判定手段と，該良否判
定手段が判定した当該ウエーハの良否を上記表示部に表示するウエーハ良
否表示手段とを備えて構成している。ウエーハの良否を自動的に判定でき
るので，検査が容易になる。
【００１４】そして，本発明において対象とするウエーハは，その周端縁に
底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがあるウエーハで
あり，本発明は，該ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け，上記制御部に
該ノッチ撮像部で撮像した撮像データを処理する機能を備えて構成し，上
記ノッチ撮像部を，上記ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の
撮像カメラを配置した構成としている。
これにより，ウエーハを支持部に支持して，ノッチ撮像部でノッチの画像
を取込む。ノッチ撮像部は，ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複
数の撮像カメラを備えているので，ノッチが面取りされていても，撮像カ
メラの位置を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時
に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，撮像精度が向上させられ
る。取り込まれた撮像データは制御部に送出されて処理される。
【００１５】そして，必要に応じ，上記撮像カメラを面状に撮像するエリア
センサで構成している。ウエーハを回転させることなく，一時に撮像でき
る。
そしてまた，必要に応じ，上記ノッチがウエーハの面に対して略直角な側
面，該側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成され
た場合，上記撮像カメラを，上記側面，上面及び下面に対応し各面に対し
て撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した構成としている。ノッチの
各面を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，
撮像精度が向上させられる。
この場合，必要に応じ，上記ノッチの底部の側面に対応した底部側面撮像
カメラ，該底部の上面に対応した底部上面撮像カメラ，該底部の下面に対
応した底部下面撮像カメラ，上記ノッチの一方の側部の側面に対応した一
方側部側面撮像カメラ，上記ノッチの他方の側部の側面に対応した他方側
部側面撮像カメラを備えた構成としている。ノッチの各面を明瞭にしかも
同時に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，撮像精度が向上させ
られる。
【００１６】また，必要に応じ，上記ノッチを照明するノッチ照明部を設
け，該ノッチ照明部を，上記ノッチに向けて照射光を放光する発光ダイオ
ードの集合体を備えて構成するとともに，上記各撮像カメラが該ノッチ照
明部からの照明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置し
た構成としている。ノッチ照明部からの照明光が反射した反射光の明視野
範囲に位置するように配置されているので，ノッチの各面を明瞭に撮像で
き，特に，欠陥を良く撮像でき，この点でも撮像精度が向上させられる。
更に，必要に応じ，上記ノッチを照明するノッチ照明部を設け，該ノッチ
照明部を，上記ノッチに向けて照射光を放光する発光ダイオードの集合体
を備えて構成するとともに，上記各撮像カメラが該ノッチ照明部からの照
明光が反射した反射光の明視野範囲に位置するように配置し，上記底部上
面撮像カメラ及び底部下面撮像カメラに夫々設けられ該各撮像カメラの撮
像面が中央に臨むドーム状の照射面を形成し上記ノッチに向けて照射光を
放光するドーム照射体と，上記底部側面撮像カメラ，一方側部側面撮像カ
メラ及び他方側部側面撮像カメラの撮像面が臨むスリットを形成するよう
に設けられた略平面状の照射面を一対有し上記ノッチに向けて照射光を放
光する平面照射体とを備えて構成している。これにより，ノッチを照明す
るノッチ照明部が，ドーム照射体及び平面照射体を備え，ノッチを良く照
明するとともに，各撮像カメラは，ノッチ照明部からの照明光が反射した
反射光の明視野範囲に位置するように配置されているので，ノッチの各面
を明瞭に撮像でき，特に，欠陥を良く撮像でき，この点でも撮像精度が向
上させられる。
【００１７】そして，必要に応じ，上記制御部を，撮像データ処理部と，Ｃ
ＲＴ等の表示部とを備えて構成し，上記撮像データ処理部を，上記ノッチ
撮像部の複数の撮像カメラで撮像したノッチの画像を上記表示部に同時表
示するノッチ表示手段を設けて構成している。
これにより，ノッチの面の状況，特に欠陥部の状況が視認できる。この場
合，複数の撮像カメラでノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像しているの
で，ノッチが面取りされていても各面を明瞭にしかも各面同時に視認する
ことができ，それだけ，検査精度が向上させられる。
【００１８】また，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記表示部に表
示される各撮像カメラに対応するノッチの画像の最適画像範囲を，基準位
置を基準にして設定する画像範囲設定手段を備えて構成している。これに
より，画像データのデータ処理が，この範囲設定された画像に基づいて行
なわれる。そのため，より精度の良い欠陥認識を行なうことができるよう
になる。
この場合，必要に応じ，上記基準位置を，各撮像カメラに対応してノッチ
の表面に行列状の点を付した基準ウエーハを撮像し，該撮像画面の行列状
の点に基づいて決定する構成としている。これにより，ノッチ撮像部で基
準ウエーハのノッチの画像を取込む。そして，ノッチ画像の焦点の合って
いる（ピントの合っている）箇所を，基準ウエーハに付した行列状の点を
目視により見て，この点の位置に合わせて，最適範囲設定を行なう。その
ため，行列状の点で細かく範囲合わせを行なうことができ，範囲設定が確
実に行なわれる。
【００１９】また，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，ノッチの画像デ
ータから基準にする基準輝度に対して所定以上の輝度差のあるエリアを欠
陥部として認識する欠陥部認識手段と，該欠陥部認識手段が認識した欠陥
部を上記表示部に座標表示する欠陥部座標表示手段とを備えて構成してい
る。欠陥部の位置を特定できるので，それだけ，検査精度が向上させられ
る。
このノッチの画像処理においても，上記周端部と同様に上記撮像データ処
理部を構成することが望ましい。
【００２０】即ち，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識
手段が認識した欠陥部の形状を認識する欠陥部形状認識手段と，該欠陥部
形状認識手段が認識した形状を上記表示部に表示する欠陥部形状表示手段
を備えて構成している。欠陥の形状が分かるので，それだけ，検査精度が
向上させられる。
この場合，上記欠陥部形状認識手段を，予め定められたしきい値に基づい
て点欠陥部，線欠陥部及び面欠陥部のいずれかに区分けして認識する機能
を備えて構成したことが有効である。欠陥の種類が分類されるので，認識
が容易になる。
【００２１】更にまた，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部
認識手段が認識した欠陥部の面積を算出する欠陥部面積算出手段と，該欠
陥部面積算出手段が算出した面積を上記表示部に表示する欠陥部面積表示
手段と，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥部が外接する外接矩形の大き
さを算出する欠陥部外接矩形大きさ算出手段と，該欠陥部外接矩形大きさ
算出手段が算出した大きさを上記表示部に表示する欠陥部外接矩形大きさ
表示手段とを備えて構成している。欠陥の大きさを認識でき，それだけ，
検査精度が向上させられる。
また，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部面積算出手段が
算出した欠陥部の面積と，欠陥部外接矩形大きさ算出手段が算出した外接
矩形の大きさとから欠陥部の密度を算出する欠陥部密度算出手段と，該欠
陥部密度算出手段が算出した欠陥部の密度を上記表示部に表示する欠陥部
密度表示手段とを備えて構成している。欠陥の広がりを認識でき，それだ
け，検査精度が向上させられる。
【００２２】更に，必要に応じ，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識
手段が認識した欠陥部の平均輝度を算出する欠陥部輝度算出手段と，該欠
陥部輝度算出手段が算出した欠陥部の平均輝度を上記表示部に表示する欠
陥部輝度表示手段とを備えて構成している。欠陥部の輝度は欠陥の深さに
対応することから，欠陥の奥行きを認識でき，それだけ，検査精度が向上
させられる。
更にまた，上記撮像データ処理部を，上記欠陥部認識手段が認識した欠陥
部に基づいて，当該ウエーハの良否を判定する良否判定手段と，該良否判
定手段が判定した当該ウエーハの良否を上記表示部に表示するウエーハ良
否表示手段とを備えて構成している。ウエーハの良否を自動的に判定でき
るので，検査が容易になる。
【００２３】そして，必要に応じ，上記支持部を，中心軸を回転中心として
回転可能に設けられ該中心軸を中心とする円周上に上記ウエーハの周端縁
を支承する複数の支承フィンガを備えた支承盤と，該支承盤を回転させる
駆動部とを備えて構成している。ウエーハが支承フィンガに支承されるの
で，ウエーハの面を傷つける等悪影響を及ぼす事態が防止される。
この場合，必要に応じ，上記支承フィンガを，上記中心軸側に向けて下
に傾斜する上記ウエーハの周端縁を支承する支承面を備えて構成したこと
が有効である。ウエーハの周端縁を支承面で線支持するようになるので，
より一層ウエーハの面を傷つける等悪影響を及ぼす事態が防止される。
【００２４】また，必要に応じ，上記支持部を，上記支承盤の支承フィンガ
に支承されたウエーハの支承位置を可変にする支承位置可変機構を備えて
構成している。支承位置を変えるので，支承フィンガのある撮像できない
ウエーハの部位を露出させて撮像できるようにすることができる。
この場合，必要に応じ，上記支承位置可変機構を，上記支承盤と同軸の中
心軸を中心に相対回転可能に設けられ該中心軸を中心とする円周上に上記
ウエーハの周端縁を担持可能な複数の担持フィンガを備えるとともに該担
持フィンガを上記支承盤の支承フィンガより上位の位置であって該ウエー
ハを担持して持ち上げる担持位置及び該支承フィンガより下位の位置であ
って該ウエーハを上記支承フィンガに受け渡す受渡位置の２位置に移動可
能な担持盤と，該担持盤を上記担持位置及び受渡位置の２位置に移動させ
る移動機構とを備えて構成している。
これにより，ウエーハの支承位置を変える際は，受渡位置にある担持盤を
担持位置に移動させ，支承盤に支承されていたウエーハを担持盤の担持フ
ィンガに担持して持ち上げ，この持ち上げられている間に，支承盤を回転
させて支承盤の支承フィンガが別の角度位相位置に位置させる。それか
ら，担持盤を受渡位置に位置させてウエーハを支承フィンガに受け渡す。
この場合，支承位置を変えるので，先に撮像できなかった部位を露出させ
て撮像できるようにすることができる。また，ウエーハを担持盤の担持フ
ィンガに担持させて持ち上げるので，ウエーハに傷をつける等の悪影響を
及ぼす事態が防止される。
【００２５】更に，必要に応じ，ウエーハの貯留部から検査対象のウエーハ
を搬送して上記支持部の支承盤の支承フィンガに該ウエーハを芯出しして
支承させるウエーハ搬送部を備えた構成としている。これにより，支承盤
の支承フィンガに対してウエーハが芯出しされて支承されるので，支承盤
に対するウエーハの位置決め精度が高くなり，その後の検査精度が向上さ
せられる。
この場合，必要に応じ，上記ウエーハ搬送部を，該ウエーハの周端縁に係
合する係合部を備えるとともに該係合部を係合させて該ウエーハを該ウエ
ーハの面方向に挾持して把持する把持位置及び該把持を解除する把持解除
位置の２位置に相対移動可能な一対の把持ハンドを備えて構成し，上記係
合部に上記把持位置で該ウエーハに弾接する弾接体を設けた構成としてい
る。把持ハンドは把持位置において，その係合部をウエーハの周端縁に係
合させ，ウエーハをウエーハの面方向に挾持して把持する。この把持によ
り，係合部の弾接体がウエーハに弾接されるので，ウエーハが中央に求心
させられ，支持部の支承盤の支承フィンガに対してウエーハが容易に芯出
しされる。
そして，必要に応じ，上記支持部に支持されて回転させられるウエーハの
直径を計測する直径計測部を設けた構成としている。ウエーハの直径検査
が，欠陥検査と同時に行われる。
【００６８】【発明の効果】以上説明したように，本発明のウエーハ用検
査装置によれば，ウエーハの周端縁撮像部を，ウエーハの周端縁の厚さ方
向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成したので，複
数の撮像カメラがウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像するこ
とから，ウエーハの周端縁が面取りされていても，撮像カメラの位置を逐
一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき，操
作性を向上させることができるとともに，撮像精度を向上させることがで
きる。
【００６９】そして，撮像カメラをラインセンサで構成した場合には，周
端縁を狭い幅で撮像してこれを連続させることができ，解像度が良く，撮
像精度を向上させることができる。
また，ウエーハの周端縁がウエーハの面に対して略直角な側面，この側面
に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成された場合，側
面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫
々配置した側面用撮像カメラ，上面用撮像カメラ及び下面用撮像カメラを
備えた場合には，ウエーハの周端縁の各面を明瞭にしかも同時に撮像で
き，操作性を向上させることができるとともに，撮像精度を向上させるこ
とができる。
【００７５】そして，本発明において対象とするウエーハは，その周端縁
に底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがあるウエーハ
であり，本発明は，ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け，このノッチ撮
像部を，ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配
置した構成にしたことから，複数の撮像カメラでノッチの厚さ方向の異な
る部位を撮像するので，ノッチが面取りされていても，撮像カメラの位置
を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像で
き，操作性を向上させることができるとともに，撮像精度を向上させるこ
とができる。
【００７６】また，撮像カメラを面状に撮像するエリアセンサで構成した
場合には，ウエーハを回転させることなく，一時に撮像できる。
そしてまた，ノッチがウエーハの面に対して略直角な側面，この側面に対
して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成された場合，撮像カ
メラを，側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対
面させて夫々配置した構成とした場合には，ノッチの各面を明瞭にしかも
同時に撮像でき，操作性を向上させることができるとともに，撮像精度を
向上させることができる。
３ 審決の内容
別紙審決書の写しのとおりである。
要するに，本件各発明は，本多エレクトロン及び東芝セラミックスの従業者
らのみが発明者ではなく，被告の従業者のＭ（以下「Ｍ」という。）も発明者
であること，Ｍは，本件各発明について特許を受ける権利の持分を，本多エレ
クトロン又は東芝セラミックスのいずれにも譲渡していないこと，したがっ
て，本件特許について特許を受ける権利は，本多エレクトロン，東芝セラミッ
クス及びＭの共有であるにもかかわらず，共有者が共同で特許出願をしたもの
とはいえないから，特許法３８条の規定に違反したものであるとするものであ
る。
第３ 取消事由に係る原告の主張
審決は，被告の従業者のＭが本件各発明の発明者に含まれるから，本件特許
出願は特許法３８条の規定に違反すると判断したが，誤りである。以下のとお
り，本件各発明は，前記本多エレクトロン及び東芝セラミックスの従業者６名
によって発明されたものであり，Ｍが関与してなされた発明ではない。
なお，原告は，被告が特許法１２３条２項ただし書きの「利害関係人」に該
当することについては，審判手続及び本訴においても争っていない。
１ 本件各発明の内容及び本件各発明に至る経緯について
(1) 本多エレクトロンは，平成１０年ころから東芝セラミックス向けのウエ
ーハエッジ検査装置（以下「本件ウエーハエッジ検査装置」という。）の開
発を始めた。本件ウエーハエッジ検査装置は，シリコンウエーハ外周部（端
面）上のキズ，カケ，チップ等の不良を非接触にて検出し，画像処理装置を
連動し，あらかじめ設定された条件に基づいて合否判定を自動又は手動です
る装置である（甲３３ないし３５）。
(2) 本多エレクトロンは，Ａに対して，本件ウエーハエッジ検査装置のう
ち，主に光学系の研究開発を指示し，平成１０年２月ころから平成１１年に
かけて湘南工科大学において半導体ウエーハに関する基礎的な学習をした
り，実験室を借りて実験を行なわせた（甲３６ないし３８，４８）。Ａは，
同大学における研究開発と共に，Ｂ及びＣから機械設計に関する情報や提案
を，東芝セラミックスのＤ，Ｅ及びＦから検査対象となる半導体ウエーハの
構造，検出すべき欠陥の性質や構造についての情報等を得た。そして，Ａは
上記研究開発を通じて，「ノッチ撮像部」においてはラインセンサに比べて
視野範囲の広いエリアセンサを従来のラインセンサに替えて用いると共に，
平成１１年９月ころには請求項１記載の構成を採用する着想を得て（甲４
８，６３の１ないし３，６８），上記実験による検証や理論的検証を通じて
平成１２年５月ころまでに本件各発明を完成させた。
(3) 本件各発明の従来技術にない特徴的部分は，請求項１に記載された，①
ウエーハ用検査装置において，②上記周端縁撮像部を，上記ウエーハの周端
縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成し，
③上記周端縁撮像部の撮像カメラを上記周端縁の厚さ方向に沿って略直線状
に撮像するラインセンサで構成すると共に，④ノッチ撮像部を設け，⑤上記
ノッチ撮像部を，上記ノッチの厚さ方向に異なる部位を撮像するエリアセン
サで構成した複数の撮像カメラを配置して構成したことにある。
(4) 本件発明１６及び１８記載の構成は，いずれも被告の技術者であるＭか
ら提案されたものであるが，それらの構成は請求項１に付加した部分にすぎ
ず，本件各発明の特徴的部分とはいえないから，これらの発明者も請求項１
の発明者であると解するべきである。
ア 本件発明１６について
本件発明１６において付加された「水平方向の２台のエリアセンサ」
は，本件発明１の「複数のエリアセンサ」のうちの水平方向の１台の機能
を分化させたもので，製品化する際に高解像度のエリアセンサの代わりに
低解像度のエリアセンサを選択可能にしたものにすぎず，本件発明１の設
計事項である。仮に当業者の技術常識を越える技術的な価値があったとし
ても，これを想到したのはＡであるから（甲４８，７０），被告の技術者
であるＭは本件発明１６の発明者ではない。
イ 本件発明１８について
本件発明１８において付加された構成については，甲４８，７０に記載
があるから，Ａが想到したものであり，被告技術者であるＭは本件発明１
８の発明者ではない。
２ Ａ作成のノート（甲４８，６７）について
(1) Ａ作成のノート（甲４８，６７）は，本件各発明のための基礎的研究，
光学的研究，湘南工科大学における実験の経緯，技術的な課題とその解決の
ための本件各発明の着想及びその検証，製品化のための具体的な部品構成等
の本件各発明に至る経緯を平成１０年２月ころから平成１２年５月ころまで
の間に時間を追って克明に記載したものであり，本件各発明のほとんどすべ
ての構成が記載されている（甲６０）。
(2) 甲４８，６７は，鉛筆書きであり一部に空白ページがあるが，記載内容
や体裁は極めて自然であるし，Ａが湘南工科大学で行なっていた実験内容と
その結果が符合しているから，改ざんされたり，後日に書き込まれたもので
はない。
３ Ａ作成の光学機材配置図等（甲６３の１ないし３，甲６８）について
Ａは，湘南工科大学における実験を通して本件各発明を着想したものであ
り，このことはＡ作成の光学機材配置図等（甲６３の１ないし３，甲６８）に
本件各発明が記載されていることから明らかである。
４ Ｂ作成の平成１２年１０月２３日付け図面（甲４２）について
甲４２は，本多エレクトロンが，本件各発明の完成を受けて，①ウエーハの
周端縁（エッジ）の厚さ方向の異なる部位をエリアセンサで構成された３台の
撮像カメラを配置し，②ウエーハのノッチの厚さ方向に異なる部位をエリアセ
ンサで構成された３台のカメラを配置する本件ウエーハエッジ検査装置を設計
していたことを示すものであり，平成１２年１０月２３日には本件各発明が完
成していることを示している。
５ Ａ作成の確認依頼書（甲６９）について
本多エレクトロンは，本件各発明の完成を受けて，東芝セラミックスに対し
本件ウエーハエッジ検査装置のβ版を作成し，貸し出すことにした（甲６
９）。甲６９には，本件発明１の構成を採用することが示されている。
６ Ａ作成のノート（甲７０）について
甲７０は，Ａが平成１２年１２月６日から８日まで開催されたセミコン・ジ
ャパン２０００（甲７１）の会場内で，被告のＳ（以下「Ｓ」という。）及び
Ｔ（以下「Ｔ」という。）に対し，本件各発明の特徴的な構成やその実施に係
る具体的な技術情報を開示，伝達した際に作成したノートである。この甲７０
の記載から，Ａが被告に対し本件各発明に関する情報（ウエーハのノッチのそ
の厚さ方向の異なる３つの部位をエリアセンサで撮像すること等）を開示，伝
達したことは明らかである。
７ 本件各発明に対する被告技術者の関与について
(1) 本多エレクトロンは，平成１２年ころ，本件各発明の完成を受けて，本
件ウエーハエッジ検査装置のうち撮像部（光学部）の具体的製品開発を被告
に依頼し，同年１０月２０日に被告の大阪技術センターにおいて被告が製作
した検査装置の立会評価及び打合せを行なった（甲８）。本件ウエーハエッ
ジ検査装置の開発に関する被告の関与は，この打合せ以降であり，被告の技
術者であるＭらは，本件各発明の完成後に関与したにすぎない。
(2) 被告は，上記打合せにおいて，本多エレクトンが被告に対してノッチ検
査手法の検討依頼をしたと主張するが失当である。本多エレクトロンは，上
記打合せにおいて，ノッチ部の撮像も複数のエリアカメラで行なうよう要請
したが，ラインセンサメーカーである被告は，ラインセンサで行なうことを
主張し譲らなかったので，本多エレクトロンが被告に対し，ノッチ検査の手
法の検討を指示したものである。
第４ 被告の反論
審決の認定判断はいずれも正当であって，審決を取り消すべき理由はない。
１ 本件発明に至る経緯について
(1) 本件ウエーハエッジ検査装置の開発は，平成１２年７月１７日に本多エ
レクトロンから被告に対して相談を持ちかけたことに始まるが，その後の過
程において，本多エレクトロンから本件各発明に関する情報が提供，開示さ
れたことはない。被告が，本件ウエーハエッジ検査装置の開発当初に作成し
た仕様書（甲７）は，３台のラインセンサカメラからなるエッジ撮像部のみ
を備えた構成からなるもので，本件各発明の必須の構成である複数のエリア
センサカメラからなるノッチ撮像部を備えていない。本件各発明は，その後
に，被告の技術者であるＭらが中心となって完成させたものである。
(2) 本件各発明の完成時期
①本多エレクトロンから被告に対し本件各発明に関する具体的な指示がな
かったこと，②本件特許の出願が本件各発明が完成したと原告が主張する時
期から約２年後であること，③本多エレクトロンと被告が守秘義務契約（甲
５７）を締結したのが本件各発明が完成したと原告が主張する時期より後の
平成１３年１２月２０日であることからすると，原告が主張する時期には本
件各発明が完成したとはいえない。
(3) 本件発明１６及び１８について
本件発明１６及び１８の特徴的部分は，ノッチ撮像部においてノッチを水
平方向の異なる部位を撮像する複数のカメラを備えた点にあり，この特徴的
部分はＭら被告技術者が発明したものであり，本件発明１６及び１８がされ
た当時周知技術でもない。
２ Ａ作成のノート（甲４８，６７）について
Ａ作成のノート（甲４８，６７）は，①日付がないこと，②サイン等の第三
者の確認がないこと，③空白のページが多く追記可能であること，④ほとんど
のページが鉛筆で記入されており，記載内容の改変，消去が容易であること，
⑤管理方法が不明であること，⑥実験を裏付ける実験データが何も添付されて
いないこと，⑦Ａが自ら考え出したものと他人や書籍から入手した情報が混在
しており，両者を区別することができないこと等の記載態様に照らすならば，
ノートの記載内容がいつ，どのような順序で記載されたか特定できないし，そ
れが記載当時のままであることや，Ａ自身が考え出したものであることを保証
することもできない。よって，甲４８，６７は，信用できない。
３ Ａ作成の光学機材配置図等（甲６３の１ないし３，甲６８）について
原告は，Ａ作成のノート（甲４８，６７）と同様，Ａが湘南工科大学におけ
る実験を通して本件各発明を着想したと主張し，その証拠として甲６３の１な
いし３，甲６８を提出するが，失当である。
ア 甲４８，６７と甲６３の１ないし３との対比
甲６３の１ないし３の記載内容と甲４８の記載内容とを対比した場合，①
カメラの周方向位置，②斜方向カメラのウエーハに対する取付角度，③ウエ
ーハを水平方向に移動させるスライド機構，ウエーハの傾斜角度を調整する
チルト機構，ウエーハの回転速度を調整する回転速度調整機構の有無，④端
面カメラ及び斜方向のカメラの型式の点で異なっているので，甲４８，６７
のノートが前記湘南工科大学における実験内容と符合しているということは
できない。
イ 甲６３の１ないし３と本件発明１との対比
甲６３の１ないし３記載の構成は，いずれも周縁部を撮像するエリアセン
サカメラを１台しか備えておらず，周縁部を撮像する複数のラインセンサカ
メラ（エッジ用）と複数のエリアセンサカメラ（ノッチ用）を特徴的部分と
する本件発明１とは異なる。
ウ 甲６８と本件発明１との対比
本件発明１は，エッジとノッチで使用するカメラを使い分けることを特徴
的部分とするのに対し，甲６８記載の実験は，エッジとノッチの両方をエリ
アセンサで撮像する構成であり，本件発明１とは異なる。原告は，エッジの
撮像はラインセンサで行なうことを前提として実験がなされていると主張す
るが，ラインセンサとエリアセンサとでは，必要とされる光学条件及びその
後の画像処理が異なるので，技術的に不可能であり失当である。
４ 甲４２の図面について
甲４２の構成はノッチの厚さ方向に異なる部位をエリアセンサで構成された
３台のカメラを配置する構成ではない（甲６５の３）。
５ Ａ作成の確認依頼書（甲６９）について
甲６９には，「端面画像取得用カメラ３台×２式（ノッチ：エリア，エッジ
：ライン」との記載があるだけで，その具体的な構成は不明である。
６ Ａ作成のノート（甲７０）について
(1) 甲７０には，日付の記載が一切なく，第三者による確認がないためその
作成時期を含めて客観性に欠ける。
(2) 原告は，Ａがセミコン・ジャパン２０００の会場内で甲７０を記載しな
がら被告のＳ及びＴに本件各発明に関する情報を開示・伝達したと主張する
が否認する。Ｓは，上記情報の開示・伝達を受けていないし，Ｔはセミコン
・ジャパン２０００には参加していない（乙７，８，１７）。
７ 本件各発明に対する被告技術者の関与について
甲５ないし７によれば，被告が本件ウエーハエッジ検査装置の開発に対して
関与したのは，平成１２年７月１７日以降であり，同年１０月２０日の打合せ
以前に本件ウエーハエッジ検査装置の開発に関与している。
第５ 当裁判所の判断
当裁判所は，本件各発明については，本多エレクトロン及び東芝セラミックス
の従業者であるＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆのみが発明者ではなく，被告の従業者で
あるＭも発明者であり，Ｍは，本件各発明について特許を受ける権利の持分を，
本多エレクトロン又は東芝セラミックスのいずれにも譲渡したことはなく，した
がって，本件特許について特許を受ける権利は，本多エレクトロン，東芝セラミ
ックス及びＭの共有であるにもかかわらず，共有者が共同で特許出願をしたもの
ではなく，本件特許は，特許法３８条の規定に違反したものであるから，審決に
誤りがあるとの原告の主張は理由がないと判断する。
その理由の詳細は，以下のとおりである。
発明とは，「自然法則を利用した技術的思想の創作のうち高度のもの」をい
い（特許法２条１項），「産業上利用することができる発明をした者は，・・・
その発明について特許を受けることができる」と規定されている（同法２９条１
項柱書き）。そして，発明は，その技術内容が，当該の技術分野における通常の
知識を有する者が反復実施して目的とする技術効果を挙げることができる程度に
まで具体的・客観的なものとして構成されたときに，完成したと解すべきであ
る（最高裁昭和５２年１０月１３日第一小法廷判決民集３１巻６号８０５頁参
照）。したがって，発明者とは，自然法則を利用した高度な技術的思想の創作に
関与した者，すなわち，当該技術的思想を当業者が実施できる程度にまで具体的
・客観的なものとして構成するための創作に関与した者を指すというべきであ
る。もとより，発明者となるためには，一人の者がすべての過程に関与すること
が必要なわけではなく，共同で関与することでも足りるというべきであるが，複
数の者が共同発明者となるためには，課題を解決するための着想及びその具体化
の過程において，発明の特徴的部分の完成に創作的に寄与したことを要する。そ
して，発明の特徴的部分とは，特許請求の範囲に記載された発明の構成のうち，
従来技術には見られない部分，すなわち，当該発明特有の課題解決手段を基礎付
ける部分を指すものと解すべきである。
上記の観点から，「本件各発明の内容」及び「本件各発明に関与した者の関与
の程度」を総合考慮して，被告の従業者であるＭが本件各発明の共同発明者の一
人に該当するか否かを考察する。
１ 本件各発明の内容
(1) 本件特許に係る特許請求の範囲の記載は，前記第２，２のとおりである
が，このうち請求項１を分説すると次のとおりである。
【請求項１】
ａ 周端縁に底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチが
ある円盤状のウエーハを検査するウエーハ用検査装置であって，該ウ
エーハを回転可能に支持する支持部と，該支持部に支持されて回転さ
せられるウエーハの周端縁を連続的に撮像する周端縁撮像部と，上記
ウエーハの周端縁を照明する周端縁照明部と，上記周端縁撮像部で撮
像した撮像データを処理する制御部とを備えたウエーハ用検査装置に
おいて，
ｂ 上記周端縁撮像部を，上記ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部
位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成し，
ｃ 上記周端縁撮像部の撮像カメラを上記周端縁の厚さ方向に沿って略
直線状に撮像するラインセンサで構成し，
ｄ 上記ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け，
ｅ 上記ノッチを照明するノッチ照明部を設け，
ｆ 上記制御部に該ノッチ撮像部で撮像した撮像データを処理する機能
を備え，
ｇ 上記ノッチ撮像部を，上記ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像す
るエリアセンサで構成した複数の撮像カメラを配置して構成した
ｈ ことを特徴とするウエーハ用検査装置（以下それぞれ「構成要件
ａ」ないし「構成要件ｈ」という。）
(2) 本件明細書（甲１）には，以下の記載がある（前記第２，２のとお
り）。
【０００１】【発明の属する技術分野】本発明は，円盤状のウエーハの周端
縁を撮像し，この撮像データに基づいてウエーハの検査を非破壊で行なう
ことができるようにしたウエーハ用検査装置に関する。
【０００２】【従来の技術】従来，この種のウエーハ用検査装置としては，
例えば，特開平８−１３６４６２号公報に掲載されたものが知られてい
る。
このウエーハ用検査装置は，図３４に示すように，円盤状のウエーハＷを
回転可能に支持する支持部１と，支持部１に支持されて回転させられるウ
エーハＷの周端縁Ｓを連続的に撮像する撮像カメラ２と，撮像カメラ２で
撮像した撮像画像を表示するＣＲＴ等のモニタ（図示せず）とを備えて構
成されている。
撮像カメラ２は，ウエーハＷに対して前後左右に移動可能に設けられてい
るとともにウエーハＷの厚さ方向に回動可能に設けられており，これらの
移動により撮像カメラの作動距離が調整される。
そして，ウエーハＷを回転させ撮像カメラ２を前後左右あるいは厚さ方向
に回動させてウエーハＷの周端縁Ｓをモニタに表示し，ウエーハＷの周端
縁Ｓにある欠陥の有無を観察するようにしている。
【０００３】【発明が解決しようとする課題】ところで，上述した従来のウ
エーハ用検査装置にあっては，ウエーハＷの周端縁Ｓの内，撮像カメラ２
の撮像方向に直角に対面する部位の画像は明瞭であるが，撮像カメラ２の
撮像方向に斜めになってしまう部位の画像は不鮮明になり易く，そのた
め，欠陥の抽出精度に劣っているという問題があった。
その理由は，例えば，図３４に示すように，ウエーハＷの周端縁Ｓが側面
ＳＳ及び側面ＳＳに対して傾斜して面取りされた上面ＳＡ，下面ＳＢを有
している場合には，撮像カメラ２をウエーハＷの厚さ方向に回動させてそ
の撮像方向を，例えば，側面ＳＳに直角に対面させて合わせると，上面Ｓ
Ａ及び下面ＳＢが撮像カメラ２の撮像方向に斜めになって撮像されること
になるので，画像が不鮮明になって撮像精度が悪くなるからである。
【０００４】また，ウエーハＷの側面ＳＳ，上面ＳＡ及び下面ＳＢを夫々明
瞭に撮像しようとすると，各面に合わせてその都度撮像カメラ２の位置を
移動させて各面に撮像カメラ２の撮像方向を直角に対面させる調整を行な
わなければならないので，操作が煩雑になるという問題もあった。
更に，モニタでは，側面ＳＳ，上面ＳＡ及び下面ＳＢを明瞭にして同時に
見ることができないという問題もあった。
【０００５】本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので，ウエーハの周
端縁が面取りされていても，撮像カメラの位置を逐一移動させることな
く，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に見ることができるようにして，操
作性を向上させるとともに，撮像精度を向上させ，欠陥の抽出精度の向上
を図ったウエーハ用検査装置を提供することを目的とする。
【０００６】【課題を解決するための手段】このような目的を達成するた
め，本発明のウエーハ用検査装置は，円盤状のウエーハを回転可能に支持
する支持部と，該支持部に支持されて回転させられるウエーハの周端縁を
連続的に撮像する周端縁撮像部と，該周端縁撮像部で撮像した撮像データ
を処理する制御部とを備えたウエーハ用検査装置において，上記周端縁撮
像部を，上記ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の
撮像カメラを配置して構成している。
これにより，ウエーハの検査を行なうときは，ウエーハを支持部に支持し
て回転させ，この状態で，周端縁撮像部で周端縁の画像を取込む。この場
合，周端縁撮像部は，ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像す
る複数の撮像カメラを備えているので，ウエーハの周端縁が面取りされて
いても，撮像カメラの位置を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明
瞭にしかも同時に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，撮像精度
が向上させられる。取り込まれた撮像データは制御部に送出されて処理さ
れる。
【０００７】そして，必要に応じ，上記撮像カメラを上記周端縁の厚さ方向
に沿って略直線状に撮像するラインセンサで構成している。周端縁を狭い
幅で撮像してこれを連続させるので，解像度が良く，撮像精度が向上させ
られる。
【００１４】そして，本発明において対象とするウエーハは，その周端縁に
底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがあるウエーハで
あり，本発明は，該ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け，上記制御部に
該ノッチ撮像部で撮像した撮像データを処理する機能を備えて構成し，上
記ノッチ撮像部を，上記ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の
撮像カメラを配置した構成としている。
これにより，ウエーハを支持部に支持して，ノッチ撮像部でノッチの画像
を取込む。ノッチ撮像部は，ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複
数の撮像カメラを備えているので，ノッチが面取りされていても，撮像カ
メラの位置を逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時
に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，撮像精度が向上させられ
る。取り込まれた撮像データは制御部に送出されて処理される。
【００１５】そして，必要に応じ，上記撮像カメラを面状に撮像するエリア
センサで構成している。ウエーハを回転させることなく，一時に撮像でき
る。
そしてまた，必要に応じ，上記ノッチがウエーハの面に対して略直角な側
面，該側面に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成され
た場合，上記撮像カメラを，上記側面，上面及び下面に対応し各面に対し
て撮像方向を略直角に対面させて夫々配置した構成としている。ノッチの
各面を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性が向上させられるとともに，
撮像精度が向上させられる。
【００６８】【発明の効果】以上説明したように，本発明のウエーハ用検査
装置によれば，ウエーハの周端縁撮像部を，ウエーハの周端縁の厚さ方向
の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して構成したので，複数
の撮像カメラがウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像すること
から，ウエーハの周端縁が面取りされていても，撮像カメラの位置を逐一
移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作
性を向上させることができるとともに，撮像精度を向上させることができ
る。
【００６９】そして，撮像カメラをラインセンサで構成した場合には，周端
縁を狭い幅で撮像してこれを連続させることができ，解像度が良く，撮像
精度を向上させることができる。
また，ウエーハの周端縁がウエーハの面に対して略直角な側面，この側面
に対して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成された場合，側
面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対面させて夫
々配置した側面用撮像カメラ，上面用撮像カメラ及び下面用撮像カメラを
備えた場合には，ウエーハの周端縁の各面を明瞭にしかも同時に撮像で
き，操作性を向上させることができるとともに，撮像精度を向上させるこ
とができる。
【００７５】そして，本発明において対象とするウエーハは，その周端縁に
底部及び両側部を有して略Ｕ字状に切り欠かれたノッチがあるウエーハで
あり，本発明は，ノッチを撮像するノッチ撮像部を設け，このノッチ撮像
部を，ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置
した構成にしたことから，複数の撮像カメラでノッチの厚さ方向の異なる
部位を撮像するので，ノッチが面取りされていても，撮像カメラの位置を
逐一移動させることなく，厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき，
操作性を向上させることができるとともに，撮像精度を向上させることが
できる。
【００７６】また，撮像カメラを面状に撮像するエリアセンサで構成した場
合には，ウエーハを回転させることなく，一時に撮像できる。
そしてまた，ノッチがウエーハの面に対して略直角な側面，この側面に対
して傾斜して面取りされた上面及び下面を備えて構成された場合，撮像カ
メラを，側面，上面及び下面に対応し各面に対して撮像方向を略直角に対
面させて夫々配置した構成とした場合には，ノッチの各面を明瞭にしかも
同時に撮像でき，操作性を向上させることができるとともに，撮像精度を
向上させることができる。
(3) 本件各発明に関連する従来技術
東芝セラミックス出願に係る特開平１０−３８５３９号公報（甲３９）に
は，次の記載がある。
【請求項２】少なくとも一面側外周全域が面取りされた半導体ウエハの外周
の一部に設けられたノッチ部分の形状を光学的に測定するウエハの形状認
識装置であって，半導体ウエハが載置されるウエハステージと，前記ウエ
ハステージに載置された半導体ウエハのノッチ部分の一面側をウエハ表面
に対して垂直方向から撮像する撮像手段と，前記撮像手段とノッチ部分を
結ぶ撮像光路上に配置され，半導体ウエハの他面側からノッチ部分に光を
照射する第１照明手段と，前記半導体ウエハの一面側に配置され，ウエハ
の面取り面を照射しない角度でウエーハ表面に対して光を照射する第２照
明手段と，前記半導体ウエハの一面側に配置され，ウエハの面取り面とウ
エーハ表面に対して光を照射する第３照明手段と，前記第１照明手段のみ
を点灯し，前記撮像手段からの画像データに基づいてウエハのノッチ部分
の形状を測定する第１測定モードと，前記第１照明手段および第２照明手
段を点灯し，前記撮像手段からの画像データに基づいてウエハの面取り幅
を測定する第２測定モードと，前記第３照明手段のみを点灯し，前記撮像
手段からの画像データに基づいてウエハのノッチ部分の観察を行うノッチ
観察モードとに切り替える制御手段とを具備したことを特徴とするウエハ
の形状認識装置。
【０００６】本発明は，このような従来のものの技術的課題を解決するため
になされたものであり，能率的に面取り幅を含むウエハノッチ部分の形状
を測定することができるウエハの形状認識装置を提供することを目的とす
るものである。また本発明は，前記したノッチ形状の測定と同時にノッチ
部におけるキズの有無などの観察を行うことも可能なウエハの形状認識装
置を提供することを目的とするものである。
【００２５】続いて，画像処理装置１９は照明制御装置２０に指令信号を送
出し，第３照明灯１７のみを点灯し，テレビカメラ１３からの画像データ
に基づいてウエハのノッチ部分の観察を行うノッチ観察モードに移行す
る，図４（ａ）は，ノッチ観察モードにおける照明灯の点灯状態を示した
ものであり，第３照明灯１７のみが点灯される。
【００２６】したがって，このときに得られる画像データに基づく映像は，
図４（ｂ）に示すようにノッチ部分における面取り面１１ｂおよびウエハ
１１の上面がハイライトとなり，表示装置２４に表示される実画像を例え
ば目視することにより，ウエハのノッチ部分にキズがあるか否かの検証を
行うことができる。
【００３１】また，これに加えてウエハの面取り面とウエーハ表面に対して
光を照射する第３照明手段が具備され，制御手段により第１照明手段，第
２照明手段および第３照明手段の点灯の組み合わせが変えられるように構
成したので，ノッチ部分の形状測定，面取り幅の測定に加え，ノッチ部分
のキズの有無の観察を可能にすることができる。したがって半導体ウエハ
のノッチ部分の検査時間を短縮させることができ，半導体の生産性を向上
させることができる。
(4) 本件発明１の内容及び特徴
前記(1)ないし(3)で認定した本件明細書及び刊行物の記載によれば，本件
発明１の特徴的部分は，以下のとおりと認められる。
すなわち，従来のウエーハ用検査装置においては，ウエーハの周端縁のう
ち，撮像カメラの撮像方向に斜めになる部位の画像は不鮮明になり易く，ま
た，ウエーハの側面，上面及び下面をそれぞれ明瞭に撮像しようとすると，
各面に合わせてその都度撮像カメラの位置を移動させなければならないの
で，操作が煩雑になり，さらに，モニタでは側面，上面及び下面を明瞭にし
て同時に見ることができないという技術的課題があった。そこで，本件発明
１を含む本件各発明は，このような技術的課題を解決するために，①ウエー
ハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を撮像する複数の撮像カメラを配置して
構成し（構成要件ｂ），ウエーハの検査を行なうときは，ウエーハの周端縁
が面取りされていても，撮像カメラの位置を逐一移動させることなく，厚さ
方向全部を明瞭にしかも同時に撮像でき，操作性を向上させることができる
ようにし，②撮像カメラを周端縁の厚さ方向に沿って略直線状に撮像するラ
インセンサで構成することで（構成要件ｃ），周端縁を狭い幅で撮像してこ
れを連続させることができ，解像度が良く，撮像精度を向上させ，③ノッチ
の厚さ方向の異なる部位を撮像するエリアセンサで構成した複数の撮像カメ
ラを配置することで（構成要件ｇ），ノッチが面取りされていても撮像カメ
ラの位置を逐一移動させることなく厚さ方向全部を明瞭にしかも同時に撮像
でき，しかもウエーハを回転させることなく一時に撮像できるので操作性が
向上するという従来技術では達成し得なかった課題解決を図るものといえ
る。
２ 本件各発明に至るまでの経緯
前記当事者間に争いの事実等並びに証拠（各項に挙げたもの）及び弁論の全
趣旨によると，以下の事実が認められる。
(1) 本多エレクトロンは，平成１０年９月ころから，東芝セラミックス向け
の本件ウエーハエッジ検査装置の開発を開始した（甲３３ないし３８）。本
多エレクトロンにおける開発の担当者であるＡは，同年９月２９日，東芝セ
ラミックスのＦから，本件ウエーハエッジ検査装置に関する要求仕様書（甲
３３）の送付を受けた。
甲３３には，次の記載等がある。
「４．用途，目的，性能
シリコンウエーハ外周部（端面）上のキズ，カケ，チップ等の不良
を非接触にて検出し，画像処理装置と連動し，あらかじめ設定された
条件に基づいて合否判定を自動又は手動でする装置。（中略）
５．測定対象物
（中略）
(2)ウエーハ（ノッチ）
・直径： ３００ｍｍ±０．２ｍｍ
・厚み： ８００μｍ±１００μｍ及び７５０μｍ±１００μｍ
・鏡面及びエッチング面（端面を含む）」
(2) Ａは，平成１０年１１月２７日，前記要求仕様書を受けて，本件ウエー
ハエッジ検査装置に関して，「東芝セラミックス（株）開発研究所殿向け
ＳＷＩ１２０４Ｃ用１２インチ端面検査システム改造提案仕様（見積Ｎｏ．
４２０６）」を作成した（甲３４）。甲３４には，次の記載等がある。
「４．用途，目的，性能 シリコンウエーハ外周部（端面）上のキズ，カ
ケ，チップ等の不良を非接触にて検出し，画像処理装置との検出結果を
モニターで確認し，合否判定を手動でする装置である。光学系は既存の
本多エレクトロン製の面検ハンドラーに取り付ける。」
「５．測定対象物
（中略）
(2)ウエーハ（ノッチ）
・直径： ３００ｍｍ±０．２ｍｍ
・厚み： ８００μｍ±１００μｍ及び７５０μｍ±１００μｍ
・鏡面及びエッチング面（端面を含む）
・自重たわみ・反り等は考慮しない」
(3) Ａは，Ｆ等と共に，平成１１年１１月５日及び６日に，湘南工科大学に
おいて，本件ウエーハエッジ検査装置に関する実験を行なった（甲３７，３
８）。甲３７，３８には，「３．端面検査装置評価 １）ベベル画像の取得
具合評価，２）端面欠陥の整合性評価」との記載がある。
(4) Ａは，平成１２年７月２８日，「『φ３００ｍｍウエーハ端面検査装置
β版貸出対応』の件＜御確認＞」と題する確認依頼書（提案書）を作成し，
東芝セラミックスらに提出した（甲６９）。この甲６９には，次の記載があ
る。
「９．２）端面画像取得用カメラ ３台×２式（ノッチ：エリア，エッジ
：ライン）
３）端面画像取得要（判決注：「用」の誤記と思料する。）照明
３機（ノッチ：２機，エッジ：１機）
４）画像処理ＰＣ ４台（ノッチ：１台，エッジ：３台）」
(5) 被告は，工業用の特殊カメラの専業メーカーとして，平成１１年１２月
ころウエーハエッジ検査装置の開発を行っていた（乙２１）。Ａらは，平成
１２年７月１７日に被告東京支社を訪れ，被告に技術面でのアドバイスを受
け，共同開発に関する取引が開始した（乙９ないし１１）。その後，Ａは，
被告の役員であるＳに対し，本件ウエーハエッジ検査装置に関して，平成１
２年９月２２日に調整用サンプルを送付し（甲６），同年９月２７日に上記
検査装置の開発スケジュール等をメールで送信し（甲５），同年１０月１２
日に端面欠陥限界見本サンプルを送付し，アドバイスを受けた（甲６）。
(6) 本多エレクトロンのＣ及びＢは，平成１２年１０月１６日，東芝セラミ
ックス向けの「自動端面欠陥座標計測装置見積り仕様書」を作成した（甲３
０。判決注：本件ウエーハエッジ検査装置と「自動端面欠陥座標計測装置」
は同義であると認められる（乙２１）。以下同じ。）。同仕様書には，被告
製の「高解像度端面画像取得ユニット」及び「端面欠陥座標計測システム」
を使用することが記載されている。
(7) 被告のＰ（以下「Ｐ」という。）は，平成１２年１０月１９日付けで「
φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置画像処理部仕様」を作成した（甲
７）。同仕様書には，以下の記載がある。
「本画像処理部は，φ３００ｍｍウエハの端面を高解像度ラインセンサカ
メラで観測し，欠陥の位置と個数を自動検出した後，オペレータもしくはあ
らかじめ設定された判定式により合否判定を行う。
１．ウエハ端面観測方式について
曲率を持ったウエハの端面を，拡大し正確に観測するには，被写界深
度，照明方法の両面から，ラインセンサーを用いる方法が適します。
２．光学系概略仕様
ラインセンサカメラ １０２４画素高速デジタルラインセンサカメラ」
(8) 平成１２年１０月２０日，被告の大阪技術センターにおいて，被告の
Ｓ，Ｐ，Ｍ，本多エレクトロンのＲ，Ｃ，Ａ，東芝セラミックスのＤ等が出
席して自動欠陥座標計測装置に関する仕様打合せが行なわれた（甲８，乙２
１，２３，２４）。Ａ作成の議事録及びＰ作成の打合せ記録（甲８）には，
以下の記載がある。
「ノッチは検査の手方を検討して頂く。要回答 ＮＥＤ殿（判決注：被告
を指す。）→弊社１１／１３」
「ノッチ内部も検査したい→サンプルを頂く。（１１／１発送）
ノッチに多い欠陥は 欠け，非ミラー，ヒビ割れ（Ａ氏）
レンズ系，照明を検討する
・ベベル形状は１１／１発送 東セラ殿→日商→本多→ＮＥＤ
設計データ，サンプル含む（ノッチサンプル含む） 着は１１／６
カメラ位置回答は∼１１／１３ ＮＥＤ→本多」
(9) 本多エレクトロンのＢは，平成１２年１０月２３日，「自動端面欠陥座
標計測装置カメラ取付範囲図」を作成した（甲４２）。甲４２の図面には，
ウエーハの周端縁の厚さ方向の異なる部位を該方向に沿って略直線状に撮像
する３台のカメラが示されている。
(10) 東芝セラミックスのＤは，平成１２年１１月１日，被告のＰ，本多エレ
クトロンのＣ，Ａ等に対し，「３００ｍｍウエーハ端面検査装置について」
と題する書面を送付した（甲９）。甲９には次の記載がある。
「２．ノッチ形状規格について
（中略）
参考までに形状見本サンプルのＥｄｇｅ形状実測結果を添付します（別
紙１）。
３．ノッチで検出する欠陥レベルについて
（中略）
（別紙３）で①端面上のピット，および②テーパー面上のスジ状のもの
が検出できる分解能が欲しいです。…」
また，甲９の別紙１には，Ｔｙｐｅ−Ａ，Ｔｙｐｅ−Ｂのウエーハの断面
形状を示した図が記載され，さらに，略Ｕ字状に切り欠かれたノッチが示さ
れている。
(11) Ｄは，平成１２年１１月８日，Ｍ及びＡ等に対し，端面検査装置用形状
見本サンプル（２００ｍｍ）を送付し（甲１０），被告においてそれを使用
してノッチの撮像実験が行なわれた（乙１４ないし１６）。
(12) 被告は，平成１２年１２月１１日，「φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計
測装置画像処理部」に関する見積仕様書を作成し（甲１１），本多エレクト
ロンに対して開発費を１０００万円とする見積書（甲１２）を提出した。
上記甲１１の「Ⅱ システム仕様」には，次の記載がある。
「１．概要
本画像処理部は，φ３００ｍｍウエハの端面を高解像度ラインセン
サカメラで観測し，欠陥の位置と個数を自動検出した後，オペレータ
もしくはあらかじめ設定された判定式により合否判定を行うシステム
です。
２．光学系概略仕様
ラインセンサカメラ １０２４画素高速デジタルラインセンサカメ
ラ（３台）
５．ノッチ部画像取込光学系概略
ノッチ部画像取込光学系部品の概略仕様を以下に示します。
エリアＣＣＤカメラ ６４０×４８０画素カメラ（３台）
６．ノッチ部画像入力について
３台のエリアカメラを切り替えて画像取り込みを行うため，切り替
え時間等含めて約２秒ウエハを静止させる必要があります。」
また，甲１１の「添付２．エッジ検査部構成図」には，ウエハの周端縁の
厚さ方向の異なる部位を該方向に沿って略直線状に撮像する３台のカメラ（
ラインカメラ１∼３。なお，ラインカメラ１（同３）が水平となす角度は４
５度±１０度（−４５度±１０度）。）が示され，「添付３．ノッチ検査部
構成図」には，ノッチの厚さ方向の異なる部位を撮像する３台のカメラ（エ
リアカメラ１∼３。なお，エリアカメラ１（同３）が水平となす角度は４５
度±１０度（−４５度±１０度）。）が示されている。
(13) 被告は，平成１３年１月９日，本件ウエハーエッジ検査装置に関する見
積書を作成し，本多エレクトロンに提出した（甲４３）。上記見積書に添付
された「ウェハエッジ検査装置ソフトウェア仕様書」の「１．概要」に
は，「エッジは，表面，側面，裏面の３方向より，３台のラインセンサカメ
ラで取り込みます。但し，ノッチ部側面については，エリアカメラにて２方
向からみるものとします。」との記載とともに，上面図及び側面図にはそれ
ぞれラインカメラ３台とエリアカメラ２台が示されている。
(14) 平成１３年１月１８日，本多エレクトロンの本社会議室において，本多
エレクトロンのＡ，Ｒ，被告のＳ，Ｐ等が出席して，φ３００ｍｍ自動端面
欠陥座標計測装置画像処理部仕様打合せが行われた（甲１３）。被告は，本
多エレクトロンに対し，「φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置画像処理
部」の納入仕様書を提出した（甲４４）。甲４４には次の記載がある。
「II．仕様
２．設備能力条件及び主仕様
(4)観測部位
①ウエハ外周部
②ベベル部 表／裏
③Ｖノッチ：ボトム部分は，ラインセンサにてある程度観測可能
＊サイド部については２次元カメラにて観測
III．装置構成
１．ウエハ検査ステージ
(4)カメラユニット
エッジ検査用：３．５倍高解像テレセントリックレンズ
ラインセンサカメラ＜ＮＵＦ１０２４Ｄ＞
Ｖノッチ部用：２．０倍テレセントリックレンズ
２次元ＣＣＤカメラ
ノッチ端面２方向観察用
IV．システム仕様
１．概要
エッジは，表面，側面，裏面の３方向より，３台のラインセンサ
カメラで取り込みます。但し，ノッチ部側面については，エリアカ
メラにて２方向からみるものとします。」
(15) 被告は，本多エレクトロンに対し，平成１３年１月２４日，「φ３００
ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置」の納入仕様書を提出した（甲４５）。甲４
５には次の記載がある。
「II．仕様
４．(1) 端面検出光学系
ラインセンサカメラ ＮＵＦ１０２４Ｄ
１０２４画素高速デジタルラインセン
サカメラ（３台）
(2) ノッチ部検出光学系
エリアＣＣＤカメラ ＭＰ−ＭＩＡ
６４０×４８０画素カメラ（２台）
III．システム仕様
１．概要
…エッジは，表面，側面，裏面の３方向より，３台のラインセン
サカメラで取り込みます。但し，ノッチ部側面については，エリアカ
メラにて２方向からみるものとします。」
(16) 平成１３年２月６日，被告の大阪技術センターにおいて，本多エレクト
ロンのＲ，Ａ，被告のＳ，Ｐが出席して，ウエハ端面欠陥座標計測装置仕様
打合せが行なわれ（甲１４），同月９日に，ＭはＡに対し，二次元ＣＣＤカ
メラによるノッチ端面画像及びラインセンサカメラによるノッチベベル面画
像を送付した（甲１５，１６）。
(17) Ｍは，Ｓに対し，平成１３年２月１７日から同月２３日にかけて電子メ
ールを送信した（甲１７ないし２０）。このうち同年２月１９日付け電子メ
ール（甲１８）には，「ノッチベベル面を他のベベル面と同様にラインセン
サカメラで見るというのは照明が煩雑になります。エリアセンサカメラで見
るのが実用的と思います。またノッチをエリアセンサカメラで見る場合，
上，横，下の３箇所から見るというのが妥当ではないでしょうか。」との記
載があり，同月２０日付け電子メール（甲１９）には，「ノッチのベベル面
はエリアセンサカメラで見るように，方針を変えるというのはいかがでしょ
うか？」との記載があり，同月２３日付け電子メール（甲２０）には，「こ
れまでの実験からは，ノッチの撮影は次の構成になるかと思います。上下ベ
ベル：それぞれカメラ一台，円錐上ＬＥＤ照明一つ。ノッチ側面：左右，そ
れぞれカメラ１台，メタハラ面照明２枚（間から覗きます）。ノッチ正面：
カメラ１台，照明は上記メタハラ面照明を併用。カメラは計５台，照明はＬ
ＥＤが２個，メタハラが４個になります。」との記載がある。
そして，Ｍは，Ａに対し，平成１３年３月１日に電子メールを送信し（甲
２１），その中で，「ノッチベベル面の撮影をラインセンサカメラで行うこ
とを断念し，エリアカメラに切り替えた理由を記します。添付画像をご覧下
さい。左は，Ｃ型メタハラ照明のみの場合で，光軸のやや左側より照射して
います。右は，それに加え，光軸の右側に１００Ｗの白熱電球を配置したも
のです。左側面が見えるようになりましたが，右側面用にもう一つ電球が必
要です。結局，上下で計４個の電球が必要になり，照明が非常に煩雑になり
ます。また，電球は，破損，寿命の問題もあります。（中略）一方，エリア
カメラで撮影したノッチベベル面は，分解能はラインセンサカメラの場合に
比べ劣りますが，十分なものが得られていると思います。」と述べている。
(18) 平成１３年３月５日，被告のＳ，Ｐ，本多エレクトロンのＲ，Ｃ，Ｂ，
Ａが出席して「自動端面欠陥座標計測システム極秘ミーティング」が行なわ
れた（甲３１，５８）。この際，本多エレクトロンは，被告に対し，φ３０
０ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置開発評価器材一式の借用を依頼した（甲２
７）。
また，Ｍは，同日付けで「品名：φ３００ｍｍ自動端面欠陥座標計測装置
形式：ＬＷ−３００ＤＸ」と題する本多エレクトロン宛ての仕様書（甲４
６）及び「ウエーハエッジ検査装置ノッチ検査用光学系図面」（甲２３）を
作成した。
前記甲２３及び４６には，ノッチを観察するためのエリアカメラ５台を使
用する構成が，甲４６にはラインセンサカメラ３台を使用する構成がそれぞ
れ記載されている。
(19) Ｍは，平成１３年３月２６日付けで「品名：φ３００ｍｍ自動端面欠陥
座標計測装置 形式：ＬＷ−３００ＤＸ」と題する本多エレクトロン宛ての
仕様書（甲２６）を作成した。甲２６には，下記の記載がある。
「用途 φ３００ｍｍシリコンウエハー端面欠陥座標計測装置画像処理
部」（１頁）
「２．１号機検収条件
①ウエハー端面（上面ベベル・側面・下面ベベル）の良質な画像を撮
像出来ること。」（２頁）
「II 仕様
２．対象物仕様
(2) ウエハー端面形状
ユーザー提供別紙＜Ｔｙｐｅ−Ａ，Ｔｙｐｅ−Ｂウエハー端面
／ノッチ形状＞資料に準ずる」
３．画像処理部仕様
(1) 端面検出光学系
ラインセンサカメラ １０２４画素高速デジタルラインセンサ
カメラ（３台）
レンズ ３．５倍テレセントリックタイプ（３
本）
照明 高輝度メタルハライドランプ（１台），
ライトガイド（特殊Ｃ型リングライト）
(2) ノッチ部検出光学系
エリアＣＣＤカメラ ７６８×４９４画素カメラ（５台）
レンズ ２．０倍高解像度レンズ（５本）
照明 ＬＥＤ無影照明 ベベル部：ＬＡＶ−８
０（２本），ＬＥＤ面照明 側面：ＬＤ
Ｌ−７４×２７−Ｎ（３本）
Ⅲ システム仕様
２ 構成
２．１カメラ構成
エッジは，表面，側面，裏面の３方向より，３台のラインセン
サカメラで取り込みます。但し，ノッチ部側面については，エリ
アカメラにて５方向からみるものとします。」
以上の記載の他に，図面（８頁）には，エリアカメラ２（ノッチ左側面観
察用），エリアカメラ３（ノッチ右側面観察用），エリアカメラ４（ノッチ
上ベベル用），エリアカメラ１（ノッチ底面用），エリアカメラ５（ノッチ
下ベベル用），ラインセンサ２（表面観察用），ラインセンサ１（側面観察
用），ラインセンサ３（裏面観察用）が記載されている。「２．２装置構
成図」（９頁）には，エリアカメラ１∼５及びラインセンサカメラ１∼３か
らのデータを処理するパソコン（側面観測用パソコン，表面観測用パソコ
ン，裏面観測用パソコン）が示されている。
(20) 被告のＭ，Ｔと本多エレクトロンのＡ，Ｂとの間で平成１３年１０月１
７日に契約内容の事前確認が行なわれ，この際に作成されたメモ（甲３２，
５９）には，「１．ＮＥＤ殿の申し入れ事項」に「ＬＷ−３００ＤＸの光学
販売権はＮＥＤにあると主張」と，「２．本多見解」に「ＬＷ−３００−Ｄ
Ｘの光学部販売権はＮＥＤ殿と本多にあると主張」と記載されている。
(21) 被告は，平成１３年１０月２４日，「品名：φ３００ｍｍウェーハ端面
欠陥座標検査システム 初号機及びその開発 形式：ＬＷ−３００ＤＸ−１
Ａ」と題する本多エレクトロン宛ての取扱説明書兼メインテナンスマニュア
ル（光学系編）を作成した（甲２８）。甲２８には，次の記載等がある。
ア 「図１−１．光学系概観」（３頁）には，「エリアセンサカメラ，ＬＥ
Ｄ照明（ノッチ観察用）」，「ラインセンサカメラ（エッジ上面観察
用）」，「ラインセンサカメラ（エッジ側面観察用）」，「ラインセンサ
カメラ（エッジ下面観察用）」，「Ｃ型ライトガイド」，「メタルハライ
ド光源」，「ラインセンサカメラ取り付けステージ」及び「ラインセンサ
カメラ取り付けステージ固定台」が示されている。
イ 「２．ラインセンサの光学系」（４∼１１頁）には，「各ラインセンサ
は，Ｃ型ライトガイドからの照明を，正反射で受けるよう配置しま
す。」（４頁），「図２−６は，Ｃ型照明を，ファイバ接続部のファイバ
軸まわりに少し回転させ，より輝度の高い成分のテーパ面からの正反射光
が下カメラに入るように調整したものです。」（８頁），との記載があ
り，図２−８には，Ｃ型ライトガイドが，ウエーハのエッジの厚さ方向に
沿う所定の円弧に沿って照射面を形成し該円弧の中心に向けて収束するよ
うに配置されていることが示されている。
ウ 「３．ラインセンサの取り付け，調整手順」（１２頁）には，「側面，
上面，下面用の各カメラ取り付けステージを，垂直に立った固定台の側面
に取り付けます（図１−１）。」との記載がある。
エ 「４．エリアセンサの光学系」（１４頁）には，次の記載がある。
「図では，角型照明と円錐状同軸無影照明がウェーハ上に映っています
が，実際も，このようにウェーハに対して上下に対象に照明が配置されて
います（ウェーハが透けているとイメージしてください）。
ノッチ部側面にあたる，底面，左側面，右側面は，２枚の角型照明の隙
間から覗く形で撮影します。隙間は５ｍｍ程度が適当です。
上，下テーパ面は，円錐状同軸無影照明の中央部から覗く形で撮影しま
す。」
オ 「５．エリアセンサの取り付け，調整手順」（１５頁）には，「照明に
関しても，光軸方向に移動させ，最適な場所を探します。」との記載があ
る。
カ 「６．構成品リスト」（１６頁）には，「①ラインセンサ光学系」とし
て，ラインセンサカメラ３個，メタルハライドランプ１個，Ｃ型ライトガ
イド１個が，また「②エリアセンサ光学系」として，エリアセンサカメラ
５個，ＬＥＤ照明器（１）２個，ＬＥＤ照明器（２）２個がそれぞれ記載
されている。
キ 「８．保守体制」（１８頁）には，「お問合せ先：日本エレクトロセン
サリデバイス株式会社（判決注：被告を指す。）ＥＭＩ事業部 担当：
Ｍ」と記載されている。
(22) 平成１３年１１月１日，本多エレクトロンと被告との間で，覚書が交わ
された（甲５７）。この甲５７には，次の記載がある（判決注：甲は本多エ
レクトロン，乙は被告を指す。）。
「双方は，甲がウェハー端面欠陥座標検査システム（以下本件）を１０月
度に検収する条件が，以下の三点であることを確認しました。
（中略）
３．乙は，本件に係る情報を第三者に公開する場合，事前に甲の同意を得ま
す。」
(23) 被告は，本多エレクトロンに対し，平成１３年１２月２０日に本件ウエ
ーハエッジ検査装置を納品した（乙２１，弁論の全趣旨）。
他方，本多エレクトロン及び東芝セラミックスは，本多エレクトロンの
Ａ，Ｂ，Ｃ及び東芝セラミックスのＤ，Ｅ，Ｆを発明者として，同人らから
本件各発明についてそれぞれ特許を受ける権利を承継し，平成１４年２月１
９日に上記６名を発明者として特許出願（特願２００２−４２３９８）をし
た。
３ 判断
(1) 以上認定した事実によれば，本多エレクトロンは本件ウエーハエッジ検
査装置の開発を行なったが，その過程で，被告に対して，平成１２年９月末
ころに上記装置の共同開発を，同年１０月２０日にはノッチ部の検査手法の
検討を，それぞれ依頼したこと，これに対して，被告の担当者であるＭは，
本多エレクトロンに検討結果を報告し，同年１２月１１日に本件発明１が含
まれる仕様書（甲１１）をいったん作成，提供したが，その後も仕様変更を
行なう等して実験を継続し，その結果仕様変更前の構成が相当であるとの認
識を持ち，平成１３年３月２６日に本件各発明が記載された仕様書（甲２
６）を作成して，これを本多エレクトロンに宛てて提示したものであり，本
件発明１は，この時点又はそれ以降に完成したというべきである。
以上の経緯及び後記(2)における認定判断に照らすならば，本件発明１の
発明者にＭが含まれることは明らかである。そして，本件発明２ないし３５
は，いずれも本件発明１を含むものであるから，結局，本件各発明の発明者
にＭが含まれることも明らかである。
(2) この点について，原告は以下のとおり主張する。しかし，いずれも理由
がない。
ア 原告は，本件各発明は平成１２年５月ころまでに完成し，被告は本件各
発明の完成後に関与したにすぎないと主張する。しかし，原告の主張は採
用できない。
すなわち，上記２で認定した事実によれば，そもそも，当初の仕様（甲
７，３０）には本件発明１の構成要素であるノッチ撮像部が含まれていな
いし，被告は本多エレクトロンから本件ウエーハエッジ検査装置の共同開
発を持ちかけられた際に本件各発明の内容の開示を受けた事実もない。ま
た，平成１２年１０月２０日にはノッチ検査手法の検討を依頼した事実，
完成した本件ウエーハエッジ共同装置の販売権に関しては，被告のみなら
ず本多エレクトロンも，販売権が被告にあると認識していた事実，秘密保
持の合意も平成１３年１１月１日になってはじめて行なわれている事実，
及び，仮に，本件各発明の完成時期が，原告の主張に係る時期であるとす
ると，発明完成から約２年後の平成１４年２月に，特許出願が行なわれた
ことになり不自然であること等の事実経緯に照らすならば，原告の上記主
張は到底採用の限りでない。
また，原告は，平成１２年１０月２０日の打合せにおいて，本多エレク
トロンは，被告に対しノッチ部の撮像も複数のエリアカメラで行なうよう
要請したが，被告が，ラインセンサメーカーであるため，ラインセンサで
行なうことを主張し譲らなかったので，本多エレクトロンが被告に対し，
ノッチ検査の手法の検討を指示したとも主張する。しかし，前記認定のＡ
作成の議事録及びＰ作成の打合せ記録（甲８）には，上記本多エレクトロ
ンの要請や同社と被告との主張の対立やそれをうかがわせる記載はない。
原告の上記主張は採用できない。
イ 原告は，Ａ作成のノート（甲４８，６７）は，平成１０年２月ころから
平成１２年５月ころまでの間に作成され，本件発明１の構成がすべて記載
されていることを根拠に，平成１２年５月ころに本件各発明が完成したと
主張し，Ａ作成の陳述書（甲７６）にもこれに沿った記載がある。
しかし，原告の主張は，以下のとおり失当である。
確かに，甲４８（甲６７）の３０頁，２４頁，２５頁及び５０頁には本
件発明１の構成要件ｂ，ｃ，ｇを含む図面の記載等があるが，これらの図
面等がいつ作成されたかについては，甲４８（甲６７）からは明らかでは
ない。仮に，上記図面等が被告が関与する以前に記載されたとしても，前
記２で認定した事実に照らせば，上記図面等は本件各発明の着想にとどま
り，Ｍら被告の技術者が実験等により検証し具体化したものということが
できるので，上記記載をもってＭを含む被告の技術者が本件各発明の発明
者でないこと裏付けるものとはいえない。そして，甲４８（甲６７）に基
づく本件発明１の完成時期の主張が失当であることは前記(1)のとおりで
ある。原告の主張は理由がない。
ウ 原告は，甲６３の１ないし３，甲６８において本件発明１の構成が記載
されていると主張する。
しかし，原告の上記主張も，以下のとおり失当である。
すなわち，甲６３の１ないし３記載の構成は，いずれも周縁部を撮像す
るエリアセンサカメラを１台しか備えておらず，周縁部を撮像する複数の
ラインセンサカメラ（エッジ用）と複数のエリアセンサカメラ（ノッチ
用）を特徴的部分とする本件発明１とは異なる。
また，本件発明１は，エッジとノッチで使用するカメラを使い分けるこ
とを特徴的部分とするのに対し，甲６８記載の実験は，エッジとノッチの
両方をエリアセンサで撮像する構成であり，本件発明１とは異なる。原告
は，エッジの撮像はラインセンサで行なうことを前提として実験がなされ
ていると主張するが，ラインセンサとエリアセンサとでは，必要とされる
光学条件及びその後の画像処理が異なるので，失当である。
エ 原告は，上記確認依頼書に本件発明１の構成を採用することが示されて
いると主張する。しかし，甲６９には，本件各発明の特徴的部分の１つで
あるノッチ撮像用カメラの具体的構成について何ら記載されていないし，
エリアセンサカメラ３台を配置するとの記載はあっても，それを「厚さ方
向の異なる部位」に撮像するように配置することまでは開示されていな
い。原告の上記主張は採用できない。
オ 原告は，本多エレクトロンが，本件各発明の完成を受けて，甲４２（Ｂ
作成の平成１２年１０月２３日付け図面）が作成されたと主張する。
しかし，甲４２の右上図と左下図にそれぞれ記載されているカメラはほ
ぼ同じ寸法，形状であり，装置への取り付け態様もほぼ同じであることが
認められるところ，撮像方式の異なるラインセンサとエリアセンサとは通
常，異なる寸法，形状からなり，取り付け態様も異なるものから構成され
ることからすれば，上記カメラのうち一方がラインセンサであり，他方が
エリアセンサであると認めることはできない。原告の上記主張は採用でき
ない。
カ 原告は，Ｍが作成した見積仕様書（甲１１）は，Ａ作成のノート（甲７
０）を反映したものにすぎないと主張する。しかし，甲７０にはノッチ撮
像部に関する構成（構成要件ｄ，e,ｇ）が開示されているのみで，本件発
明１の特徴的部分である構成要件ｂ，ｃが開示されていないし，両者はカ
メラの水平となす角度及び照明とカメラとの位置関係の点で異なってい
る。原告の主張は失当である。
また，原告は，Ａが平成１２年１２月６日から８日まで開催された「セ
ミコン・ジャパン２０００」（甲７１）の会場内において，被告のＳ及び
Ｔに対し甲７０を示して本件発明１の内容を開示したと主張し，Ａ作成の
陳述書（甲７６）にもこれに沿う記載がある。しかし，陳述書の記載を裏
付ける証拠はないのみならず，また，甲７０には本件各発明の特徴的部分
がすべて開示されているとはいえないことは前記のとおりである。原告の
主張は採用できない。
⑶ 結語
以上のとおり，原告の主張する取消事由には理由がない。原告はその他縷
々主張するが，審決を取り消すべきその他の誤りは認められない。
よって，原告の請求は理由がないから棄却することとし，主文のとおり判
決する。
知的財産高等裁判所第３部
裁判長裁判官 飯 村 敏 明
裁判官 中 平 健
裁判官 上 田 洋 幸