平成18(行ケ)10234審決取消請求事件

平成１９年３月３０日判決言渡
平成１８年(行ケ)第１０２３４号 審決取消請求事件
口頭弁論終結日 平成１９年３月２６日
判 決
原 告 京 セ ラ 株 式 会 社
原 告 株 式 会 社 ニ コ ン
上記両名訴訟代理人弁理士 小 野 尚 純
同 飯 田 隆
同 奥 貫 佐 知 子
被 告 特 許 庁 長 官
中 嶋 誠
指 定 代 理 人 鈴 木 孝 幸
同 前 田 幸 雄
同 岡 田 孝 博
同 大 場 義 則
主 文
１ 原告らの請求を棄却する。
２ 訴訟費用は原告らの負担とする。
事 実 及 び 理 由
第１ 請求
特許庁が不服２００３−２３８６９号事件について平成１８年４月７日に
した審決を取り消す。
第２ 争いのない事実
１ 特許庁における手続の経緯
原告らは，発明の名称を「半導体露光装置」とする発明につき特許出願（
特願平９−２３４６３４号，出願日平成９年８月２９日。以下「本件出願」
という。）をし，平成１４年６月４日付け手続補正書及び平成１５年１月２
４日付け手続補正書をもって本件出願に係る明細書について特許請求の範囲
等を順次補正した。
特許庁は，平成１５年１０月１６日，本件出願につき拒絶査定をしたの
で，原告らは，これを不服として審判請求をした。
特許庁は，上記請求を不服２００３−２３８６９号事件として審理し，そ
の係属中，原告らは，平成１６年１月９日付け手続補正書をもって本件出願
に係る明細書の特許請求の範囲等の補正（以下「本件補正」という。）をし
た。
特許庁は，平成１８年４月７日，本件補正を却下した上，「本件審判の請
求は，成り立たない。」との審決（以下「審決」という。）をし，その謄本
は同月１８日原告らに送達された。
２ 特許請求の範囲
(1) 本件補正前の請求項１
平成１５年１月２４日付け手続補正書による補正後の明細書（本件出願
の拒絶査定時のもの。以下「本件明細書」という。）の特許請求の範囲は
請求項１ないし６からなり，請求項１の記載は，次のとおりである（以
下，この発明を「本願発明」という｡)。
「【請求項１】支持部材上に載置された半導体ウエハに対して微細パター
ンを形成するための露光処理を施こす露光装置において，前記支持部材
が，１０∼４０℃における熱膨張率が０．７×１０−６ ／℃以下であり，
ヤング率が１３０ＧＰａ以上のセラミックスからなることを特徴とする
半導体露光装置。」
(2) 本件補正後の請求項１
本件補正後の特許請求の範囲は請求項１ないし５からなり，請求項１の
記載は，次のとおりである（下線部は本件補正による補正箇所。以下，こ
の発明を「本件補正発明」という｡)。
「【請求項１】支持部材上に載置された半導体ウエハに対して微細パター
ンを形成するための露光処理を施こす露光装置において，前記支持部材
が，コージェライトを主体とし，Ｙまたは希土類元素を酸化物換算で３
∼１５重量％の割合で含有するとともに，１０∼４０℃における熱膨張
率が０．７×１０ −６ ／℃以下であり，ヤング率が１３０ＧＰａ以上のセ
ラミックスからなることを特徴とする半導体露光装置。」
３ 審決の内容
審決の内容は，別紙審決書写しのとおりである。要するに，本件補正発明
は，刊行物１（特開平６−１００３０６号公報。甲１）記載の発明（以下「
刊行物１発明」という。）並びに刊行物２（特開昭５６−１５５０６８号公
報。甲２），刊行物３（特開昭５５−２４３３６号公報。甲３），刊行物
４（ファインセラミックス事典編集委員会編，「ファインセラミックス事
典」，技報堂出版株式会社，１版，１９８７年４月３０日，ｐ．１８５。甲
４）及び刊行物５（素木洋一著，「焼結セラミック詳論４ ファインセラミ
ックス」，１版，株式会社技報堂，昭和５１年１月２５日，ｐ．３０３。甲
５）記載の周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたもの
であり，特許法２９条２項の規定により特許出願の際独立して特許を受ける
ことができないものであるから，本件補正は却下すべきであり，さらに，本
願発明も，同様に，当業者が容易に発明をすることができたものであり，同
項の規定により特許を受けることができないものであるから，請求項２ない
し６に係る発明について検討するまでもなく，本件出願は拒絶すべきである
としたものである。
審決は，本件補正発明と刊行物１発明との間には，次のとおりの一致点及
び相違点があると認定した。
（一致点）
「支持部材上に載置された半導体ウエハに対して微細パターンを形成する
ための露光処理を施こす露光装置において，前記支持部材が，低熱膨張率で
あり，機械的強度に優れたセラミックスからなる半導体露光装置。」である
点。
（相違点）
本件補正発明では，支持部材が，コージェライトを主体とし，Ｙまたは希
土類元素を酸化物換算で３∼１５重量％の割合で含有するとともに，１０∼
４０℃における熱膨張率が０．７×１０−６ ／℃以下であり，ヤング率が１３
０ＧＰａ以上のセラミックスからなるのに対して，刊行物１発明では，支持
部材が，２０∼３０℃の常温域における熱膨張率が１．５×１０ −６／℃以下
であり，また，緻密で曲げ強度の大きい複合セラミックス焼結体からなる
点。
第３ 当事者の主張
１ 取消事由についての原告らの主張
審決には，以下のとおり，本件補正発明と刊行物１発明との一致点の認定
を誤り（取消事由１），相違点を看過し（取消事由２），相違点に係る容易
想到性の判断を誤った（取消事由３）違法がある。
(1) 取消事由１（一致点の認定の誤り）
以下のとおりの理由から，本件補正発明と刊行物１発明とは「機械的強
度に優れた」点で一致するとした審決の認定には誤りがある（なお，審決
がした，その余の一致点の認定に誤りがないことは認める。）。
本件補正発明における「ヤング率が１３０ＧＰａ以上」という構成
は，「機械的強度に優れた」との特性を指すものではない。すなわち，「
ヤング率」（縦弾性率）は，「変形のしにくさ」を示す値であって，本件
補正発明のように「ヤング率」が大きいこと（１３０ＧＰａ以上）は，応
力に対する弾性変形の程度（ひずみ）が小さいことを意味するものである
から，「曲げ強度」などの「破壊しにくさ」を示す値を高くすることが，
当然に「ヤング率」を高めることを意味するものではない。
本件補正発明のコージェライトセラミックスのように，本質的に多孔質
であるために低強度であるものを，焼結助剤（例えば，「Ｙまたは希土類
元素」の酸化物）の使用によって緻密化しても，その高強度化には限界が
あり，刊行物１に記載されているサイアロン複合セラミックス焼結体のよ
うに４０ｋｇ／ｍｍ２以上の曲げ強度を得ることはできないのであり，本件
補正発明においてヤング率を１３０ＧＰａ以上にしたからといって，曲げ
強度が４０ｋｇ／ｍｍ２以上になるものでもない。
他方で，刊行物１発明における「機械的性質に優れた」との意義は，大
きな負荷に耐え得るために，セラミックス焼結体の曲げ強度，ビッカース
硬度，破壊靭性などの「破壊しにくさ」を示す値を高めること，特に「曲
げ強度」（曲げ試験における破壊時の最大引っ張り応力）の値を４０ｋｇ
／ｍｍ２以上に高めることを指している。
したがって，「本件補正発明の『ヤング率が１３０ＧＰａ以上』という
事項も『機械的強度に優れた』と表現できるものである」（審決書６頁８
行∼１０行）として，両発明が「機械的強度に優れた」点で一致すると認
定した審決には誤りがある。
(2) 取消事由２（相違点の看過）
上記(1)のとおり，本件補正発明のコージェライトセラミックスでは，刊
行物１記載のサイアロン複合セラミックス焼結体のように大きな曲げ強
度（４０ｋｇ／ｍｍ２以上）を得ることはできない。本件補正発明と刊行物
１発明とは，①本件補正発明においては，支持部材が，コージェライトを
主体とするコージェライトセラミックスからなっているのに対し，刊行物
１発明においては，支持部材が，サイアロン結晶粒子を含むサイアロン複
合セラミックス焼結体からなっている点で実質的に相違し，②本件補正発
明の課題の一つが，高速移動に基づく振動に由来する位置決め精度の低下
を有効に回避することであるのに対し，刊行物１発明の課題は，大きな負
荷に耐え得る低熱膨張係数の複合セラミックス焼結体を提供することにあ
る点において相違するといえる。
したがって，審決には，上記相違点①，②を看過した違法がある。
(3) 取消事由３（相違点に係る容易想到性の判断の誤り）
審決は，以下のアないしウの認定を基礎にして，刊行物１発明の支持部
材として，刊行物２及び３記載の周知のコージェライトセラミックスを採
用し，本件補正発明のような値にＹまたは希土類元素の含有割合，熱膨張
係数及びヤング率を特定（限定）することは，当業者であれば容易に想到
し得たと判断したが，審決の認定判断には，以下のとおり誤りがある。
ア コージェライトの採用について
(ア) 審決は，「コージェライトが緻密になり高強度化されれば，半導
体露光装置における支持部材として有用であるということ」は，当業
者にとって自明であり（審決書７頁９行∼１１行），「コージェライ
トを主体とする低熱膨張セラミックスに，希土類元素を酸化物換算で
０．３∼８重量％の割合で添加することにより，緻密質な高強度の低
熱膨張性のコージェライトセラミックスが得られること」が周知事
項（刊行物２及び３）であると認定した（同７頁１２行∼１６行）。
(イ) しかし，審決の認定には誤りがある。
すなわち，刊行物１における高強度化は，「曲げ強度を４０ｋｇ／
ｍｍ２以上に高めること」により達成されるが，コージェライトの緻密
化による高強度化では，「曲げ強度を４０ｋｇ／ｍｍ ２以上に高めるこ
と」はできない。確かに，刊行物２及び３によれば，希土類元素を所
定量添加すれば，コージェライトセラミックスの緻密化により，強度
の増大がもたらされるのであるが，このような高強度化は，刊行物１
と比較すればかなり小さいため，刊行物１から予測される半導体露光
装置における支持部材として有用なレベルには至らない。したがっ
て，コージェライトが緻密になり高強度化されれば，半導体露光装置
における支持部材として有用であるということが自明であるとはいえ
ない。
また，本件明細書（甲１０の１）や乙４（特公平６−９７６７５号
公報）には，コージェライトは，絶縁性や熱膨張性の点で有利である
ため，半導体の支持部材としての使用が示唆されているにすぎず，刊
行物１にも記載されているようにコージェライトは強度がかなり低い
ため，本件出願前には実際に使用されることはなかったことに照らせ
ば，緻密質な高強度の低熱膨張性のコージェライトセラミックスが得
られることが周知であったはいえない。
イ 支持部材の材料への適用について
(ア) 審決は，「Ｘ−Ｙステージ等の支持部材としてできるだけ低熱膨
張率で高強度（ヤング率の高い）の材料を用いるべきであること」は
明らかであると認定した（審決書７頁２５行∼２６行）。
(イ) しかし，審決の認定には誤りがある。
すなわち，刊行物１には，曲げ強度が４０ｋｇ／ｍｍ ２よりも低いコ
ージェライト系セラミックスは，半導体露光装置の支持部材としては
不適当であるという記載があるにすぎない。したがって，刊行物１か
らは，Ｘ−Ｙステージ等の支持部材としてできるだけ低熱膨張率で高
強度（曲げ強度が４０ｋｇ／ｍｍ２以上）の材料を用いるべきであるこ
とは明らかであるとしても，支持部材としてヤング率の高い材料を用
いるべきことは明らかではない。
ウ ヤング率の数値限定の臨界的意義の存在について
(ア) 審決は，「本件補正発明において，１０∼４０℃における熱膨張
率を０．７×１０−６／℃以下とし，ヤング率を１３０ＧＰａ以上とし
たことの数値限定に格別な臨界的意義を見出すこともできない。」と
認定した（審決書７頁２７行∼２９行）。
(イ) しかし，審決の認定には誤りがある。
甲９の実験データのまとめは，本件明細書（甲１０の１）の実施例
の【表１】に示された各試料におけるヤング率と振動停止までの停止
時間（振動停止時間）との関係をプロットした図で示されている。【
表１】には，ヤング率が８０ＧＰａのＳｉＯ ２ガラスを用いた場合の振
動停止時間が５５秒であることも示されているので，この点を甲９の
プロットに加えて見ると，ヤング率が低い領域は，振動停止時間がヤ
ング率の減少に伴って急勾配で増大しているが，ヤング率が１３０Ｇ
Ｐａを越えた領域では，ヤング率の増大に伴って振動停止時間が緩や
かに減少していくことを明確に理解することができる。
一方，甲９には，ヤング率１３０ＧＰａとヤング率９０ＧＰａとの
間にはプロットが存在していないが，ヤング率１３０ＧＰａとヤング
率９０ＧＰａとの間に，ヤング率の減少に伴って振動停止時間が急勾
配で増大していく領域と，ヤング率の増大に伴って振動停止時間が緩
やかに減少していく領域との交点（変曲点）が存在することを理解す
ることができ，ヤング率が１３０ＧＰａよりも低い領域では，振動停
止時間が大きな値を示すおそれがあることを示している。
以上によれば，本件補正発明のように，ヤング率を１３０ＧＰａ以
上とすることにより，振動停止時間が高強度セラミックスに近い短時
間レベルとなることは確実であるが，ヤング率が１３０ＧＰａよりも
低く設定された場合には，振動停止時間が著しく長くなるおそれがあ
るから，本件補正発明においてヤング率を１３０ＧＰａ以上とした数
値限定には臨界的意義が存在する。
エ 容易想到性の判断の誤り
(ア) 刊行物１発明における課題の相違及び示唆の不存在等
ａ 本件補正発明は，高速移動に基づく振動に由来する位置決め精度
の低下を有効に回避するために，ヤング率が１３０ＧＰａ以上のコ
ージェライトセラミックスを選択した発明であるのに対し，刊行物
１発明は，大きな負荷に耐え得るために，曲げ強度が４０ｋｇ／ｍ
ｍ２以上のサイアロン系複合セラミックスを選択した発明である。こ
のように，刊行物１発明は本件補正発明と課題を異にし，刊行物１
には，半導体露光装置において，例えば高速移動−停止−露光に際
しては，振動によって位置決め精度が低下するとの本件補正発明が
解決すべき課題を示唆する記載はない。
ｂ 本件補正発明（請求項１）において，コージェライト系セラミッ
クスのヤング率の下限値が１３０ＧＰａ以上と規定されている一方
で，その上限値について規定されていないが，（１０∼４０℃にお
ける）熱膨張率について０．７×１０ − ６ ／℃以下と規定されてお
り，その熱膨張率を保持するためヤング率の上限値は１９０ＧＰａ
前後であることを理解することができる。
ところで，本件出願前から半導体露光装置の支持部材としては，
アルミナ，窒化ケイ素，炭化ケイ素，ジルコニアなどの高強度セラ
ミックスが使用されていたが，これらの高強度セラミックスのヤン
グ率は，２００ＧＰａを大きく上回り，その熱膨張率は，コージェ
ライトと比較するとかなり高いものであった（例えば，甲７）か
ら，本件補正発明において使用されるコージェライト系セラミック
スのヤング率の範囲（１３０ＧＰａ∼１９０ＧＰａ前後）は，希土
類元素化合物が添加されていない多孔質のコージェライト系セラミ
ックスと比較すれば高いヤング率を有しているものの，従来使用さ
れている高強度セラミックスと比較すれば，そのヤング率は低レベ
ルの範囲にある。
しかし，刊行物１には，ヤング率１３０ＧＰａ以上のコージェラ
イトの使用により，従来公知の高強度セラミックスと比較すればヤ
ング率が低い領域にあるにもかかわらず，振動停止時間が大幅に短
縮されることを示す記載は一切存在しない。
ｃ 前記のとおり，コージェライトセラミックスでは，その曲げ強度
を４０ｋｇ／ｍｍ２以上に高めることができず，大きな負荷に耐え得
る低熱膨張の複合セラミックスを提供するという刊行物１の課題を
解決することができなくなってしまうから，刊行物１発明におい
て，サイアロン系複合セラミックスの代わりにコージェライトセラ
ミックスを用いることはできない。
(イ) 刊行物２ないし５の開示内容
刊行物２ないし５には，種々の組成のコージェライトセラミックス
が開示されており，これらの中には，本件補正発明で用いているコー
ジェライトセラミックスと同様の熱膨張率及びヤング率を有している
ものも含まれている。しかし，刊行物２ないし５には，半導体露光装
置に関する開示はなく，高速移動−停止−露光に際しては，振動によ
って位置決め精度が低下するとの本件補正発明における課題を示唆す
る記載もないので，刊行物１に刊行物２ないし５を組み合わせても，
ヤング率１３０ＧＰａ以上のコージェライトセラミックスを選択する
ことにより上記課題が解決できることを予測できるものではない。
オ まとめ
以上のとおりであるから，当業者が，刊行物１発明及び刊行物２ない
し５に基づいて，刊行物１発明の半導体露光装置における半導体ウエハ
の支持部材としてヤング率１３０ＧＰａ以上のコージェライトセラミッ
クスを選択し，相違点に係る本件補正発明の構成に容易に想到すること
ができたとはいえない。したがって，相違点に係る本件補正発明の構成
について当業者が容易に想到することができたとの審決の認定判断は誤
りである。
２ 被告の反論
(1) 取消事由１に対し
本件補正発明における「ヤング率が１３０ＧＰａ以上のセラミックス」
は，従来のコージェライトと比較すれば，ヤング率は高い。そして，ヤン
グ率は，曲げ強度と同様に機械的強度の指標として用いられている（例え
ば，乙１ないし３）ので，本件補正発明における「ヤング率が１３０ＧＰ
ａ以上のセラミックス」について，「機械的強度に優れた」性質があると
して，その点において，刊行物１発明と一致すると認定した審決に誤りは
ない。
仮に，本件補正発明における「ヤング率が１３０ＧＰａ以上のセラミッ
クス」が「機械的強度に優れた」ものに相当するものではないとしても，
審決は，「ヤング率が１３０ＧＰａ以上のセラミックス」である点（本件
補正発明）と「緻密で曲げ強度の大きい複合セラミックス焼結体」である
点（刊行物１発明）を両発明の相違点であると認定している以上，上記の
事項を一致点として認定したことは審決の結論に影響しない。
(2) 取消事由２に対し
ア 原告らが相違点①として主張する点は，審決も，本件補正発明におい
ては，支持部材が，コージェライトを主体とするコージェライトセラミ
ックスからなっているのに対し，刊行物１発明は，その支持部材がコー
ジェライトを主体としていない複合セラミックス焼結体である点を相違
点と認定した上で，相違点について検討しているから，原告らの主張は
理由がない。
イ 原告らが相違点②として主張する点は，特許請求の範囲（請求項１）
に記載されていない事項に基づくものであるから，相違点②の看過をい
う原告らの主張は理由がない。
(3) 取消事由３に対し
ア コージェライトの採用について
本件明細書（甲１０の１）の段落【０００４】及び乙４に記載されて
いるように，半導体露光装置の支持部材としてコージェライト系焼結体
が用いられていることは本件出願前に周知であった。したがって，コー
ジェライトが支持部材として実際に使用されていなかったことを根拠と
して，「コージェライトを主体とする低熱膨張セラミックスに，希土類
元素を所定量添加することにより，緻密質な高強度の低熱膨張性のコー
ジェライトセラミックスが得られることが周知」でなかったとする原告
らの主張は理由がない。
そして，支持部材の材料として機械的強度の高いものが求められるこ
とは刊行物１の記載からも明らかであるから，「前記コージェライトが
緻密になり高強度化されれば，コージェライト系焼結体が半導体露光装
置における支持部材として有用であるということ」は，当業者にとって
自明である。
イ 支持部材の材料への適用について
前記アのとおり半導体露光装置等の支持部材において，機械的強度の
高い材料を用いるべきであることは自明であり，「高速度化及び高精度
化のために，Ｘ−Ｙステージ等の支持部材の材料としてできるだけ熱膨
張係数が小さくヤング率の高い材料を用いるべきであること」も従来周
知である（例えば，乙５，６）。なお，ヤング率等の機械的強度を支持
部材に求められる性能等に応じて所定の値に設定することも当業者が通
常行う設計的事項にすぎない。
ウ ヤング率の数値限定の臨界的意義の不存在について
(ア) 本件明細書（甲１０の１）の【表１】に示されたヤング率が８０
ＧＰａのものは，主成分がＳｉＯ２ガラスのものであるので，これを主
成分がコージェライトであるものと同等に扱い，直接比較することは
困難である。そして，【表１】には，主成分がコージェライトで，か
つ，ヤング率が１３０ＧＰａ未満のものは，９０ＧＰａのものが一例
記載されているだけで，しかも１３０ＧＰａとは数値が離れている。
また，仮に主成分がＳｉＯ ２ガラスのもの（ヤング率８０ＧＰａ）も直
接比較することが可能であるとしても，原告らが主張する振動停止時
間の減少が急変する交点（変曲点）が１３０ＧＰａに存在するとはい
えない。
したがって，本件補正発明におけるヤング率を１３０ＧＰａ以上と
した数値限定に臨界的意義があるとはいえない。
(イ) なお，原告らは，本件補正発明におけるコージェライト系セラミ
ックスのヤング率には自ずと上限があり，本件補正発明のヤング率は
１３０ＧＰａ∼１９０ＧＰａ前後である旨主張するが，ヤング率の上
限値（原告らがいう１９０ＧＰａ前後）は本件補正後の特許請求の範
囲の請求項１に記載されていない事項であるから，原告らの上記主張
は失当である。
エ 相違点に係る本件補正発明の構成の容易想到性
前記のとおり，①半導体露光装置の支持部材としてコージェライト系
焼結体が用いられていることは本件出願前に周知であり，前記コージェ
ライトが緻密になり高強度化されれば，コージェライト系焼結体が半導
体露光装置における支持部材として有用であるということも当業者にと
って自明であること，②高速度化及び高精度化のために，Ｘ−Ｙステー
ジ等の支持部材の材料としてできるだけ熱膨張係数が小さくヤング率の
高い材料を用いるべきであることも従来周知であるとともに，ヤング率
等の機械的強度を支持部材に求められる性能等に応じて所定の値に設定
することも当業者が通常行う設計的事項にすぎないこと，③ヤング率を
１３０ＧＰａ以上とした数値限定に格別，臨界的意義がないことに照ら
すならば，希土類元素が所定量添加され，緻密化により機械的強度の増
大がもたらされたコージェライトを，刊行物１発明の露光装置の支持部
材として適用して，本件補正発明のような値にＹまたは希土類元素の含
有割合，熱膨張係数及びヤング率を特定することは，当業者であれば容
易に想到し得たといえる。したがって，審決の相違点に係る容易想到性
の判断に誤りはない。
第４ 当裁判所の判断
１ はじめに
原告らは，審決には，相違点に係る容易想到性の判断の誤りがあると主張
する（取消事由３）とともに，本件補正発明と刊行物１発明との一致点の認
定の誤り及び相違点の看過の誤りがあると主張する（取消事由１，２）。
本件の実質的な争点は，容易想到性の判断の誤りに係る主張（取消事由
３）のみであり，その余の原告らの主張（取消事由１，２）は，その主張自
体からみても，失当として排斥されるべきものであるか，又は，審決に違法
を来さないことが明らかな主張である。
そこで，先に，実質的な争点である取消事由３の当否を判断し，その余の
取消事由の当否については，補足的に判断する。
２ 取消事由３（相違点に係る容易想到性の判断の誤り）について
原告らは，審決が，①「コージェライトが緻密になり高強度化されれば，
半導体露光装置における支持部材として有用であるということ」は，当業者
にとって自明であり，「コージェライトを主体とする低熱膨張セラミックス
に，希土類元素を酸化物換算で０．３∼８重量％の割合で添加することによ
り，緻密質な高強度の低熱膨張性のコージェライトセラミックスが得られる
こと」は周知であり，②「Ｘ−Ｙステージ等の支持部材としてできるだけ低
熱膨張率で高強度（ヤング率の高い）の材料を用いるべきであること」は明
らかであるとともに，③本件補正発明においてヤング率を１３０ＧＰａ以上
としたことの数値限定に格別な臨界的意義もないとの各認定を基礎として，
刊行物１発明の支持部材として，刊行物２及び３記載の周知のコージェライ
トセラミックスを採用し，本件補正発明のような値にＹまたは希土類元素の
含有割合，熱膨張係数及びヤング率を特定（限定）することは，当業者であ
れば容易に想到し得たと判断したが，審決の認定判断には誤りがあると主張
する。
しかし，原告らの上記主張は，以下のとおり理由がない。
(1) コージェライトの採用及び支持部材の材料への適用
ア 刊行物１（甲１）の記載
(ア) 刊行物１（甲１）には，次のような記載がある。
ａ 特許請求の範囲として，「【請求項３】自形のサイアロン結晶粒
子と，ガラス相および／またはセラミックス相とからなる複合セラ
ミックス焼結体。」，「【請求項１３】２０∼３０℃の常温域にお
ける曲げ強度が，４０ｋｇ/ｍｍ ２以上であり，かつ同常温域におけ
る平均熱膨張係数が１．５×１０ -6/Ｋ以下であることを特徴とする
請求項３∼１２記載の複合セラミックス焼結体。」
ｂ 「【産業上の利用分野】本発明は，サイアロン結晶粒子および複
合セラミックス焼結体に関し，低熱膨張と同時に機械的強度を満足
する材料が要求される・・・分野において好適に用いられる。さら
に具体的には，近年，部品の高精度化および高集積化に伴い，材料
の要求特性が厳しくなっているハイブリッドＩＣ基板やセラミック
ス多層基板，半導体製造用露光装置などに用いられるＸ−Ｙステー
ジ・・・などのステッパー材料・・・として好適に用いられ
る。」（段落【０００１】）
ｃ 「【従来の技術】低熱膨張セラミックスとしてよく知られている
ものに，コーディエライト・・・などがある。これらは，いずれも
２.０×１０-6/Ｋ以下という極めて低い熱膨張係数を有するが，多孔
質で機械的強度が著しく低い。このため，保護管，坩堝などの大き
な負荷のかからない耐熱，耐衝撃部品に用いられているばかりで，
大型構造用途への展開が阻まれている。」（段落【０００２】）
ｄ 「一方，既存セラミックスの中で，サイアロンセラミックスは・
・・２０∼５００℃までの平均熱膨張係数が３.０×１０-6/Ｋと比較
的低く，強度が５０ｋｇ/ｍｍ ２程度と比較的高いことで知られてい
る・・・。」（段落【０００３】）
ｅ 「低熱膨張と同時に高強度が要求される用途には，上記に示した
ような既存の低熱膨張セラミックスは不適であり，新たな素材の研
究開発が望まれる。」（段落【０００４】）
ｆ 「【発明が解決しようとする課題】本発明は，従来の低熱膨張セ
ラミックスの上述した低強度で多孔質であるという構造材料として
は致命的な欠点に鑑み，熱膨張係数が１.５×１０-6/Ｋ以下と低く，
かつ，緻密で機械的性質の優れた複合セラミックス焼結体およびそ
れに適したサイアロン結晶粒子を提供することを目的とする。」（
段落【０００５】）
ｇ 「さらに本発明の方法による複合焼結体は，常温から２００℃の
温度域において，平均熱膨張係数が，３.０×１０-6/Ｋ以下であるこ
とが特徴である。・・・さらに平均熱膨張係数が，２.０×１０ -6/Ｋ
以下であれば，半導体製造装置用の超精密ステージなどのステッパ
ー部材としての用途展開が可能である。（段落【００５８】）
ｈ 「第３成分の添加によって，複合セラミックスの密度，硬度，強
度， 靭 性， ヤン グ率 など の機 械 的性 質を 変え るこ と が可 能 で あ
る。」（段落【００１７】），「また，機械的特性，特に強度，靭
性，硬度およびヤング率を向上させたいときには，Ｓｉ ３Ｎ ４および
／またはウィスカの添加が有効である。」（段落【００２０
】），「この場合，密度は３．０∼３．２，曲げ強度が７０∼１１
０㎏/ｍｍ２ ，ビッカース硬度が１６５０∼１８５０，破壊靭性５．
５∼６．５，ヤング率３００∼３２０ＧＰaで，２０∼３０℃の温度
範囲で０．７∼１．２×１０ -6/Ｋの低熱膨張係数の複合セラミック
スが得られる。」（段落【００５４】）
(イ) 前記記載によれば，刊行物１には，①半導体製造用露光装置など
に 用いられ るＸ− Ｙステージ（支持部材 ）などのステッパー 材 料
は，「部品の高精度化および高集積化」に伴い，「低熱膨張と同時に
機械的強度を満足する材料」が要求されており，そのようなステッパ
ー材料等を提供することを課題とし，その課題を解決するため，熱膨
張係数が１.５×１０-6/Ｋ以下と低く，かつ，緻密で機械的性質の優れ
た複合セラミックス焼結体及びそれに適したサイアロン結晶粒子の発
明が開示され，②向上させるべき機械的性質ないし機械的強度の指標
として，密度，硬度（ビッカース硬度），強度（曲げ強度），靭性（
破壊靭性）と並んで，「ヤング率」が例示されるとともに，③低熱膨
張セラミックスとして「コーディエライト」（コージェライト）がよ
く知られ，極めて低い熱膨張係数を有するが，多孔質で機械的強度が
著しく低いため，大型構造用途への展開が阻まれており，低熱膨張と
同時に高強度が要求される用途には既存の低熱膨張セラミックスは不
適であることの記載があることが認められる。
そうすると，刊行物１に接した当業者であれば，刊行物１には，低
熱膨張セラミックスである既存のコージェライトは，極めて低い熱膨
張係数を有するが，多孔質で機械的強度が著しく低いため低熱膨張と
同時に高強度が要求される用途には不適であるという上記③の問題点
が示されているから，仮に，コージェライトにおいても機械的強度（
上記②の密度，ビッカース硬度，曲げ強度，破壊靭性，ヤング率等）
を向上させ，改善させることさえできれば，低熱膨張と同時に高強度
が要求される用途に使用することに適すると認識するものと解され
る。
イ 刊行物２，３（甲２，３）等の記載
(ア) 本件明細書（甲１０の１）には，【従来技術】として，「特公平
６−９７６７５号では，静電チャック用基盤としてアルミナやコージ
ェライト系焼結体を使用することが提案されている。」（段落【００
０４】）との記載があり，特公平６−９７６７５号公報（乙４）に
は，露光装置用の静電チャック基盤の発明において「コーディエライ
ト」（コージェライト）等のセラミックスを支持部材に使用したもの
が実施例として開示されていることからすれば，半導体露光装置の支
持部材としてコージェライト系焼結体を使用することは，本件出願（
平成９年８月２９日）の前に周知であったことが認められる。
そして，前記ア(イ)認定のとおり，刊行物１には，半導体製造用露
光装置などに用いられる支持部材について，「部品の高精度化および
高集積化」に伴い，「低熱膨張と同時に機械的強度を満足する材料」
が要求されていること，低熱膨張セラミックスである既存のコージェ
ライトには，多孔質で機械的強度が著しく低いことが記載されている
ことに照らすならば，審決が認定するように，「コージェライトが緻
密になり高強度化されれば，コージェライト系焼結体が半導体露光装
置における支持部材として有用であるということ」は，当業者にとっ
て自明であるものと認められる。
(イ) また，①刊行物２（甲２）には，「Ｙ，ＬａおよびＣｅから選ば
れる希土類元素の少なくとも１種以上の酸化物を重量％で０．３∼８
％含有せしめてなるコーデイエライト質の緻密質低膨張焼結体。」（
特許請求の範囲），「本発明は，・・・強度の大きい緻密質低膨張焼
結体を提供するものである。即ち，コーデイエライトを形成する低膨
張性酸化物セラミクスにＹ，Ｌａ，Ｃｅからなる希土類元素を酸化
物，有機塩，無機塩あるいはその他の形で添加することにより・・・
気孔の少ない，よく焼き締つた緻密な焼成品を得ることを可能ならし
めたものである。本発明の骨子は・・・コーデイエライト質の低膨張
性酸化物セラミクスにＹ，Ｌａ，Ｃｅからなる希土類元素ないしはこ
れらの酸化物，有機塩，無機塩等の化合物のうち，少くとも１種以上
を添加するものであるが，その添加量は低膨張性酸化物セラミックス
と希土類元素ないしは希土類元素の化合物の合量に対し，酸化物換算
で０．３∼８重量％，好ましくは１∼４重量％がよい。」（２頁左上
欄１３行∼右上欄１２行），②刊行物３（甲３）には，「即ち，本発
明はＹ２ Ｏ２成分を重量％で０．３∼８％含有せしめた本質的にコージ
エライト組成からなるセラミツクス材料」（１頁右下欄１７行∼１９
行），「ここでＹ ２Ｏ ２成分の配合割合を０．３∼８％とした理由につ
いては，０．３％以下では上述した比較的低温で焼成した場合でも緻
密質にしうるという効果が不充分となり本発明の目的とする優れた電
気的特性が達成されないからであり，また８％以上では得られた焼結
体の熱膨張率が大きくなりすぎ低膨張セラミツクスの特質を損なうこ
とになつてしまうからである。」（２頁左下欄６行∼１３行）との各
記載があることに照らすならば，「コージェライトを主体とする低熱
膨張セラミックスに，希土類元素を酸化物換算で０．３∼８重量％の
割合で添加することにより，緻密質な高強度の低熱膨張性のコージェ
ライトセラミックスが得られること」は，本件出願前に，周知であっ
たものと認められる。
(ウ) さらに，前記(ア)の認定に照らすならば，「Ｘ−Ｙステージ等の
支持部材としてできるだけ低熱膨張率で高強度（ヤング率の高い）の
材料を用いるべきであること」も明らかである。
(2) ヤング率の臨界的意義
ア 本件補正発明の特許請求の範囲（請求項１）においては，「ヤング率
が１３０ＧＰａ以上のセラミックスからなること」とし，数値限定を加
えている。しかし，本件明細書（甲１０の１）の【表１】等（段落【０
０２０】∼【００２５】）によれば，本件補正発明の実施例において，
ヤング率の下限値は１３０ＧＰａであり，下限値の直上の数値は，１３
５ＧＰａ，１４１Ｐａ，１４２ＧＰａと，数ＧＰａ間隔であるのに対
し，比較例のヤング率は，唯一９０ＧＰａと，実施例の下限値より４０
ＧＰａも離れた数値であるから，比較例の数値が上記下限値の近傍値と
は認められず，ヤング率の下限値を１３０ＧＰａとした臨界的意義は見
い出すことはできない。
イ この点に対して，原告らは，本件明細書及び甲９によれば，ヤング率
の減少に伴って振動停止時間が急勾配で増大していく領域と，ヤング率
の増大に伴って振動停止時間が緩やかに減少していく領域との交点（変
曲点）が，ヤング率１３０ＧＰａと９０ＧＰａとの間に存在し，ヤング
率を１３０ＧＰａ以上としたときにあっては，振動停止時間が高強度セ
ラミックスに近い短時間レベルとなることが確実であるのに対し，ヤン
グ率を１３０ＧＰａよりも低く設定したときにあっては，振動停止時間
が著しく長くなるおそれがあるといえるから，ヤング率を１３０ＧＰａ
以上としたことの数値限定について臨界的意義は明確である旨主張す
る。
しかし，前記アのとおり，本件明細書（甲１０の１）には，ヤング率
が１３０ＧＰａ未満の比較例は，９０ＧＰａのものが一例記載されてい
るだけで，しかも１３０ＧＰａと数値が４０ＧＰａも離れていることに
照らすならば，ヤング率と振動停止時間との関係について，原告らが主
張するような変曲点が存在するとしても，それが１３０ＧＰａ又はその
近傍に存在するものとは認められないので，ヤング率を１３０ＧＰａ以
上としたことに臨界的意義があるという原告らの主張は採用することが
できない。
(3) 相違点に係る容易想到性について
ア 前記(1)及び(2)のとおり，審決が容易想到性を判断する基礎とした各
認定に誤りはない。
すなわち，審決が，①「コージェライトが緻密になり高強度化されれ
ば，半導体露光装置における支持部材として有用であるということ」は
当業者にとって自明であり，「コージェライトを主体とする低熱膨張セ
ラミックスに，希土類元素を酸化物換算で０．３∼８重量％の割合で添
加することにより，緻密質な高強度の低熱膨張性のコージェライトセラ
ミックスが得られること」は，周知であること，②「Ｘ−Ｙステージ等
の支持部材としてできるだけ低熱膨張率で高強度（ヤング率の高い）の
材料を用いるべきであること」は明らかであること，③本件補正発明に
おいてヤング率を１３０ＧＰａ以上としたことの数値限定に格別な臨界
的意義はないとしたことを各認定した点に誤りはない。
また，刊行物１には，低熱膨張セラミックスである既存のコージェラ
イトは，極めて低い熱膨張係数を有するが，多孔質で機械的強度が著し
く低いため低熱膨張と同時に高強度が要求される用途には不適であると
いう問題点があるとされているが，同記載からは，コージェライトにお
いても機械的強度（密度，ビッカース硬度，曲げ強度，破壊靭性，ヤン
グ率等）を向上させ，改善させることができれば，低熱膨張と同時に高
強度が要求される用途に使用するのに適することが示唆されていると解
される。
さらに，ヤング率を１３０ＧＰａ以上とすることに臨界的意義は見い
出せないから，ヤング率等の機械的強度を支持部材に求められる性能等
に応じて所定の値に設定することも当業者が通常行う設計的事項にすぎ
ないといえる。
イ そうすると，刊行物１記載の支持部材であるサイアロンセラミックス
焼結体に代えて，希土類元素が所定量添加され，緻密化により機械的強
度の増大がもたらされたコージェライトを，刊行物１発明の露光装置の
支持部材として適用し，かつ，本件補正発明のような値にＹまたは希土
類元素の含有割合，熱膨張率及びヤング率を特定すること（相違点に係
る本件補正発明の構成とすること）は，当業者であれば容易に想到し得
たということができる。
ウ これに対して，原告らは，本件補正発明では，高速移動に基づく振動
に由来する位置決め精度の低下を有効に回避するために，ヤング率が１
３０ＧＰａ以上のコージェライトセラミックスを選択したものである
が，刊行物１発明は，大きな負荷に耐え得るために，曲げ強度が４０ｋ
ｇ／ｍｍ２以上のサイアロン系複合セラミックスを選択しているのであっ
て，両者は，課題も構成も全く異にし，また，刊行物１ないし５には，
本件補正発明の課題を示唆する記載はないことなどを理由に，刊行物１
発明及び刊行物２ないし５に基づいて，相違点に係る本件補正発明の構
成とすることは容易想到ではない旨主張する。
しかし，刊行物１発明は，半導体露光装置の支持部材に要求される低
熱膨張及び機械的強度のうち，サイアロンセラミックスの低熱膨張を改
善すること（常温域における平均熱膨張係数を１．５×１０ -6/Ｋ以下）
を採用したものといえるが（前記(1)ア(ア)ｄ，ｆ），前記のとおり，刊
行物１には，半導体露光装置の支持部材として「低熱膨張と同時に機械
的強度を満足する材料」を提供することを課題とし，向上させるべき機
械的強度の指標の一つとしてヤング率の記載があり，しかも，低熱膨張
セラッミクスである既存のコージェライトにおいても機械的強度を高め
ることで支持部材として使用するのに適することが示唆されているこ
と，コージェライトを支持部材として使用することは周知であったこと
等に照らすならば，ヤング率を高めることにより，振動による位置決め
精度の低下を回避できることが予測できないとしても，刊行物１に接し
た当業者であれば，サイアロンセラミックスとセラミックスであること
では同じであるコージェライトを半導体露光装置の支持部材に適用し，
その機械的強度を高めることの一環として，高いヤング率のものを採用
しようとすることに格別の困難があるものと認めることはできない。ま
た，刊行物１には，半導体露光装置の支持部材として「低熱膨張と同時
に機械的強度を満足する材料」が要求されているとの記載はあるが，曲
げ強度について「４０ｋｇ／ｍｍ２以上」でなければ機械的強度を満足し
ないとまでの記載はなく，刊行物１からは，原告らが主張するように曲
げ強度を４０ｋｇ／ｍｍ２以上に高めることができないことがコージェラ
イトを支持部材として適用することの妨げになることを認識することは
できない。
したがって，原告らの上記主張は採用することができない。
(4) まとめ
以上のとおり，審決が，刊行物１発明に前記周知技術を適用して相違点
に係る本件補正発明の構成とすることは当業者が容易に想到することがで
きたと判断した点に誤りはない。
したがって，原告ら主張の取消事由３は理由がない。
３ その他の取消事由について
(1) 一致点の誤り（取消事由１）について
原告らは，本件補正発明における「ヤング率が１３０ＧＰａ以上」と刊
行物１発明における「機械的強度に優れた」とは同義ではないから，両発
明が「機械的強度に優れた」点で一致するとした審決の認定には誤りがあ
ると主張する。
確かに，ヤング率（物質に外力を加えて変形させた場合の縦弾性率）と
曲げ強度（曲げ試験における破壊時の最大引っ張り応力）は，測定方法が
異なる別の指標であり（甲６），両者に一定の相関関係があるとまで認め
られないこと，また，本件補正発明の特許請求の範囲（請求項１）には，
そもそも「機械的強度に優れた」との記載がないこと等を考慮すると，審
決が，両発明について，「機械的強度に優れた」ことを一致点として掲げ
たことは相当ではないと解される。
しかし，審決は，本件補正発明の支持部材が，コージェライトを主体と
し，「ヤング率が１３０ＧＰａ以上のセラミックスからなる」のに対し
て，刊行物１発明の支持部材が，緻密で「曲げ強度の大きい複合セラミッ
クス焼結体からなる」点で相違することを相違点（前記第２の３）として
認定した上で，同相違点についての容易想到性を判断しているのであるか
ら，審決が「機械的強度に優れた」ことを一致点として挙げた点は，審決
の判断の違法性の有無に影響を与えるものではないといえる。したがっ
て，原告ら主張の取消事由１は，審決を取り消すべき事由に該当しない。
(2) 相違点の看過（取消事由２）について
ア 原告らは，本件補正発明と刊行物１発明とは，①本件補正発明におい
ては，支持部材が，コージェライトを主体とするコージェライトセラミ
ックスからなっているのに対し，刊行物１発明においては，支持部材
が，サイアロン結晶粒子を含むサイアロン複合セラミックス焼結体から
なっている点で実質的に相違し，②本件補正発明の課題の一つが，高速
移動に基づく振動に由来する位置決め精度の低下を有効に回避すること
であるのに対し，刊行物１発明の課題は，大きな負荷に耐え得る低熱膨
張係数の複合セラミックス焼結体を提供することにある点において相違
するといえるから，審決には上記相違点①，②を看過した違法があると
主張する。
しかし，原告らの上記主張は，以下のとおり理由がない。
イ 原告が相違点①として主張する点は，審決も同様に，本件補正発明に
おいては，支持部材が，コージェライトを主体とするコージェライトセ
ラミックスからなっているのに対し，刊行物１発明は，その支持部材が
コージェライトを主体としていない複合セラミックス焼結体である点を
相違点と認定した上で，相違点について判断しているから，結局，審決
に，相違点①を看過した誤りはないことになる。
また，原告らが相違点②として主張する点は，特許請求の範囲（請求
項１）に記載された事項に基づくものではないから，相違点②の看過を
いう原告らの主張は，主張自体失当である。
４ 結論
以上によれば，原告ら主張の取消事由はいずれも理由がなく，他に審決を
取り消すべき瑕疵は見当たらない。
よって，原告らの本訴請求は理由がないから，これを棄却することとし，
主文のとおり判決する。
知的財産高等裁判所第３部
裁判長裁判官 飯 村 敏 明
裁判官 大 鷹 一 郎
裁判官 古 閑 裕 二