平成10(行ケ)406行政訴訟 特許権

平成１０年(行ケ)第４０６号特許取消決定取消請求事件
平成１２年１１月３０日口頭弁論終結
判 決
原　　　　　　　　告 株 式 会 社 荏 原 製 作 所
代表者代表取締役 【Ａ】
原　　　　　　　　告 株 式 会 社 東 芝
代表者代表取締役 【Ｂ】
両名訴訟代理人弁護士 高 村 一 木
同 野　 上 　邦 五 郎
同 杉 本 進 介
同 冨 永 博 之
同弁理士 【Ｃ】
被　　　　　　　　告 特許庁長官　【Ｄ】
指定代理人 【Ｅ】
同 【Ｆ】
同 【Ｇ】
同 【Ｈ】
主 文
　原告らの請求を棄却する。
　訴訟費用は原告らの負担とする。
事実及び理由
第１　当事者の求めた裁判
１　原告ら
　特許庁が平成９年異議第７１４８０号事件について平成１０年１０月１３日
にした決定を取り消す。
　訴訟費用は被告の負担とする。
２　被告
　主文と同旨
第２　当事者間に争いのない事実
１　特許庁における手続の経緯
　原告らは、発明の名称を「真空排気装置および真空排気方法」とする特許第
２５３８７９６号の特許（平成１年５月９日出願、平成８年７月８日設定登録、以
下「本件特許」といい、その発明のうち、後記請求項１のものを「本件発明１」、
請求項２のものを「本件発明２」といい、これらを「本件発明」と総称することが
ある。）の特許権者である。
　特許庁は、平成９年４月２日、本件発明１についても、２についても、本件
特許への異議の申立てを受け、これを平成９年異議第７１４８０号事件として審理
した。原告らは、取消理由通知を受け、その指定期間内である同年１１月２５日
に、本件出願の願書添付の明細書（以下「本件明細書」という。）について訂正請
求をした（以下「本件訂正」という。本件訂正に係る明細書を「訂正明細書」とい
う。）。特許庁は、上記事件につき審理した結果、平成１０年１０月１３日、「特
許第２５３８７９６号の請求項１ないし２に係る特許を取り消す。」との決定を
し、同年１１月３０日、その謄本を原告らに送達した。
２　特許請求の範囲
(1)　本件発明に係る特許請求の範囲
（請求項１）
「複数の動翼を備えたロータと複数の静翼を備えたスペーサとを有し、吸気
口から気体分子を取り込み、圧縮して排気口から排出するターボ分子ポンプと、該
ターボ分子ポンプの吸気口側に配備され、ヘリウム冷凍機により冷却され気体分子
を凍結捕集する熱交換器とから構成され、該熱交換器の吸気口側と真空容器とを締
切弁が設けられた吸気系配管で接続し、該締切弁を開閉することにより、前記熱交
換器を真空容器に対し分離あるいは接続可能に構成し、かつ、該熱交換器にはヒー
タを設けるか又はヘリウム冷凍機を休止することによって凍結捕集した分子を気化
させる再生手段を有することを特徴とする真空排気装置。」
（請求項２）
「真空容器とターボ分子ポンプの吸気口との間に、ヘリウム冷凍機により冷
却し気体分子を凍結捕集する熱交換器を配備し、かつ、真空容器と該熱交換器との
間の吸気系配管に締切弁を配備した真空容器の真空排気方法において、該締切弁を
開け、ターボ分子ポンプとヘリウム冷凍機とを運転する排気工程と、該締切弁を閉
じ、ターボ分子ポンプを運転し、熱交換器をヒータで加熱するかもしくはヘリウム
冷凍機を休止することにより熱交換器に凍結捕集した分子を気化させる再生工程と
を含むことを特徴とする真空容器の真空排気方法。」
(2)　本件訂正に係る特許請求の範囲（下線部が訂正により追加された箇所であ
る。）
（請求項１）
「複数の動翼を備えたロータと複数の静翼を備えたスペーサとを有し、吸気
口から気体分子を取り込み、圧縮して排気口から排出するターボ分子ポンプと、該
ターボ分子ポンプの吸気口側に配備され、ヘリウム冷凍機により－１００°Ｃ～－
２００°Ｃの温度に冷却され水分子を選択的に凍結捕集する熱交換器とから構成さ
れ、該熱交換器の吸気口側と真空容器とを締切弁が設けられた吸気系配管で接続
し、該締切弁を開閉することにより、前記熱交換器を真空容器に対し分離あるいは
接続可能に構成し、かつ、締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転した状態で、該
熱交換器をヒータで加熱するかもしくはヘリウム冷凍機を休止することによって熱
交換器に凍結捕集した分子を気化させる再生手段を有することを特徴とする真空排
気装置。」
（請求項２）
「真空容器とターボ分子ポンプの吸気口との間に、ヘリウム冷凍機により－
１００°Ｃ～－２００°Ｃの温度に冷却され水分子を選択的に凍結捕集する熱交換
器を配備し、かつ、真空容器と該熱交換器との間の吸気系配管に締切弁を配備した
真空容器の真空排気方法であって、該締切弁を開け、ターボ分子ポンプとヘリウム
冷凍機とを運転する排気工程と、該締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転し、熱
交換器をヒータで加熱するかもしくはヘリウム冷凍機を休止することにより熱交換
器に凍結捕集した分子を気化させる再生工程とを含むことを特徴とする真空容器の
真空排気方法。」
（別紙図面(1)参照）
３　本件決定の理由
　本件決定の理由は、別紙決定書の理由の写しのとおりである（なお、５頁４
行及び５行の「クライオポンプ１０によりバッフル９ｂ、８０Ｋアレー９ａによ
り」は、「クライオポンプ１０によりバッフル９ｂ、８０Ｋアレー９ａを冷却し、
その冷却されたバッフル９ｂ、８０Ｋアレー９ａにより」の誤記と認める。）。
　要するに、①本件訂正に関しては、本件訂正に係る特許請求の範囲の請求項
１及び同２記載の各発明（以下、順に「訂正発明１」、「訂正発明２」といい、こ
れらを「訂正発明」と総称することがある。）は、実願昭６２－７３９３８号（実
開昭６３－１８２５２５号）のマイクロフィルム（甲第４号証。以下「引用刊行物
１」という。）、「日本真空協会創立２５周年記念　第２０回真空に関する連合講
演会」の講演録「１４ａ－２　ＪＦＴ２用ベーカブルクライオポンプ」（昭和５４
年１１月１４日）（甲第５号証。以下「引用刊行物２」という。）、１９８０年Ｊ
ＯＨＮ　ＷＩＬＥＹ＆ＳＯＮＳ、ＩＮＣ．発行の「Ａ　Ｕｓｅｒ’ｓ　Ｇｕｉｄｅ
　ｔｏ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ」（甲第６号証。以下「引用刊行物
３」という。）及び米国特許第４６７９４０２号明細書（甲第７号証。以下「引用
刊行物４」という。）にそれぞれ記載された技術（以下、審決が上記各刊行物から
引用した技術を、順に「引用発明１」、「引用発明２」、「引用発明３」、「引用
発明４」という。）及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明できたと認められ
るので、特許法２９条２項の規定に該当し、特許出願の際独立して特許を受けるこ
とができないと判断し、②特許異議申立てについては、本件発明１及び同２は、い
ずれも、引用発明１ないし同３及び周知事項に基づいて当業者が容易に発明できた
と認められるので、本件特許は、特許法２９条２項の規定に違反してなされたもの
であり、取り消されるべきものである、と判断したものである。
第３　原告ら主張の取消事由の要点
　本件決定の理由１（手続の経緯）は認める。
　同２（訂正の適否）中、(1)（発明の要旨）は認める。(2)（引用刊行物の認
定）のうち、引用刊行物３において「ターボ分子システムにおいて、締切弁を閉
じ、ターボ分子ポンプを運転し、熱交換器を加熱することにより熱交換器に凍結捕
集した分子を気化させる再生工程。」が開示されているとする点（７頁３行～６
行）は争い、その余は認める。(3)（対比・判断）の対比における一致点の認定のう
ち、引用刊行物１の「排気トラップ部」が訂正発明１及び２の「熱交換器」に相当
するとした点は争い、その余は認める。相違点１、同２に対する判断は争う（ただ
し、一部認めるところがある。）。(4)（むすび）は争う。
　同３（特許異議申立てについての判断）中、(1)（発明の要旨）は認め
る。(2)（引用刊行物の認定）のうち、引用刊行物３において「ターボ分子システム
において、締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転し、熱交換器を加熱することに
より熱交換器に凍結捕集した分子を気化させる再生工程。」が開示されているとす
る点（１５頁９行～１２行）は争い、その余は認める。(3)（対比・判断）の対比に
おける一致点の認定のうち、引用刊行物１の「排気トラップ部」が本件発明１及び
同２の「熱交換器」に相当するとした点は争い、その余は認める。相違点１、同２
に対する判断は争う（ただし、一部認めるところがある。）。（むすび）は争う。
　本件決定は、①本件訂正については、訂正発明１及び同２と引用発明１との
一致点の認定を誤り（取消事由１）、訂正発明１及び同２と引用発明１との相違点
１及び同２についての認定判断を誤り（取消事由２及び同３）、その結果、訂正発
明１及び同２の進歩性を否定して独立特許要件を欠いていると判断して、本件訂正
は認められないとし、②特許異議申立てについては、本件発明１及び同２と引用発
明１との一致点の認定を誤り（取消事由４）、本件発明１及び同２と引用発明１と
の相違点１及び同２についての認定判断を誤り（取消事由５及び同６）、その結
果、本件発明１及び同２の進歩性を否定して特許要件を欠いていると判断し、本件
特許は取り消されるべきであるとしたものであり、違法であるから、取り消される
べきである。
１　取消事由１（訂正発明と引用発明１との一致点の誤認）
(1)　本件決定は、引用発明１の「排気トラップ部」が、訂正発明にいう「熱交
換器」に相当するとし、引用発明１が、訂正発明にいう「熱交換器」の構成を有し
ている点で訂正発明と一致するとしているが、この認定は誤っている。そもそも、
訂正発明は、クライオポンプの使用をあえて排除した点に主たる特徴があるものな
のであるから、クライオポンプを使用する引用発明１の「排気トラップ部」が訂正
発明の「熱交換器」に相当するなどということはあり得ない。
(イ)　訂正明細書に記載されている「クライオポンプ」とは、極低温におい
て凝縮、吸着により排気を行い、気体密度を下げて真空を形成しようとするもので
ある。
　クライオポンプは、一般に、外側のシールド及びバッフル部分と、その
内側のクライオパネル部分の２段構造をしており、前者は、低温冷凍機（一般的に
はＧｉｆｆｏｒｄ－ＭｃＭａｈｏｎ冷凍機又は略してＧ－Ｍ冷凍機と称される。）
のコールドヘッドの第１ステージに連結されて８０°Ｋ以下（一般的には６０°Ｋ
～８０°Ｋ）の温度に冷却されており、後者は、低温冷凍機のコールドヘッドの第
２ステージに連結されて２０°Ｋ以下（一般的には１０゜Ｋ～２０°Ｋ）の温度に
冷却されているものである。
　水（Ｈ２Ｏ）などの飽和蒸気圧の低い気体は、高真空でも１３０°Ｋ以
下になれば凝縮されるので、外側のバッフルで凝縮固化がなされるのに対し、飽和
蒸気圧が高いアルゴン（Ａｒ）、窒素（Ｎ２）、酸素（Ｏ２）などは、外側のバッフ
ルでは凝縮固化されず、内側のクライオパネル（２０°Ｋ以下）で凝縮固化がなさ
れ、さらに飽和蒸気圧の高い水素（Ｈ２）やヘリウム（Ｈｅ）については、１０°
Ｋでも凝縮しないため、クライオパネルでも凝縮固化されず、一般には、クライオ
パネルに取り付けられて冷却された活性炭で吸着（クライオソープション）させて
いる。このようにクライオポンプは、外側のバッフルと内側のクライオパネルの両
方により、気体を凝縮、吸着させて排気を行うものであり、まさにこの外側のバッ
フルと内側のクライオパネルとを備えたところに大きな特徴があるのである。
(ロ)　被告は、クライオポンプの意義について、「マグローヒル科学技術用
語大辞典　第２版」（乙第１号証）を引用し、クライオポンプが必ず２段の構造を
持つものであると限定的に解釈すべき理由は何ら存在しない旨主張する。
　しかし、クライオポンプは、単なる冷凍機とは異なり、あくまでも超高
真空ポンプであって、それが任意の温度変更ができるようなものでないことは、当
業者であれば誰でも知っていることであり、このことは、甲第５号証（引用刊行物
２）、甲第９号証（１９９０年（平成２年）１１月２６日株式会社産業技術サービ
スセンター発行「実用真空技術総覧」）、甲第１０号証（昭和６３年１１月１５日
社団法人日本冷凍協会発行「ＲＥＦＲＩＧＥＲＡＴＩＯＮ」１１月号　ＶＯＬ.６３
　ＮＯ．７３３）、甲第１９号証（昭和５７年７月アルバック・クライオ株式会社
発行「研修資料　Ｎｏ.1　クライオポンプ入門 」）、甲第２０号証（「Ｔｈｅｏｒ
ｙ　ａｎｄ　Ｐｒａｃｔｉｃｅ　ｏｆ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇ
ｙ」）、甲第２１号証（１９８２年１１月９日日本真空技術株式会社編集「真空ハ
ンドブック増訂板」）などからも明らかである。
(ハ)　訂正発明が、クライオポンプの使用をあえて排除したことは、訂正請
求に係る明細書（以下「訂正明細書」という。）の「ヘリウム冷凍機を使用し１５
°Ｋから２０°Ｋ程度の超低温の熱交換器を備えた所謂クライオ真空ポンプを用い
た場合には、水蒸気についての排気特性が良好となるので、上述の不都合にある程
度対処することができる。しかしクライオ真空ポンプの場合は、(1)冷凍機駆動に係
わる起動・停止時間が長い、(2)いわゆる溜め込み式なので、一定の負担運転が終了
する毎に再生運転を長時間に亘って行う必要がある、(3)気体分子の種類により昇華
温度が異なるため、再生運転時には熱交換器の温度上昇に従って各種気体分子は高
濃度にて順次ポンプから分離排出されるが、この分離排出に対応してその後の処理
を行うことが困難である。特に半導体製造プロセスにおいては、モノシラン（Ｓｉ
Ｈ４）、フッ化水素（ＨＦ）のような有毒、高腐蝕性、爆発性、可燃性の気体を窒
素（Ｎ２）、ヘリウム（Ｈｅ）等の不活性ガスで希釈して使用するので、これら各
種気体が分離排出されることに対応するのが非常にむずかしい、という問題点があ
った。」（甲第３号証５頁５行～６頁６行）とクライオポンプの欠点が指摘され、
それを受けて、「本発明は上述した従来技術の欠点に鑑みて提案されたもの」（同
６頁７行～８行）であると明記していることから明らかである。
　訂正発明が、クライオポンプをあえて排除したのは、クライオポンプの
欠点を回避しようとしたものであり、特に、再生におけるクライオポンプの欠点、
すなわち、爆発性や有毒性のあるガスがクライオポンプの再生時に分離濃縮されて
出てくること、特にその中のシランが現実問題として半導体製造プロセスの大きな
事故を引き起こすようになってきたという欠点を回避しようとしたものであり、あ
えてクライオポンプの使用を排除し、ターボ分子ポンプによりガスを連続排気する
手法を基本とし、ガス負荷は大きいが再生においては何等危険性のない水分子のみ
を、ヘリウム冷凍機により－１００°Ｃ～－２００°Ｃ（１７３°Ｋ～７３°Ｋ）
の温度に冷却してトラップする熱交換器をターボ分子ポンプの入口に設け、排気性
の向上と合理的な再生が可能となる真空ポンプを実現させたのである。
(ニ)　これに対し、引用発明１の「排気トラップ部」は、クライオポンプを
排除したものではないことが明らかであるからから（別紙図面(2)参照）、これが訂
正発明にいう「熱交換器」に当たることはあり得ない。要するに、訂正発明にいう
「熱交換器」と引用発明１にいう「排気トラップ部」とは、本質的に異なったもの
である。
(2)　本件決定は、「ヘリウム冷凍器により熱交換器が－１００°Ｃ～－２００
°Ｃの温度に冷却され水分子を選択的に凍結捕集する」（決定書９頁４行～６行、
１１頁１２行～１４行）という点を、一応、相違点１の中に挙げたものの、「刊行
物１のものは、冷却されたバッフル９ｂ、８０Ｋアレー９ａ（熱交換器）によりＨ
２Ｏ と熱輻射の大部分を吸着するものであり、特に他のガスの凍結吸着について記
載が無い以上、該熱交換器は、水分子を選択的に吸着しているものと解される。」
（決定書９頁１９行～１０頁４行、１２頁７行～１２行）と認定し、結局、訂正発
明１と引用発明１とは、いずれも、「水分子を選択的に吸着している」点で一致し
ているものと認定した。
　しかし、引用発明１は、「水分子を選択的に吸着しているもの」ではない
から、この点でも、本件決定の認定は誤っている。
　引用発明１では、スパッタチャンバーにロータリーポンプが設けられ、ス
パッタチャンバーの排気系にメインバルブ及び排気トラップ部を介してターボポン
プが接続された従来の半導体製造装置の排気トラップ部について、従来なされてい
た、冷媒を一過的に供給する方法やポリコールド冷凍機により冷却する方法ではな
く、クライオポンプを排気トラップ部に設けるようにしたものである。したがっ
て、それは、冷媒を供給する方法によらずに、液体窒素を冷媒として供給する方法
により到達できるような温度にまでするために、クライオポンプを排気トラップ部
に設けたものであり、その技術的思想としては、水分子の大部分を吸着しようとし
たものではあるけれども、そこには水分子を選択的に吸着しようとの技術的思想は
全くなかったことが明白である。
　本件決定は、引用刊行物１に、水分子以外のガスを全く凍結吸着せず、水
分子のみを選択的に吸着するような技術事項が示されているわけではないのに、水
分子以外のガスの凍結吸着について記載がない以上、訂正発明１の「熱交換器」に
相当する引用発明１の「排気トラップ部」が、水分子を選択的に吸着しているとし
ているのであり、失当であることは明らかである。
　また、訂正発明と引用発明１とでは、前者が、クライオポンプを排除する
ことによって、その構成を、水分子を選択的に吸着するものとしているのに対し
て、後者では、引用発明１の排気トラップ部は、クライオポンプを排除していない
から、その構成を、水分子を選択的に吸着するものとしていない点でも相違してい
るのである。
(3)　以上のとおり、本件決定は、引用発明１の「排気トラップ部」が訂正発明
にいう「熱交換器」に相当し、訂正発明と引用発明１とは、いずれも、「水分子を
選択的に吸着している」点で一致する、との誤った認定を前提に、訂正発明と引用
発明１とを対比し、進歩性の判断をしているのであり、上記認定判断の誤りが本件
決定の結論に影響を及ぼすことは明らかであるから、この点において既に違法であ
り、取り消されるべきである。
２　取消事由２（訂正発明と引用発明１との相違点１についての判断の誤り）
　本件決定は、相違点１に関し、訂正発明が、熱交換器の温度を－１００°Ｃ
～－２００°Ｃとした点は、冷凍吸着すべき水分子の飽和蒸気曲線から当業者が容
易に採用し得る設計上の事項であり、また、熱交換器をヘリウム冷凍機により冷却
することは引用刊行物２に記載されているから、冷却手段としてヘリウム冷凍機を
採用することに格別の困難性はない旨判断し、相違点１についての想到困難性を否
定した。しかし、上記判断は誤っている。
(1)　引用発明１においては、水分子を選択的に凍結吸着しているという前提が
ない以上、それを前提に熱交換器の温度を－１００°Ｃ～－２００°Ｃとすること
は当業者が容易に採用し得る設計上の事項であるといったところで、何の意味もな
いことは明らかである。つまり、水分子を選択的に冷凍吸着する温度範囲について
飽和蒸気曲線から採用することが知られていたとしても、そもそも水分子を選択的
に冷凍吸着しようとの考えがなければ、水分子を選択的に冷凍吸着する温度範囲を
採用することが単なる設計事項にすぎないなどとは到底いえないことは明白であ
る。
(2)　本件決定は、引用発明１について、「冷却温度は水分子が冷凍吸着する温
度範囲でクライオポンプが運転されているものと解するのが自然である」（決定書
１０頁４行～６行、１２頁１２行～１４行）と認定している。
　しかし、クライオポンプが、単なる冷凍機とは異なり、あくまでも超高真
空ポンプであって、それが任意の温度変更ができるようなものでないことは、前述
のとおりであり、もし仮に、単に８０°Ｋの温度の冷却面しかないとすれば、その
ようなものは超高真空ポンプとしての機能は果たし得ず、そのようなものをクライ
オポンプと当業者が称するはずがないのである。本件決定の考えは、クライオポン
プが単なる冷凍機にすぎず、その冷凍温度を任意に設定変更できるものであるとの
誤った考えを前提とするものである。
３　取消事由３（訂正発明と引用発明１との相違点２についての判断の誤り）
　本件決定は、①訂正発明１に関して、「請求項１に係る発明は、締切弁を閉
じ、ターボ分子ポンプを運転した状態で、該熱交換器をヒータで加熱するかもしく
はヘリウム冷凍機を休止することによって熱交換器に凍結捕集した分子を気化させ
る再生手段を有するのに対し、刊行物１記載のものは、再生手段については明らか
でない点。」（決定書９頁１１行～１６行）で相違すると認定したうえ、この相違
点（相違点２）について、「締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転した状態で熱
交換器を再生することは、前記刊行物３に記載されており、熱交換器に再生手段と
して加熱ヒータを設けることも前記刊行物４に記載されている。」（同１０頁１４
行～１０頁１８行）と認定し、②訂正発明２に関して、「請求項２に係る発明は、
締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転し、熱交換器をヒータで加熱するかもしく
はヘリウム冷凍機を休止することにより熱交換器に凍結捕集した分子を気化させる
再生工程を含むのに対し、刊行物１記載のものは、再生工程については明らかでな
い点。」（同１１頁１９行～１２頁４行）で相違すると認定したうえ、この相違点
（相違点２）について、「締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転した状態で熱交
換器を加熱する再生工程について、前記刊行物３に記載されている（判決注・引用
刊行物４に言及していないのは誤記であり、「熱交換器に再生工程として加熱ヒー
タを設けることも前記刊行物４に記載されている」との語句を追加すべきものと認
める。）」（同１３頁５行～７行）と認定し、その結果、いずれも、相違点２につ
いての想到困難性を否定した。しかし、本件決定の上記認定判断は明らかに誤って
いる。
　訂正発明は、真空容器と熱交換器との間の締切弁を締めるだけで、システム
をあえて閉鎖（シャットダウン）する必要なく、しかも、システムを閉鎖させずに
ターボ分子ポンプの運転を継続することにより、積極的に熱交換器の再生を行うこ
とができるのである。一方、引用刊行物３には、システムを閉鎖せずにターボ分子
ポンプを運転した状態で、再生することについては一切記載されていない。
　本件決定が指摘する引用刊行物３（甲第６号証）の「セクション１０．１．
１に記載されているとおり使用する場合、システムの閉鎖は高真空バルブを閉じ、
液体窒素トラップを緩めることによって開始される。トラップが平衡状態になった
とき、フォアラインバルブが閉じられ、ターボ分子ポンプのモータへの動力が除去
される。」（２６８頁１６行～２０行）との記載は、あくまでシステムを閉鎖する
ときの話であるから、引用発明３のシステムを閉鎖する場合の再生の記載から、シ
ステムを閉鎖しない場合における訂正発明の「ターボ分子システムにおいて、締切
弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転し、熱交換器を加熱することにより熱交換器に
凍結捕集した分子を気化させる再生工程。」が記載されているとしたのは、明らか
に誤りである。
４　取消事由４ないし６（本件発明と引用発明１との一致点の誤認、本件発明と
引用発明１との相違点１及び同２についての判断の誤り）
　本件発明と訂正発明とは、前者が「ヘリウム冷凍機により冷却された気体分
子を凍結捕集する熱交換器」としていたのを、より明確に「ヘリウム冷凍機により
－１００゜Ｃ～－２００゜Ｃの温度に冷却され水分子を選択的に凍結捕集する熱交
換器」とした点、及び、前者の再生手段についてより明確にするために、後者で
「締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転した状態で」とした点が異なるだけであ
る。本件決定は、本件発明との一致点を誤認し、本件発明と引用発明１との相違点
１及び同２についての判断を誤っており、その理由は、取消事由１ないし同３で述
べたところと同様である。
第４　被告の反論の要点
　本件決定の認定判断は、いずれも正当であり、本件決定を取り消すべき理由
はない。
１　取消事由１（訂正発明と引用発明１との一致点の誤認）について
(1)　引用発明１の「排気トラップ部」が、訂正発明にいう「熱交換器」に相当
するとし、引用発明１が、訂正発明にいう「熱交換器」の構成を有している点で訂
正発明と一致するとした本件決定の認定に誤りはない。
(イ)　そもそも、クライオポンプとは、「マグローヒル科学技術用語大辞典
　第２版」（乙第１号証）に、「低温ポンプ ｃｒｙｏｇｅｎｉｃ　ｐｕｍｐ、ｃｒ
ｙｏｐｕｍｐ　【低温】きわめて高い真空をつくり出す低消費電力の高速真空ポン
プ。圧力を下げるために、内部を通常、液体ヘリウムや液体または気体水素を用い
てえられるような極低温にした容器の表面にガスを凝縮させる。」（１０６２頁）
と記載されているように、ある気体の存在する空間に冷却面を置き、この冷却面に
気体を冷却凝固させることにより蒸気圧を極めて低くして、低圧を得る手段をいう
ものである。
　原告らは、クライオポンプは、一般に２段の構造をなしており、すなわ
ち、外側のバッフルと内側のクライオパネルの両方により、気体を凝縮、吸着させ
て排気を行うものであり、まさにこの外側のバッフルと内側のクライオパネルとを
備えたところに特徴があると主張するけれども、クライオポンプが必ず２段の構造
を持つものであると限定的に解釈すべき理由は何ら存在しない。
(ロ)　引用刊行物１（甲第４号証）の記載内容をみると、「上述した従来の
トラップ方式で効率よくＨ２Ｏ、輻射熱を排気するには冷媒としてＬＮ２を用いるこ
とが望ましいが、装置への供給、清浄度、コスト面等で問題があった。」（２頁４
行～７行）、「上述した従来のトラップに対し、本考案はガス閉サイクルのポリコ
ールドの利点とＬＮ２のトラップ効果の効率良さを取り入れ、低温部から熱伝導に
よりバッフルに伝導しトラップ効果を向上させるという独創的内容を有する。」
（２頁１１行～１５行）、「前記排気トラップ部８は、ＬＮ２の効率の良いトラッ
プ効果と、ポリコールドのガス閉サイクルの使い良さ、経済性に着目し、クライオ
ポンプ１０の低温特性を利用し８０Ｋアレー９ａとバッフル９ｂとにより構成され
る。バッフル９ｂはクライオポンプ１０の低温部からの熱伝導を受けてトラップ効
果を作用する。」（３頁１１行～１７行）、「そのとき、クライオポンプ１０によ
りバッフル９ｂ、８０Ｋアレー９ａを冷却し、その冷却されたバッフル９ｂ、８０
Ｋアレー９ａによりＨ２Ｏと熱輻射の大部分は吸着される。」（４頁２行～５
行）、「以上説明したように本考案はクライオポンプの低温特性を利用してトラッ
プ効果を向上させてウェハー交換に伴うチャンバー内の排気中に発生するＨ２Ｏ及
び熱輻射を短時間に吸着することにより、半導体製造装置のサイクルタイムを短縮
できる効果を有するものである。」（５頁１５行～２０行）という記載からみて、
排気トラップ部８を構成するものは、８０Ｋアレー９ａとバッフル９ｂだけであ
り、バッフル９ｂ及び８０Ｋアレー９ａは、Ｈ２Ｏと熱輻射の大部分を吸着する一
段の熱交換器を構成するものである。
　したがって、引用発明１の「排気トラップ部」は、訂正発明の「熱交換
器」に相当するということができる。
(2)　原告らは、引用発明１は、「水分子を選択的に吸着しているもの」ではな
いと主張する。
　しかし、そもそも、真空技術の分野において、「その温度によって、水分
子を選択的に凍結捕集するコールドトラップ」は、乙第２号証（１９８４年ＰＨＯ
ＴＯＮＩＣＳ　ＳＰＥＣＴＲＡ発行「ＰＨＯＴＯＮＩＣＳ　ＳＰＥＣＴＲＡ」２月
号）に、「第２図は、標準モデルの典型的な加熱及び冷却速度を示している。クラ
イオコイルは、初期システム予備冷却の後、９０秒未満で＋３０°Ｃから－１１０
°Ｃに冷却することができる。－１４０゜Ｃの最終クライオ表面温度になるのに、
約７分かかる。チャンバ開口のためのコイル再加熱は＋３５゜Ｃまで９０秒以内で
ある。このような迅速な熱伝達は、制限された重量で内部熱貯蔵のクライオ表面を
使用することによって達成することができる。」（２頁１欄下から３行～２欄１１
行）、「水蒸気は、生成チャンバにおける最も大きなポンプ負荷であるので、ポン
プコンビネーションを使用することは意味をなし、これは、処理しなければならな
い全てのガス負荷にとって最も経済的である。速いサイクル水クライオポンプは、
拡散ポンプ、クライオポンプ、ターボ分子ポンプなどの、ほとんど他のすべての高
真空ポンプに付加することができる。」（３頁１欄２２行～３１行）
と記載されているとおり、従来より知られた公知の技術である。
　また、前述のとおり、引用発明１において、排気トラップ部８を構成する
ものは、８０Ｋアレー９ａとバッフル９ｂだけであり、バッフル９ｂ及び８０Ｋア
レー９ａは､Ｈ２Ｏと熱輻射の大部分を吸着する熱交換器を構成するものであるか
ら、排気トラップ部８は、水分子を選択的に凍結捕集しているものである。
２　取消事由２（訂正発明と引用発明１との相違点１についての判断の誤り）に
ついて
　水分子を選択的に凍結捕集するに当たって、その温度を冷凍吸着すべき水分
子の飽和蒸気曲線から採用することは単なる設計上の事項であるから、相違点１に
関して想到困難性を否定した本件決定の判断に誤りはない。
３　取消事由３（訂正発明と引用発明１との相違点２についての判断の誤り）に
ついて
　原告らは、本件発明は、真空容器と熱交換器との間の締切弁を締めるだけ
で、システムをあえて閉鎖する必要なく、しかも、システムを閉鎖せずにターボ分
子ポンプの運転を継続することにより、積極的に熱交換器の再生を行うことができ
る旨主張し、本件決定が引用発明３を引用したことを攻撃する。
　しかしながら、再生工程の後にシステムの閉鎖を伴うか、伴わないかは、訂
正発明に係る特許請求の範囲において特定される事項ではないから、原告らの主張
は前提において根拠のないものである。
　また、引用刊行物３（甲第６号証）には、「ターボ分子システムにおいて、
締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転し、熱交換器を加熱することにより熱交換
器に凍結捕集した分子を気化させる再生工程。」が記載されていることが明らかで
ある。引用発明１は、水分子を選択的に凍結捕集するものであるから、これに引用
発明３の上記技術事項を適用することによって、容易に、再生工程の後に、システ
ムの閉鎖を伴わないように構成し得るものである。
４　取消事由４ないし６（本件発明と引用発明１との一致点の誤認、本件発明と
引用発明１との相違点１及び同２についての判断の誤り）
　原告らの主張には理由がなく、本件決定の認定判断に誤りがないことは、取
消事由１ないし３に対する反論で述べたのと同様である。
第５　当裁判所の判断
１　取消事由１（訂正発明と引用発明１との一致点の誤認）について
(1)　クライオポンプについて
(イ)　乙第１号証（マグローヒル科学技術用語大辞典第２版）によれば、
「クライオポンプ」とは、一般的に、「低温ポンプ ｃｒｙｏｇｅｎｉｃ　ｐｕｍ
ｐ、ｃｒｙｏｐｕｍｐ」を意味するもので、その内容は、「きわめて高い真空をつ
くり出す低消費電力の高速真空ポンプ。圧力を下げるために、内部を通常、液体ヘ
リウムや液体または気体水素を用いてえられるような極低温にした容器の表面にガ
スを凝縮させる。」（１０６２頁）とされていることが認められる。
　甲９号証によれば、１９９０年１１月２６日株式会社産業技術サービス
センター発行「実用真空技術総覧」には、
「３．３．１　２種類のクライオポンプ
　密閉容器（真空容器）の中に入れた金属面（クライオパネル）を冷却し
てゆくと先ず水分つづいて蒸気圧の低い順にガス分子が金属面に凝縮固化捕捉され
る。残った空間のガス分子の減少（圧力の低下）から容器は真空になる。クライオ
ポンプは冷却手段により次の２種に大別される。
①　液体ヘリウムと液体窒素を用いるポンプ
②　小型冷凍機を用い１５Ｋまで冷却するポンプ
　茲では(2)について述べる。実用されている冷凍サイクルはＧ－Ｍ、Ｍソ
ルベ、逆スターリング等でＪ－Ｔ膨張ではなく、サイモン膨張（１９４６年佛サイ
モンの発見）によるものである。
３．３．２　クライオポンプの構造、排気の原理
　写真３．３．１、図３．３．１に代表的な内部構造を示した。１段ステ
ージのコールドヘッドおよびこれに連結する８０Ｋシールド８０Ｋバッフルは１３
０Ｋ以下に冷却され、２段ステージのコールドヘッドおよび１５Ｋパネル①と②は
２０Ｋ以下に冷却される。真空槽内の気体はそれ自身の熱エネルギにより空中を飛
び交わっていて気体の方からポンプ内へ飛込んでくる。」（１３８頁）
との記載があることが認められ、図３．３．１には、これに対応する図面
が示されていることが認められる。
　甲第１０号証によれば、昭和６３年１１月１５日「ＲＥＦＲＩＧＥＲＡ
ＴＩＯＮ　ＶＯＬ．６３　ＮＯ．７３３」（社団法人日本冷凍協会）には、「クラ
イオポンプは極低温における凝縮（Ｃｒｙｏ－Ｃｏｎｄｅｎｓａｔｉｏｎ）、吸着
（Ｃｒｙｏ－Ｓｏｒｐｔｉｏｎ）および凝縮層に吸着した気体を埋めこんでいくク
ライオトラッピング（Ｃｒｙｏ－Ｔｒａｐｐｉｎｇ）によって排気するものであ
る。凝縮について説明する。気体の温度を下げていくと気体分子の熱運動速度は、
小さくなり凝縮が起りはじめる。この状態で温度を一定に保つと凝縮が停止し、圧
力一定となり気相から固相または液相に入射する分子数と離脱する分子数が平衡し
ている。これが飽和蒸気圧で、気体分子の種類と温度できまる圧力である。・・・
クライオポンプに用いる小型冷凍機の最低温度は、約１０Ｋまで下る。」（７５頁
右欄３４行～７６頁左欄８行）、「小型２段ヘリウム冷凍機を使用した高真空クラ
イオポンプの外観と排気部の構造を図８に示す。・・・第１パネルは、温度を５０
～７０Ｋの範囲に保ち、第２パネルヘの熱輻射量を低減させ、同時に飽和蒸気圧の
高い水蒸気や、ＣＯ２などを凝縮させる役割を持っている。第２パネルの外面
は・・・第１パネルからの輻射を受け約１０～１４Ｋ程度になっている。この面に
Ｎ２Ｏ２、Ａｒ・・・等の気体が主に凝縮する。内面はポンプの中で最も低温の１０
Ｋ程度の部分であり、ここに熱伝導性のよい樹脂で活性炭を接着してあり､飽和蒸気
圧の高いＨ２、Ｈｅ、Ｎｅの気体を低温吸着させる構造になっている。」（７６頁
右欄１６行～７７頁左欄３２行）との記載があることが認められる。
　上記各記載によれば、クライオポンプとは、ある気体の存在する空間に
超低温の冷却面を置き、この冷却面に気体を冷却凝固させることにより蒸気圧を極
めて低くして、高い真空を作り出すものを総称しているものであり、その代表的な
ものとして、２段の構造をなし、外側のバッフルと内側のクライオパネルの両方に
より、気体を凝縮、吸着させて排気を行うものがあることが認められる。これによ
れば、現実に用いられているクライオポンプの語の意味するところは、状況により
異なり得るものであることが明らかである。
(ロ)　原告らは、甲第５号証、第９号証、第１０号証、第１９号証ないし第
２１号証を挙げて、クライオポンプは、単なる冷凍機とは異なり、あくまでも超高
真空ポンプであって、それが任意の温度変更ができるようなものでないことは、当
業者であれば誰でも知っている旨主張する。
　しかしながら、甲第５号証、第９号証、第１０号証、第１９号証ないし
第２１号証を検討しても、原告ら主張の事実を認め得ず、その他、本件全証拠によ
っても、同事実を認めるに足りる証拠を見出すことはできない。原告らの上記主張
は、失当である。
(2)　引用発明１の「排気トラップ部」が訂正発明の「熱交換器」に相当するか
否かについて
(イ)　訂正発明の特許請求の範囲には、訂正発明にいう「熱交換器」につい
て、「ヘリウム冷凍機により－１００°Ｃ～－２００°Ｃの温度に冷却され水分子
を選択的に凍結捕集する熱交換器」との記載があるものの、上記「熱交換器」につ
いて、これを限定的に解すべきことを根拠付ける格別の記載は存在しない。
　一方、引用刊行物１（甲第４号証。実願昭６２－７３９３８号（実開昭
６３－１８２５２５号）のマイクロフィルム）に、「（実施例１）・・・第１図に
おいて、スパッタチャンバー３にロータリーポンプ１を接続し該チャンバー３の排
気系３ａにメインバルブ５及び排気トラップ部８を介してターボポンプ２を接続す
る。またロータリーポンプ１とターボポンプ２とを接続させてある。前記排気トラ
ップ部８は、ＬＮ２の効率の良いトラップ効果と、ポリコールドのガス閉サイクル
の使い良さ、経済性に着目し、クライオポンプ１０の低温特性を利用し８０Ｋアレ
ー９ａとバッフル９ｂとにより構成される。バッフル９ｂはクライオポンプ１０の
低温部からの熱伝導を受けてトラップ効果を作用する。・・・該チャンバー３内を
ロータリーポンプ１で荒引き排気した後、メインバルブ５を開き、高真空に排気す
る。そのとき、クライオポンプ１０によりバッフル９ｂ、８０Ｋアレー９ａを冷却
し、その冷却されたバッフル９ｂ、８０Ｋアレー９ａによりＨ２Ｏ と熱輻射の大部
分は吸着される。」（３頁３行～４頁５行）との記載があることは、当事者間に争
いがない。
　また、同号証によれば、その第１図（別紙図面(2)第１図）には、上記記
載に対応する図面が示されていることが認められる。
　以上の事実によれば、「排気トラップ部８」は、クライオポンプ１０の
低温特性を利用する８０Ｋアレー９ａとバッフル９ｂとにより構成され、８０Ｋア
レー９ａとバッフル９ｂは、クライオポンプ１０の低温部からの熱伝導を受けての
トラップ効果により、水分子（Ｈ２Ｏ） と輻射熱の大部分を吸着するというもので
ある。
　そうすると、引用発明１の「排気トラップ部」は、クライオポンプによ
り超低温に冷却された８０Ｋアレー９ａとバッフル９ｂにおいて、水分子を凍結捕
集しているのであるから、訂正発明の「熱交換器」と比べると、後者が、ヘリウム
冷凍機により－１００°Ｃ～－２００°Ｃの温度に冷却するのに対して、前者で
は、ヘリウムを利用した冷凍機かどうか、その冷却温度がどの程度かが明らかでな
い点で相違しているものの、超低温のパネルによって水分子を凍結捕集（凝縮・吸
着）する熱交換器である点では一致しており、引用発明１の「排気トラップ部」
が、訂正発明にいう「熱交換器」に相当することは明らかである。
(ロ)　この点について、原告らは、訂正発明は、クライオポンプの使用をあ
えて排除した点に主たる特徴があるものであるから、クライオポンプを使用する引
用発明１の「排気トラップ部」が訂正発明の「熱交換器」に相当することはあり得
ない旨主張する。
(ハ)　甲第３号証によれば、訂正明細書の発明の詳細な説明には、「ヘリウ
ム冷凍機を使用し１５゜Ｋから２０゜Ｋ程度の超低温の熱交換器を備えた所謂クラ
イオ真空ポンプを用いた場合には、水蒸気についての排気特性が良好となるので、
上述の不都合にある程度対処することができる。しかしクライオ真空ポンプの場合
は、(1)冷凍機駆動に係わる起動・停止時間が長い、(2)いわゆる溜め込み式なの
で、一定の負担運転が終了する毎に再生運転を長時間に亘って行う必要がある、(3)
気体分子の種類により昇華温度が異なるため、再生運転時には熱交換器の温度上昇
に従って各種気体分子は高濃度にて順次ポンプから分離排出されるが、この分離排
出に対応してその後の処理を行うことが困難である。特に半導体製造プロセスにお
いては、モノシラン（ＳｉＨ４）、フッ化水素（ＨＦ）のような有毒、高腐蝕性、
爆発性、可燃性の気体を窒素（Ｎ２）、ヘリウム（Ｈｅ）等の不活性ガスで希釈し
て使用するので、これら各種気体が分離排出されることに対応するのが非常にむず
かしい、という問題点があった。本発明は上述した従来技術の欠点に鑑みて提案さ
れたものであり、分子量が小さい気体、特に水分子の排気特性が良好であり、再生
が容易で排気運転が可能な排気装置を提供することを目的としている。」（５頁５
行～６頁１１行）、「本発明の真空排気装置によれば、排気運転を行なう場合は、
吸気口の上流側に設けた締切弁を開け、ヘリウム冷凍機により熱交換器表面を冷却
しガス分子凍結捕集による真空排気と、夕ーボ分子ポンプによる真空排気とを組合
せた排気作用を行なうことができる。」（９頁６行～１１行）、「クライオ真空ポ
ンプ単独による真空排気とは異なりターボ分子ポンプとの組合せであるため、再生
から再生までの排気運転を非常に長く行なうことができ、更に前述のように短時間
で再生を行なうことができる。」（１０頁１９行～１１頁３行）との記載があるこ
とが認められる。
　上記記載に、前記(1)認定の事実をあわせて考えれば、訂正発明は、「ク
ライオポンプ」で示され得るものの中の代表的なものである２段構造のクライオポ
ンプの長所と短所に鑑み、その短所に着目してこれを排除したものの、「クライオ
ポンプ」で示され得るもののすべてを排除しているのではなく、上記２段構造のう
ちの１段、すなわち、１３０°Ｋ以下に冷却されるシールド及びバッフル部分のみ
を備えるものは排除することなく、これに対応する「ヘリウム冷凍機により－１０
０°Ｃ～－２００°Ｃの温度に冷却され・・・る熱交換器」として使用しつつ、こ
れをターボ分子ポンプと組み合わせて真空排気を行うものであるということができ
る。
(ニ)　一方、引用発明１においては、前述のとおり、排気トラップ部８は、
クライオポンプ１０の低温特性を利用した８０Ｋアレー９ａとバッフル９ｂとによ
り構成され、８０Ｋアレー９ａとバッフル９ｂは、クライオポンプ１０の低温部か
らの熱伝導を受けてのトラップ効果により、水分子と輻射熱の大部分を吸着すると
いうものであるから、８０Ｋアレー９ａとバッフル９ｂを超低温に冷却することに
よって、水分子を凝縮・吸着しているものであって、「クライオポンプ」で示され
得るものを利用していることが明らかであり、しかも、８０Ｋアレー９ａとバッフ
ル９ｂが水分子の大部分を凝縮・吸着するものということであるならば、訂正発明
における熱交換器の場合とほぼ類似した温度となることは明らかである。
　そうすると、訂正発明及び引用発明１は、いずれも、クライオポンプで
示され得るもの一種を利用しており、少なくとも、引用発明１の排気トラップ部
は、訂正発明の熱交換器と対比したとき、ヘリウムを利用した冷凍機かどうか、そ
の冷却温度がどの程度かが明らかでない点で一応相違しているとはいえるものの、
その他は構成、機能において変わるところがないということができる。
　訂正発明が、クライオポンプの使用をあえて排除した点に主たる特徴が
あるとし、これを前提に、クライオポンプを使用する引用発明１の「排気トラップ
部」が訂正発明の「熱交換器」に相当するとはいえないとする原告らの主張は、
「クライオポンプ」の語が原告らの主張する意味においてしか使用されないとの誤
った前提に立たない限り成立し得ないものであり、採用できない。
　付言するに、甲第４号証の第１図（別紙図面(2)第１図）の「１０　クラ
イオポンプ」が冷凍機そのものであることは、第１図自体から明らかである。その
意味で、引用刊行物１における「クライオポンプ」の語の用法は、やや正確さを欠
いているということができる。しかし、上記認定のとおり、冷凍機である「１０　
クライオポンプ」によりバッフル９ｂ、８０Ｋアレー９ａを冷却し、気体を冷却凝
固させることにより蒸気圧を極めて低くして、高い真空を作り出そうとしているこ
とからすれば、これを全体として、「クライオポンプ」のうちの上記の働きを示す
種類のものとなるのであり、引用刊行物１において「クライオポンプ」という語が
使用されているからといって、訂正明細書にいう「クライオポンプ」と同義になる
ものでないことは、明らかである。原告らの主張は、引用刊行物１にいう「クライ
オポンプ」と訂正明細書にいう「クライオポンプ」とを同視し、これを前提とし
て、クライオポンプを使用する引用発明１の「排気トラップ部」が訂正発明の「熱
交換器」に相当することはあり得ないとするものであるから、その前提が認められ
ない以上、成り立ち得ないのである。
(3)　水分子の選択的な凍結捕集について
　引用発明１の排気トラップ部８が、水分子の大部分を凍結捕集（凝縮・吸
着）していることは、原告らも争わないところである。
　原告らは、訂正発明と引用発明１とでは、前者が、クライオポンプを排除
しているから、水分子を選択的に吸着している構成であるのに対して、後者では、
引用発明１の排気トラップ部は、クライオポンプを排除していないから、水分子を
選択的に吸着する構成でない点でも相違していると主張している。その趣旨は、要
するに、訂正発明が２段構造のクライオポンプを排除しているのに対し、引用発明
１が２段構造のクライオポンプを排除していない以上、２段構造のクライオポンプ
の２０°Ｋ（－２５３°Ｃ）前後に冷却される１５Ｋパネル部分も存在しているは
ずであり、水成分とともにこれより飽和蒸気圧の高い有害なガスをも凍結捕集して
いると主張するものということができる。
(イ)　まず、甲第４号証によれば、引用刊行物１の実施例１を示す第１図
（別紙図面(2)の第１図参照）には、排気トラップ部８とターボポンプ２とが連結さ
れ、排気トラップ部８は、８０Ｋアレー９ａとバッフル９ｂとから構成されてお
り、この８０Ｋアレー９ａが、クライオポンプ１０に連結された構成が示されてい
るだけであることが認められる。
　また、同号証によれば、引用刊行物１には、実施例２について、「排気
トラップ部８は前述の実施例と同様に８０Ｋアレー９ａとバッフル９ｂとからな
り、さらにこれらを冷却するクライオポンプ１０を備えている。」（４頁１９行～
５頁１行）、「実施例において、プロダクトチャンバー１２にウェハーを装着し、
該チャンバー１２をロータリーポンプ１で荒引き排気し、第１のバルブ１７を開放
し、高真空に排気する。そのときクライオポンプ１０によって冷却されたバッフル
９ｂ及び８０Ｋアレー９ａによってＨ２Ｏと熱輻射の大部分は吸着され、さらにク
ライオポンプ１８により高真空に排気した後、第２のバルブ１３を開放し、ソース
チャンバー１４内のソースによりプロダクトチャンバー１２内のウェハーに蒸着を
行う。」（５頁４行～１３行）との記載があることが認められ（別紙図面(2)の第２
図参照）、これらの記載によれば、実施例２の排気トラップ部８は、実施例１の排
気トラップ部８と同様であり、実施例２においては、これに更にクライオポンプ１
８を連結し、前者において､水分子（Ｈ２Ｏ）と熱輻射の大部分を吸着した後、後者
において、さらに高真空に排気を行う、というものであることが明らかである。
　そうすると、引用発明１（引用刊行物１の実施例１として示された技
術）を同刊行物の実施例２との対比においてみたとき、前者においては、２段構造
のクライオポンプの２０°Ｋ（－２５３°Ｃ）前後に冷却される１５Ｋパネル部分
が開示されていないことが明らかというべきである。引用刊行物１に「クライオポ
ンプ」という記載があるとしても、このことから、引用刊行物１にいうクライオポ
ンプ１０と排気トラップ部８が上記の２段構造の代表的なクライオポンプの構造で
あるとはいえないのである。
　以上によれば、引用発明１は、前述のとおり、８０Ｋアレー９ａとバッ
フル９ｂを超低温に冷却することによって、水分子を凝縮・吸着しているものであ
り、それ以上に、水成分より飽和蒸気圧の高い有害なガスをも凍結捕集しているこ
とをうかがわせる資料は存在しないから、水分子を選択的に凍結捕集しているとみ
得ることは明らかである。
(ロ)　原告らは、引用刊行物１には、水分子以外のガスを全く凍結吸着せ
ず、水分子のみを吸着するという技術的思想が示されているわけではない旨主張す
る。
　甲第４号証によれば、引用刊行物１には、「真空ポンプを有する半導体
製造装置において、半導体製造装置本体の排気トラップ部にクライオポンプを装備
したことを特徴とする半導体製造装置」（実用新案登録請求の範囲）、「本考案は
真空ポンプを装備した半導体製造装置に関する。」（１頁１１行及び１２行）、
「上述した従来のトラップに対し、本考案はガス閉サイクルのポリコールドの利点
とＬＮ２のトラップ効果の効率良さを取り入れ、低温部から熱伝導によりバッフル
に伝導しトラップ効果を向上させるという独創的内容を有する。」（２頁１１行～
１５行）、「本考案は真空ポンプを有する半導体製造装置において、半導体製造装
置本体の排気トラップ部にクライオポンプを装備したことを特徴とする半導体製造
装置である。」（２頁１７行～末行）との記載があることが認められる。
　また、甲第９号証ないし第１１号証によれば、真空ポンプは、半導体製
造装置において著しく重要な役割を担っており、１９５０年代には、油拡散ポンプ
がもっぱら使用されていたのが、１９５８年にはスパッタイオンポンプ、ターボ分
子ポンプが、１９６０年代にはクライオポンプが登場し、その後も、高真空化、清
浄化（ガスの凝縮・吸着）が追求されていたことが認められる。
　さらに、甲第１０号証及び弁論の全趣旨によれば、水分子を選択的に冷
凍吸着する温度範囲について、飽和蒸気曲線から採用し得ることは、当業者間で周
知であったものと認められる。
　以上によれば、引用発明１は、高真空化、清浄化を目指す真空ポンプで
あり、また、排気トラップ部のトラップ効果を向上させることを技術課題の一つと
しているものであることが認められ、しかも、前述のとおり、引用発明１には、引
用発明１の排気トラップ部８において、８０Ｋアレー９ａとバッフル９ｂが、クラ
イオポンプ１０の低温部からの熱伝導を受けて、トラップ効果により、水分子と輻
射熱の大部分を吸着するとの技術が開示されており、また、水分子を選択的に冷凍
吸着する温度範囲について、飽和蒸気曲線から採用し得ることは、当業者間で周知
であったのであるから、引用刊行物１に接した当業者は、引用発明１の技術から、
水分子を選択的に冷凍吸着するという技術を容易に想起し得たことが明らかである
というべきである。
　訂正発明の進歩性を検討する一資料としての引用刊行物について考慮さ
れるべきは、同刊行物に明記されている技術のみならず、同刊行物に接した当業者
が、これからいかなる技術を想起し、認識し得るかということである。
　原告らの主張は、失当というほかない。
２　取消事由２（訂正発明と引用発明１との相違点１についての判断の誤り）に
ついて
(1)　相違点１は、訂正発明においては、ヘリウム冷凍器により－１００°Ｃ～
－２００°Ｃに冷却されるのに対し、引用発明１においては、ヘリウムを利用した
冷凍機かどうか、その冷却温度がどの程度かが明らかでない点に係るものである。
　甲第５号証によれば、引用刊行物２には、「ＪＦＴ２用ベーカブルクライ
オポンプ」との題で、「１．はじめに　日本原子力研究所のＪＦＴ２トカマク型プ
ラズマ実験装置の主排気系用に、クライオポンプとターボモレキュラポンプを、直
列に接続した排気系が製作された。蒸気圧が窒素より低い気体はクライオポンプに
よって排気され、水素、ヘリウム、ネオンについては、クライオポンプ下流に設置
されたターボモレキュラポンプによって排気される。」（２６頁５行～１０行）、
「２．排気系の構成　Ｆｉｇ１に排気系の構成を示す。排気系は、上流部より、①
マニホールド、②クライオポンプ（窒素に対する設計排気速度２７００ｌ／ｓｅ
ｃ）、③ターボモレキュラポンプ（窒素に対する排気速度２０００ｌ／ｓｅｃ）、
④液体窒素冷却のフォアライントラップ、⑤メカニカルブースターポンプ（排気速
度５００ｍ ／ｈｒ）、⑥油回転ポンプ（排気速度７６０ｌ／ｍｉｎ）から主として
３
構成されている。３．クライオポンプ　Ｆｉｇ２にクライオポンプの内部構造を示
す。・・・③ヘリウム冷凍機、④ポンプハウジングより構成されている。ヘリウム
冷凍機は、クライオパネルベークアウト時に取りはずし可能な構造としてある。」
（同頁１４行～２７頁４行）との記載があることが認められる。
　上記記載によれば、昭和５４年１１月当時には、ヘリウム冷凍機とポンプ
ハウジングとから構成されるクライオポンプとターボ分子ポンプとを直列に接続
し、上流には、クライオポンプを配して、飽和蒸気圧が窒素より低い気体を排気
（凍結捕集）し、下流には、ターボ分子ポンプを配して、飽和蒸気圧が高い水素、
ヘリウム、ネオンの気体を排気するという技術が公開されていたことが認められる
から、超低温冷却のために、ヘリウム冷凍器を使用することは、本件出願当時に周
知の事柄であったものというべきである。
　そして、水分子を選択的に冷凍吸着する温度範囲について飽和蒸気曲線か
ら採用し得ることが当業者間で周知であったことは、前述のとおりであり、また、
引用刊行物１にいう「８０Ｋアレー」との記載が、「８０°Ｋ」（－１９３°Ｃ）
を念頭に置いたものであることは、弁論の全趣旨から明らかである。
　以上によれば、当業者が、本件出願時に、引用発明１及び同２から、前記
相違点１に係る訂正発明の技術事項に容易に想到し得たことは明らかというべきで
ある。
(2)　原告らは、引用刊行物１について、「冷却温度は水分子が冷凍吸着する温
度範囲でクライオポンプが運転されているものと解するのが自然である」とした本
件決定の認定を論難し、クライオポンプは、単なる冷凍機とは異なり、あくまでも
超高真空ポンプであって、それが任意の温度変更ができるようなものでないこと
は、当業者であれば誰でも知っている旨主張する。
　しかしながら、クライオポンプの語が原告らの主張する意味以外の意味で
も用いられ得るものであることは、前記１(1)認定のとおりである。そして、引用発
明１にいうクライオポンプ１０と排気トラップ部８が２段構造の代表的なクライオ
ポンプとは異なる構造であることは、前述のとおりである。原告らの主張は、採用
できない。
　その余の原告らの主張も採用できない。
３　取消事由３（訂正発明と引用発明１との相違点２についての判断の誤り）に
ついて
(1)　訂正発明１と引用発明１とで、引用発明１の排気トラップ部が訂正発明の
熱交換器に相当するか否かの点を除けば、本件決定の相違点２の認定について、当
事者間に争いがない。そして、引用発明１の排気トラップ部が訂正発明の熱交換器
に相当することは、前記認定のとおりである。
　そうすると、「請求項１に係る発明は、締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプ
を運転した状態で、該熱交換器をヒータで加熱するかもしくはヘリウム冷凍機を休
止することによって熱交換器に凍結捕集した分子を気化させる再生手段を有するの
に対し、刊行物１記載のものは、再生手段については明らかでない点」（相違点
２）で相違するとした本件決定の認定に誤りはない。
(2)　原告らは、相違点２について、締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転し
た状態で熱交換器を再生することは、前記刊行物３に記載されており、熱交換器に
再生手段（又は再生工程）として加熱ヒータを設けることも前記刊行物４に記載さ
れている、とした本件決定の認定を争う。
　引用刊行物３（甲第６号証。１９８０年ＪＯＨＮ　ＷＩＬＥＹ＆ＳＯＮ
Ｓ、ＩＮＣ．発行の「Ａ　Ｕｓｅｒ’ｓ　Ｇｕｉｄｅ　ｔｏ　Ｖａｃｕｕｍ　Ｔｅ
ｃｈｎｏｌｏｇｙ」）には、「１０．１．１システムオペレイション」の「１０．
２ターボ分子ポンプシステム」に、システム図として「Ｆｉｇ１０．５」（２６５
頁）が示され、また、「セクション１０．１．１に記載されているとおり使用する
場合、システムの閉鎖は高真空バルブを閉じ、液体窒素トラップを暖めることによ
って開始される。トラップが平衡状態になったとき、フォアラインバルブが閉じら
れ、ターボ分子ポンプのモータへの動力が除去される。」（２６８頁１６行～２０
行）との記載があることは、当事者間に争いがない（審決書６頁５行～７頁１行参
照）。
　上記争いのない事実によれば、引用刊行物３には、システムの閉鎖の際
に、まず、高真空バルブを閉じ、ターボ分子ポンプを運転した状態で、液体窒素ト
ラップを暖めるとの技術（引用発明３）が記載されていることが認められるから、
そこには、相違点２に係る「締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転した状態で熱
交換器を再生する」という技術事項が示されているということができる。
　また、引用刊行物４（甲第７号証。米国特許第４６７９４０２号明細書）
に、「時々、コールドトラップは、コールド表面に集積される汚染物を除去し、清
掃しなければならない。時間を減少させるために、外部温度にコールドトラップ１
０を暖めるために、ヒートテープ３２のストリップがスリーブ２６の周りに巻かれ
る。ヒートテープは、スリーブに巻かれテープされたワイヤから熱を伝達する電気
装置である。コールドとラップ１０が外部温度に暖められると、トラップは迅速に
除去でき掃除することができる。」（３欄５０行～５９行、ＦＩＧ２）との記載が
あることは、当事者間に争いがない。
　上記争いのない事実によれば、引用刊行物４には、相違点２に係る「熱交
換器に再生手段（又は再生工程）として加熱ヒータを設ける」という技術（引用発
明４）が記載されていることが認められる。
　以上によれば、当業者が、引用発明１に同３及び同４を適用して、前記相
違点２の技術事項に容易に想到し得たことは明らかというべきである。
(3)　原告らは、訂正発明は、真空容器と熱交換器との間の締切弁を締めるだけ
で、システムをあえて閉鎖させる必要なく、しかも、システムを閉鎖させずにター
ボ分子ポンプの運転を継続させることにより、積極的に熱交換器の再生を行うこと
ができるのに対して、引用刊行物３には、システムを閉鎖させずにターボ分子ポン
プを運転した状態で、再生させることについては一切記載されていない旨主張す
る。
　しかしながら、訂正発明の特許請求の範囲には、システムを閉鎖させずに
ターボ分子ポンプの運転を継続させることにより、積極的に熱交換器の再生を行う
という技術事項に関する構成はなく、発明の詳細な説明にも何らの記載も見出すこ
とができない。
　なお、仮に、原告ら主張のとおり、訂正発明が、真空容器と熱交換器との
間の締切弁を締めるだけで、システムをあえて閉鎖させる必要なく、しかも、シス
テムを閉鎖させずにターボ分子ポンプの運転を継続させることにより、積極的に熱
交換器の再生を行うことができるという構成のものであるとしても、引用発明３に
接した当業者が、高真空バルブを閉じ、ターボ分子ポンプを運転した状態で、液体
窒素トラップを暖めるという技術を、システムの閉鎖の際でなく、システムを閉鎖
しない状態で引用発明１に適用してみようとすることはごくありふれた発想という
べきであり、本件全証拠によっても、当業者がそのような発想をすることについて
格別の困難性も見出すことはできない。
(4)　したがって、「締切弁を閉じ、ターボ分子ポンプを運転した状態で熱交換
器を加熱する再生工程について、前記刊行物３に記載されている」との前提の下
に、相違点２は、当業者が容易に想到し得たものと認められるとした本件決定の判
断に誤りはない。
４　取消事由４ないし６（本件発明と引用発明１との一致点の誤認、本件発明と
引用発明１との相違点１及び同２についての判断の誤り）について
　本件発明と引用刊行物１との一致点の誤認、本件発明と引用刊行物１との相
違点１及び同２についての判断の誤りに関する原告らの主張が採用できないもので
あることは、取消事由１ないし３の認定判断において述べたところから明らかであ
り、取消事由４ないし６も、理由がない。
５　以上のとおりであるから、原告ら主張の取消事由はいずれも理由がなく、そ
の他本件決定にはこれを取り消すべき瑕疵は見当たらない。
　よって、本訴請求を棄却することとし、訴訟費用の負担につき行政事件訴訟
法７条、民事訴訟法６１条、６５条１項本文を適用して、主文のとおり判決する。
　　東京高等裁判所第６民事部
裁判長裁判官 山　　 下 　　和　 　明
　　　裁判官 宍　　 戸 　　　　　充
　　　裁判官 阿　　 部 　　正 　　幸
別紙図面(1) 別紙図面(2)