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ラムリサーチコーポレーション

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　■　2011年特許取得件数ランキング　　　第423位　78件（2010年：第572位　47件）

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公報番号	発明の名称	公報発行日
特開 2011-258953	適応熱導体を有するプラズマ処理チャンバ部品	2011年12月22日
特表 2011-530801	構成要素の温度を制御するための機構を伴うプラズマ処理システム	2011年12月22日
特開 2011-254097	熱制御板	2011年12月15日
特表 2011-530193	基板を洗浄する発泡体の発生器	2011年12月15日
特開 2011-254104	真空プラズマプロセッサ室においてワークピースを加工する方法	2011年12月15日
特開 2011-238958	パルス広帯域光源を用いてプラズマエッチングおよび堆積プロセスをその場モニタリングするための方法および装置	2011年11月24日
特開 2011-238957	パルス広帯域光源を用いてプラズマエッチングおよび堆積プロセスをその場モニタリングするための方法および装置	2011年11月24日
特開 2011-233924	誘導結合型プラズマエッチング装置のＲＦピークトゥピーク電圧を能動的に制御する装置および方法	2011年11月17日
特開 2011-233905	半導体処理のためのガス供給装置	2011年11月17日
特開 2011-228722	統合又は単独計測を用いる改善されたウェーハ均一性のための処理制御方法及び装置	2011年11月10日
特開 2011-228730	ウェーハについての不均一性の定量化および有意性の図解化のためのユーザインタフェース	2011年11月10日
特開 2011-228731	ウェーハについての不均一性の定量化および有意性の図解化のためのユーザインタフェース	2011年11月10日
特表 2011-527522	プラズマ処理チャンバ内のデチャックを検出するための容量結合静電（ＣＣＥ）プローブ構成、それに関連する方法、及び、その方法を実行するコンピュータ可読コードを格納するプログラム格納媒体	2011年10月27日
特表 2011-527520	クランプ式シャワーヘッド電極組立体	2011年10月27日
特表 2011-527523	プラズマ処理チャンバ内の膜を特性化するためのＲＦバイアス容量結合静電（ＲＦＢ−ＣＣＥ）プローブ構成、それに関連する方法、及び、その方法を実行するコードを格納するプログラム格納媒体	2011年10月27日

79 件中 1-15 件を表示

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2011-258953 2011-530801 2011-254097 2011-530193 2011-254104 2011-238958 2011-238957 2011-233924 2011-233905 2011-228722 2011-228730 2011-228731 2011-527522 2011-527520 2011-527523

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