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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第208位 235件 (2012年:第177位 255件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第131位 311件 (2012年:第161位 236件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5200545 | トランスファ式加工システム | 2013年 6月 5日 | |
特許 5201186 | ロボット | 2013年 6月 5日 | |
特許 5200806 | 水平多関節ロボットおよび半導体製造装置 | 2013年 6月 5日 | |
特許 5200778 | 直動回転モータの位置検出装置および直動回転モータ | 2013年 6月 5日 | |
特許 5201438 | モータ制御装置 | 2013年 6月 5日 | |
特許 5201161 | リニアモータおよびそれを用いたテーブル送り装置 | 2013年 6月 5日 | |
特許 5195745 | 基板搬送ロボット | 2013年 5月15日 | |
特許 5196274 | 端子装置及び電子機器並びに電子機器の製造方法 | 2013年 5月15日 | |
特許 5195188 | 回転直動位置検出装置および回転直動位置検出方法 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5195450 | スロットレスモータ | 2013年 5月 8日 | |
特許 5187048 | ハンドリングシステム | 2013年 4月24日 | |
特許 5187329 | 直動回転エンコーダ、直動回転モータ及び直動回転モータシステム | 2013年 4月24日 | |
特許 5190803 | 電動機制御装置 | 2013年 4月24日 | |
特許 5187565 | ポッド開閉装置 | 2013年 4月24日 | |
特許 5187231 | プリアライナ装置、ウェハ搬送システム、半導体製造装置、半導体検査装置およびウェハのアライメント方法 | 2013年 4月24日 |
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5200545 5201186 5200806 5200778 5201438 5201161 5195745 5196274 5195188 5195450 5187048 5187329 5190803 5187565 5187231
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