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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第168位 274件
(2013年:第141位 352件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第174位 253件
(2013年:第146位 280件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5578674 | 無線通信機および無線通信方法 | 2014年 8月27日 | |
特許 5576101 | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 | 2014年 8月20日 | |
特許 5574551 | 画像処理装置および画像処理方法 | 2014年 8月20日 | |
特許 5574531 | 無線機 | 2014年 8月20日 | |
特許 5575507 | 基板処理装置、基板搬送方法、半導体装置の製造方法および基板処理装置のメンテナンス方法 | 2014年 8月20日 | |
特許 5575582 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法および基板処理装置 | 2014年 8月20日 | |
特許 5571157 | 半導体装置の製造方法、クリーニング方法および基板処理装置 | 2014年 8月13日 | |
特許 5570915 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および断線検知プログラム | 2014年 8月13日 | |
特許 5570938 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2014年 8月13日 | |
特許 5571770 | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 | 2014年 8月13日 | |
特許 5572447 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法及び基板処理装置 | 2014年 8月13日 | |
特許 5570775 | 基板処理装置のセットアップ方法、基板処理装置により実施される半導体装置の製造方法及び基板処理装置 | 2014年 8月13日 | |
特許 5567307 | 基板処理装置の異常検知システム、群管理装置、基板処理装置の異常検知方法及び基板処理システム。 | 2014年 8月 6日 | |
特許 5568342 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法および基板処理システム | 2014年 8月 6日 | |
特許 5568212 | 基板処理装置、そのコーティング方法、基板処理方法及び半導体デバイスの製造方法 | 2014年 8月 6日 |
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5578674 5576101 5574551 5574531 5575507 5575582 5571157 5570915 5570938 5571770 5572447 5570775 5567307 5568342 5568212
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