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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第168位 274件
(2013年:第141位 352件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第174位 253件
(2013年:第146位 280件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5567307 | 基板処理装置の異常検知システム、群管理装置、基板処理装置の異常検知方法及び基板処理システム。 | 2014年 8月 6日 | |
特許 5566032 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法および入力禁止プログラム | 2014年 8月 6日 | |
特許 5562409 | 半導体装置の製造方法及び基板製造方法及び基板処理装置 | 2014年 7月30日 | |
特許 5564236 | 再送信システム | 2014年 7月30日 | |
特許 5562431 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム | 2014年 7月30日 | |
特許 5564311 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及び基板の製造方法 | 2014年 7月30日 | |
特許 5562434 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム | 2014年 7月30日 | |
特許 5562188 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | 2014年 7月30日 | |
特許 5555270 | 半導体装置の製造方法および基板処理装置 | 2014年 7月23日 | |
特許 5557896 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法および基板処理装置 | 2014年 7月23日 | |
特許 5560009 | 動画像符号化装置 | 2014年 7月23日 | |
特許 5559985 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | 2014年 7月23日 | |
特許 5559593 | 監視システム | 2014年 7月23日 | |
特許 5559005 | 伝送装置 | 2014年 7月23日 | |
特許 5560093 | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法及び基板製造方法 | 2014年 7月23日 |
253 件中 61-75 件を表示
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5567307 5566032 5562409 5564236 5562431 5564311 5562434 5562188 5555270 5557896 5560009 5559985 5559593 5559005 5560093
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