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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第60位 663件 (2011年:第53位 687件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5031960 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | 2012年 9月26日 | |
特許 5032766 | 基板処理装置及び基板処理装置のメンテナンス方法 | 2012年 9月26日 | |
特許 5036849 | 半導体装置の製造方法、クリーニング方法および基板処理装置 | 2012年 9月26日 | |
特許 5037279 | 監視装置 | 2012年 9月26日 | |
特許 5032059 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、及び基板処理装置 | 2012年 9月26日 | |
特許 5036172 | 基板処理装置、基板処理方法および半導体装置の製造方法 | 2012年 9月26日 | |
特許 5036081 | 画像伝送システム | 2012年 9月26日 | |
特許 5032982 | 熱処理装置及び基板の製造方法 | 2012年 9月26日 | |
特許 5033058 | 基板処理装置及び半導体デバイスの製造方法 | 2012年 9月26日 | |
特許 5032930 | 通信システム | 2012年 9月26日 | |
特許 5031611 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び天井断熱体 | 2012年 9月19日 | |
特許 5029899 | 受信信号のレベル調整回路 | 2012年 9月19日 | |
特許 5027430 | 基板処理装置 | 2012年 9月19日 | |
特許 5027850 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | 2012年 9月19日 | |
特許 5028352 | 温度制御方法、温度補正値取得方法、半導体製造方法、基板処理装置 | 2012年 9月19日 |
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5031960 5032766 5036849 5037279 5032059 5036172 5036081 5032982 5033058 5032930 5031611 5029899 5027430 5027850 5028352
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