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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第189位 230件 (2010年:第172位 293件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第194位 188件 (2010年:第158位 203件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4668079 | 基板処理装置 | 2011年 4月13日 | |
特許 4666509 | 画像記録装置 | 2011年 4月 6日 | |
特許 4666474 | 熱処理装置 | 2011年 4月 6日 | |
特許 4667256 | 基板処理装置 | 2011年 4月 6日 | |
特許 4666496 | 基板熱処理装置 | 2011年 4月 6日 | |
特許 4666494 | 基板処理装置 | 2011年 4月 6日 | |
特許 4666473 | 基板熱処理装置 | 2011年 4月 6日 | |
特許 4666469 | テープ剥離装置 | 2011年 4月 6日 | |
特許 4662448 | 基板処理装置 | 2011年 3月30日 | |
特許 4656580 | 塗布装置 | 2011年 3月23日 | |
特許 4656578 | 塗布装置および塗布方法 | 2011年 3月23日 | |
特許 4658458 | 膜厚測定方法、比誘電率測定方法、膜厚測定装置、および比誘電率測定装置 | 2011年 3月23日 | |
特許 4657090 | 基板処理装置 | 2011年 3月23日 | |
特許 4652129 | 基板搬送教示方法および基板搬送装置 | 2011年 3月16日 | |
特許 4651608 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2011年 3月16日 |
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4668079 4666509 4666474 4667256 4666496 4666494 4666473 4666469 4662448 4656580 4656578 4658458 4657090 4652129 4651608
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