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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第118位 415件 (2012年:第180位 254件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第163位 256件 (2012年:第181位 217件)
(ランキング更新日:2024年12月27日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5198132 | 状態遷移テスト支援装置、状態遷移テスト支援プログラム、および状態遷移テスト支援方法 | 2013年 5月15日 | |
特許 5199620 | 熱処理装置 | 2013年 5月15日 | |
特許 5191254 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5194044 | 処理液供給装置および処理液供給方法 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5193739 | 薄膜形成システムおよび薄膜形成方法 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5192853 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5189671 | テープ貼付装置、テープ貼付システムおよびテープ貼付方法 | 2013年 4月24日 | |
特許 5189534 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム | 2013年 4月24日 | |
特許 5188217 | 基板処理装置 | 2013年 4月24日 | |
特許 5188216 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 4月24日 | |
特許 5185046 | 基板洗浄装置 | 2013年 4月17日 | |
特許 5186129 | 溝パターンの深さの測定方法および測定装置 | 2013年 4月17日 | |
特許 5182913 | パターン描画装置およびパターン描画方法 | 2013年 4月17日 | |
特許 5185002 | 業務フロー管理システム、業務フロー図作成装置及び業務フロー図作成プログラム | 2013年 4月17日 | |
特許 5179282 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2013年 4月10日 |
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5198132 5199620 5191254 5194044 5193739 5192853 5189671 5189534 5188217 5188216 5185046 5186129 5182913 5185002 5179282
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