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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第189位 230件 (2010年:第172位 293件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第194位 188件 (2010年:第158位 203件)
(ランキング更新日:2024年12月27日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4780656 | 塗布装置 | 2011年 9月28日 | |
特許 4781931 | 熱処理方法および熱処理装置 | 2011年 9月28日 | |
特許 4781253 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2011年 9月28日 | |
特許 4781192 | ロードロック装置、それを備えた基板処理装置および基板処理システム | 2011年 9月28日 | |
特許 4781867 | 熱処理装置 | 2011年 9月28日 | |
特許 4781834 | 現像装置および現像方法 | 2011年 9月28日 | |
特許 4776030 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2011年 9月21日 | |
特許 4776479 | 基板処理装置 | 2011年 9月21日 | |
特許 4775842 | パターン描画装置 | 2011年 9月21日 | |
特許 4771816 | 基板処理装置 | 2011年 9月14日 | |
特許 4767205 | 基板処理装置 | 2011年 9月 7日 | |
特許 4767204 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2011年 9月 7日 | |
特許 4767767 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2011年 9月 7日 | |
特許 4767138 | 基板処理装置、液膜凍結方法および基板処理方法 | 2011年 9月 7日 | |
特許 4767641 | 基板処理装置および基板搬送方法 | 2011年 9月 7日 |
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4780656 4781931 4781253 4781192 4781867 4781834 4776030 4776479 4775842 4771816 4767205 4767204 4767767 4767138 4767641
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