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大日本スクリーン製造株式会社

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  2011年 出願公開件数ランキング    第189位 230件 下降2010年:第172位 293件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第194位 188件 下降2010年:第158位 203件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4780656 塗布装置 2011年 9月28日
特許 4781931 熱処理方法および熱処理装置 2011年 9月28日
特許 4781253 基板処理装置および基板処理方法 2011年 9月28日
特許 4781192 ロードロック装置、それを備えた基板処理装置および基板処理システム 2011年 9月28日
特許 4781867 熱処理装置 2011年 9月28日
特許 4781834 現像装置および現像方法 2011年 9月28日
特許 4776030 基板処理装置および基板処理方法 2011年 9月21日
特許 4776479 基板処理装置 2011年 9月21日
特許 4775842 パターン描画装置 2011年 9月21日
特許 4771816 基板処理装置 2011年 9月14日
特許 4767205 基板処理装置 2011年 9月 7日
特許 4767204 基板処理方法および基板処理装置 2011年 9月 7日
特許 4767767 基板処理方法および基板処理装置 2011年 9月 7日
特許 4767138 基板処理装置、液膜凍結方法および基板処理方法 2011年 9月 7日
特許 4767641 基板処理装置および基板搬送方法 2011年 9月 7日

188 件中 46-60 件を表示

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4780656 4781931 4781253 4781192 4781867 4781834 4776030 4776479 4775842 4771816 4767205 4767204 4767767 4767138 4767641

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