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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第189位 230件 (2010年:第172位 293件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第194位 188件 (2010年:第158位 203件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4744425 | 基板処理装置 | 2011年 8月10日 | |
特許 4744112 | 熱処理装置 | 2011年 8月10日 | |
特許 4743735 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2011年 8月10日 | |
特許 4738319 | パターン形成装置 | 2011年 8月 3日 | |
特許 4737685 | 塗布装置 | 2011年 8月 3日 | |
特許 4738100 | 画像記録装置 | 2011年 8月 3日 | |
特許 4739390 | 基板処理装置 | 2011年 8月 3日 | |
特許 4739361 | 基板周縁処理装置および基板周縁処理方法 | 2011年 8月 3日 | |
特許 4738033 | 基板処理装置 | 2011年 8月 3日 | |
特許 4732918 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2011年 7月27日 | |
特許 4731500 | 基板支持装置、表面電位測定装置、膜厚測定装置および基板検査装置 | 2011年 7月27日 | |
特許 4726123 | 塗布システム | 2011年 7月20日 | |
特許 4731372 | 基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラム | 2011年 7月20日 | |
特許 4730895 | 針痕検出装置および針痕検出方法 | 2011年 7月20日 | |
特許 4730787 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2011年 7月20日 |
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4744425 4744112 4743735 4738319 4737685 4738100 4739390 4739361 4738033 4732918 4731500 4726123 4731372 4730895 4730787
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