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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第118位 415件
(2012年:第180位 254件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第163位 256件
(2012年:第181位 217件)
(ランキング更新日:2025年3月11日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5276559 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2013年 8月28日 | |
特許 5276420 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 8月28日 | |
特許 5276344 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2013年 8月28日 | |
特許 5274846 | 熱処理装置 | 2013年 8月28日 | |
特許 5274335 | 基板処理装置および基板受渡方法 | 2013年 8月28日 | |
特許 5270285 | 基板処理装置 | 2013年 8月21日 | |
特許 5270607 | 基板処理装置 | 2013年 8月21日 | |
特許 5270263 | 基板処理装置および基板処理方法 | 2013年 8月21日 | |
特許 5270251 | 基板処理装置 | 2013年 8月21日 | |
特許 5270183 | ポリマー除去方法およびポリマー除去装置 | 2013年 8月21日 | |
特許 5270108 | 基板処理装置 | 2013年 8月21日 | |
特許 5265943 | 基板処理装置 | 2013年 8月14日 | |
特許 5261077 | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 | 2013年 8月14日 | |
特許 5254269 | 基板処理装置および移載方法 | 2013年 8月 7日 | |
特許 5248284 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2013年 7月31日 |
256 件中 121-135 件を表示
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5276559 5276420 5276344 5274846 5274335 5270285 5270607 5270263 5270251 5270183 5270108 5265943 5261077 5254269 5248284
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