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大日本スクリーン製造株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第118位 415件 上昇2012年:第180位 254件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第163位 256件 上昇2012年:第181位 217件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5276559 基板処理方法および基板処理装置 2013年 8月28日
特許 5276420 基板処理装置および基板処理方法 2013年 8月28日
特許 5276344 基板処理方法および基板処理装置 2013年 8月28日
特許 5274846 熱処理装置 2013年 8月28日
特許 5274335 基板処理装置および基板受渡方法 2013年 8月28日
特許 5270285 基板処理装置 2013年 8月21日
特許 5270607 基板処理装置 2013年 8月21日
特許 5270263 基板処理装置および基板処理方法 2013年 8月21日
特許 5270251 基板処理装置 2013年 8月21日
特許 5270183 ポリマー除去方法およびポリマー除去装置 2013年 8月21日
特許 5270108 基板処理装置 2013年 8月21日
特許 5265943 基板処理装置 2013年 8月14日
特許 5261077 基板洗浄方法および基板洗浄装置 2013年 8月14日
特許 5254269 基板処理装置および移載方法 2013年 8月 7日
特許 5248284 基板処理装置及び基板処理方法 2013年 7月31日

256 件中 121-135 件を表示

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5276559 5276420 5276344 5274846 5274335 5270285 5270607 5270263 5270251 5270183 5270108 5265943 5261077 5254269 5248284

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