公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特許 5372353 | 半導体製造装置用ガス供給装置 | 株式会社フジキン | 2013年12月18日 |
特許 5357721 | カム式制御弁 | 株式会社フジキン | 2013年12月 4日 |
特許 5350824 | 液体材料の気化供給システム | 株式会社フジキン | 2013年11月27日 |
特許 5340339 | 配管部材 | 株式会社フジキン | 2013年11月13日 |
特許 5331180 | ダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁のバルブストローク調整方法 | 株式会社フジキン | 2013年10月30日 |
特許 5330162 | 閉鎖型植物工場 | 株式会社フジキン | 2013年10月30日 |
特許 5315235 | 水分発生用反応炉の並列運転方法 | 株式会社フジキン | 2013年10月16日 |
特許 5301983 | ガスケット型オリフィス及びこれを用いた圧力式流量制御装置 | 株式会社フジキン | 2013年 9月25日 |
特許 5286430 | 圧力制御式流量基準器を構成する基準圧力式流量制御器用の耐食性圧力式流量制御器。 | 株式会社フジキン 他 | 2013年 9月11日 |
特許 5277278 | 流体制御装置用継手 | 株式会社フジキン | 2013年 8月28日 |
特許 5205213 | 流体制御器 | 株式会社フジキン | 2013年 6月 5日 |
特許 5177864 | 熱式質量流量調整器用自動圧力調整器 | 株式会社フジキン | 2013年 4月10日 |
特許 5162425 | 流体制御器 | 株式会社フジキン | 2013年 3月13日 |
特許 5129609 | 圧電素子駆動式ダイヤフラム型制御弁 | 株式会社フジキン | 2013年 1月30日 |
特許 5127304 | 流体制御装置 | 株式会社フジキン | 2013年 1月23日 |
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