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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第12189位 1件 (2015年:第11806位 1件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第2650位 6件 (2015年:第2775位 5件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5975667 | EUVリソグラフィ用斜入射集光器の熱管理システム、アセンブリ、方法 | 2016年 8月23日 | |
特許 5904632 | 少なくとも一つの非回転対称ミラーを備える3ミラー収差補正システム | 2016年 4月13日 | |
特許 5898429 | GICミラー及びスズロッドEUV・LPPターゲットシステムを備える光源集光モジュール | 2016年 4月 6日 | |
特許 5864091 | 斜入射EUVリソグラフィ集光器用の冷却システム及び冷却方法 | 2016年 2月17日 | |
特許 5864154 | GICミラー及び液体キセノンEUV・LPPターゲットシステムを備える光源集光モジュール | 2016年 2月17日 | |
特許 5856382 | EUVの集光を強化したEUV集光器システム | 2016年 2月 9日 |
6 件中 1-6 件を表示
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5975667 5904632 5898429 5864091 5864154 5856382
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