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■ 2018年 出願公開件数ランキング 第4220位 4件 (2017年:第7815位 2件)
■ 2018年 特許取得件数ランキング 第2454位 6件 (2017年:第2791位 5件)
(ランキング更新日:2025年1月30日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6425765 | プラズマ処理負荷へのシステムレベルの電力送達 | 2018年11月21日 | |
特許 6377060 | 広ダイナミックレンジイオンエネルギーバイアス制御、高速イオンエネルギー切り替え、イオンエネルギー制御およびパルスバイアス供給部、および仮想フロントパネル | 2018年 8月22日 | |
特許 6375375 | パルス二重マグネトロンスパッタリング(DMS)プロセスにおけるターゲットの均衡消費のためのシステムおよび方法 | 2018年 8月15日 | |
特許 6329542 | プラズマ処理システム、プラズマシース電圧確立方法、および当該方法を実行可能な命令を読み取り可能な記憶媒体 | 2018年 5月23日 | |
特許 6329543 | 切り替えモードイオンエネルギー分布システムを制御する方法 | 2018年 5月23日 | |
特許 6276272 | 切り替えモードイオン分布システムの故障、異常、および他の特性を監視するためのシステムおよび方法 | 2018年 2月 7日 |
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6425765 6377060 6375375 6329542 6329543 6276272
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