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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第3931位 5件
(2021年:第12881位 1件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第27906位 0件
(2021年:第25492位 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特開 2022-163710 | 極紫外線露光用ペリクル | 2022年10月26日 | |
特開 2022-162545 | イットリウム系基盤の極紫外線露光用ペリクル | 2022年10月24日 | |
特開 2022-161891 | 炭化モリブデンを含む極紫外線露光用ペリクル | 2022年10月21日 | |
特開 2022-121407 | 動的熱特性評価を用いたジャンクション温度セッティング半導体素子の信頼性試験装置および方法 | 2022年 8月19日 | |
特開 2022-77526 | 多層グラフェンの直接成長方法およびそれを用いた極紫外線露光用ペリクルの製造方法 | 2022年 5月23日 |
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2022-163710 2022-162545 2022-161891 2022-121407 2022-77526
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