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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第32490位 0件
(2014年:第31873位 0件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第23268位 0件
(2014年:第10386位 1件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5770814 | 露光装置、及びデバイス製造方法 | 2015年 8月26日 | |
特許 5753613 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 | 2015年 7月22日 | |
特許 5722809 | 露光装置、及びデバイス製造方法 | 2015年 5月27日 | |
特許 5671491 | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 | 2015年 2月18日 | |
特許 5671584 | 露光装置、液体回収方法 | 2015年 2月18日 | |
特許 5671585 | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 | 2015年 2月18日 |
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5770814 5753613 5722809 5671491 5671584 5671585
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