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フェニックス電機株式会社

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  2022年 特許取得件数ランキング    第1537位 13件 上昇2021年:第5804位 2件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7193196 配向膜露光装置用の測定機構、および配向膜露光装置の調整方法 2022年12月20日
特許 7191434 光照射装置、およびこれを備える露光装置 2022年12月19日
特許 7154603 露光装置用光源 2022年10月18日
特許 7145534 乾燥装置 2022年10月 3日
特許 7142380 光照射装置、およびこれを備える露光装置 2022年 9月27日
特許 7141692 放電灯の封止構造、および当該構造を備える放電灯 2022年 9月26日
特許 7141126 光源装置、露光装置、および光源装置の判定方法 2022年 9月22日
特許 7141167 光照射装置、露光装置、および露光方法 2022年 9月22日
特許 7140430 光照射装置、およびこれを備える露光装置 2022年 9月21日
特許 7060244 露光装置用光源、それを用いた露光装置、およびレジストの露光方法 2022年 4月26日
特許 7025753 発光ダイオードランプ 2022年 2月25日
特許 7025757 赤外線ランプ 2022年 2月25日
特許 6989977 光照射装置、およびこれを備える露光装置 2022年 1月12日

13 件中 1-13 件を表示

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7193196 7191434 7154603 7145534 7142380 7141692 7141126 7141167 7140430 7060244 7025753 7025757 6989977

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