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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第2638位 8件
(
2021年:第2007位 11件)
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2021年:第5804位 2件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7193196 | 配向膜露光装置用の測定機構、および配向膜露光装置の調整方法 | 2022年12月20日 | |
| 特許 7191434 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 | 2022年12月19日 | |
| 特許 7154603 | 露光装置用光源 | 2022年10月18日 | |
| 特許 7145534 | 乾燥装置 | 2022年10月 3日 | |
| 特許 7142380 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 | 2022年 9月27日 | |
| 特許 7141692 | 放電灯の封止構造、および当該構造を備える放電灯 | 2022年 9月26日 | |
| 特許 7141126 | 光源装置、露光装置、および光源装置の判定方法 | 2022年 9月22日 | |
| 特許 7141167 | 光照射装置、露光装置、および露光方法 | 2022年 9月22日 | |
| 特許 7140430 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 | 2022年 9月21日 | |
| 特許 7060244 | 露光装置用光源、それを用いた露光装置、およびレジストの露光方法 | 2022年 4月26日 | |
| 特許 7025753 | 発光ダイオードランプ | 2022年 2月25日 | |
| 特許 7025757 | 赤外線ランプ | 2022年 2月25日 | |
| 特許 6989977 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 | 2022年 1月12日 |
13 件中 1-13 件を表示
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7193196 7191434 7154603 7145534 7142380 7141692 7141126 7141167 7140430 7060244 7025753 7025757 6989977
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