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ミコ セラミックス リミテッド

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  2024年 出願公開件数ランキング    第4317位 4件 下降2023年:第3738位 5件)

  2024年 特許取得件数ランキング    第1722位 11件 上昇2023年:第3701位 4件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 7580641 パージガス流路を備えるサセプター 2024年11月11日
特許 7577876 セラミックサセプター 2024年11月 5日
特許 7566115 セラミックサセプター 2024年10月11日
特許 7566185 セラミックヒーター 2024年10月11日
特許 7554257 静電チャックヒーター及びその製造方法 2024年 9月19日
特許 7528349 セラミックサセプター 2024年 8月 5日
特許 7506739 セラミックヒーター及びその製造方法 2024年 6月26日
特許 7506807 セラミックサセプター 2024年 6月26日
特許 7475432 セラミックヒーター及びその製造方法 2024年 4月26日
特許 7441283 温度偏差特性が改善された基板加熱装置 2024年 2月29日
特許 7441370 セラミックサセプター 2024年 2月29日

11 件中 1-11 件を表示

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7580641 7577876 7566115 7566185 7554257 7528349 7506739 7506807 7475432 7441283 7441370

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