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出願人名に「株式会社フェローテック」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5606777 | プラズマ流生成方法、プラズマ処理方法、プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置 | 株式会社フェローテック | 2014年10月15日 |
| 特許 5466831 | イットリア焼結体およびプラズマプロセス装置用部材 | 株式会社フェローテックセラミックス | 2014年 4月 9日 |
| 特許 5462652 | 表面処理セラミックス部材およびその製造方法 | 株式会社フェローテックセラミックス | 2014年 4月 2日 |
| 特許 5424744 | 分割環状リブ型プラズマ処理装置 | 株式会社フェローテック | 2014年 2月26日 |
4 件中 1-4 件を表示
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5606777 5466831 5462652 5424744
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