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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
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特許 5318761 | 圧電セラミック製の平面アクチュエータおよび平面アクチュエータの製造法 | ドイチェ・ツェントルム・フューア・ルフト−ウント・ラウムファート・エー.ファウ | 2013年10月16日 |
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