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■ 2023年 出願公開件数ランキング 第2343位 9件
(
2022年:第2638位 8件)
■ 2023年 特許取得件数ランキング 第1999位 9件
(
2022年:第6243位 2件)
(ランキング更新日:2026年1月30日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7405875 | ナノ秒パルサのRF絶縁 | 2023年12月26日 | |
| 特許 7387782 | RFプラズマリアクタ用プラズマシース制御 | 2023年11月28日 | |
| 特許 7367157 | 空間変動型ウェハバイアス電力システム | 2023年10月23日 | |
| 特許 7324326 | ナノ秒パルサーのバイアス補償 | 2023年 8月 9日 | |
| 特許 7320608 | ナノ秒パルサー回路での効率的なエネルギー回収 | 2023年 8月 3日 | |
| 特許 7289015 | 補正によるナノ秒パルサバイアス補償 | 2023年 6月 8日 | |
| 特許 7285377 | プラズマシステム用ナノ秒パルサRF絶縁 | 2023年 6月 1日 | |
| 特許 7261891 | 精密プラズマ制御システム | 2023年 4月20日 | |
| 特許 7216772 | ナノ秒パルスを使用する高電圧波形発生器および高電圧波形発生方法 | 2023年 2月 1日 |
9 件中 1-9 件を表示
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7405875 7387782 7367157 7324326 7320608 7289015 7285377 7261891 7216772
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