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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7741994 | ルテニウム前駆体組成物、ルテニウム前駆体組成物の調製方法、及びルテニウム前駆体組成物を使用するルテニウム含有膜の形成方法 | 2025年 9月18日 | |
| 特許 7698807 | 第4族金属元素含有前駆体化合物を含む成膜用組成物、及び、それを用いた膜を形成する方法 | 2025年 6月25日 | |
| 特許 7653431 | イットリウム/ランタン族金属前駆体化合物、それを含む膜形成用組成物、及びそれを利用したイットリウム/ランタン族金属含有膜の形成方法 | 2025年 3月28日 | |
| 特許 7636422 | シリコン前駆体化合物、これを含むシリコン含有膜形成用組成物及びシリコン含有膜形成方法 | 2025年 2月26日 |
4 件中 1-4 件を表示
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7741994 7698807 7653431 7636422
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