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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特許 4932818 | ガラス洗浄槽及び超音波洗浄装置 | 株式会社山形信越石英 他 | 2012年 5月16日 |
特許 4890668 | 半導体熱処理用反応装置の石英ガラス製蓋体およびその製造方法 | 株式会社山形信越石英 他 | 2012年 3月 7日 |
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4932818 4890668
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